一种碳化硅片生产用酸洗设备的制作方法

1.本实用新型涉及酸洗设备技术领域，具体为一种碳化硅片生产用酸洗设备。


背景技术：

2.碳化硅片可以由碳化硅粉制成，碳化硅粉是指利用设备来进行超细粉碎分级的微米级碳化硅粉体。由于碳化硅微粉主要用于磨料行业，所以对微粉的分级有特殊要求，微粉中不能有大颗粒出现，所以为达国际和国内产品要求，一般生产都采用分级设备来进行高精分级。国内碳化硅微粉主要为黑碳化硅微粉和绿碳化硅微粉。
3.碳化硅粉在进行酸洗时需要用到酸洗设备，现有的酸洗设备大多结构简单，当碳化硅粉与溶液发生反应时，往往会存在反应不够充分以及反应速率低的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种碳化硅片生产用酸洗设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种碳化硅片生产用酸洗设备，包括底座，所述底座上侧活动安装有装载机构；所述底座左侧固定安装有安装架，所述安装架远离底座的一端设置有搅拌机构，所述搅拌机构位于装载机构正上方；所述搅拌机构包括有圆板、偏心轴、固定座、转轴、滑套、搅拌轴和搅拌杆；
7.所述圆板活动设置于安装架末端右方，所述偏心轴固定安装于所述圆板远离安装架一侧的偏心处，所述搅拌轴的杆壁与所述偏心轴活动连接；所述搅拌杆安装于所述搅拌轴下端；所述固定座固定安装于安装架上侧，所述转轴与所述固定座右侧活动连接，所述滑套与所述转轴右端固定连接，所述搅拌轴上端活动穿设于滑套。
8.优选的，所述搅拌机构还包括固定连接于搅拌轴上端的限位球。
9.优选的，所述安装架末端下侧设置有驱动机构，所述圆板与所述驱动机构相连。
10.优选的，所述装载机构由酸洗箱、转盘和包边滑块组成，所述酸洗箱固定安装于所述转盘上侧，所述包边滑块固定安装于所述转盘侧边；所述底座上侧开设有与所述转盘相互配合的滑轨，所述转盘滑动设置于所述滑轨中。
11.优选的，所述转盘通过联动机构所驱动，所述联动机构由第一传动轮、皮带、第二传送轮、联动杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮和旋转柱组成。
12.优选的，所述第二锥齿轮固定安装于所述转盘下侧，所述旋转柱上端与第二锥齿轮下侧固定连接、且下端通过轴承座活动安装于底座内部底面上；所述联动杆活动穿设于底座左壁以及安装架侧壁，所述第一锥齿轮固定连接于所述联动杆右端、且与所述第二锥齿轮相互啮合，所述联动杆左端连接有由第一传动轮、皮带和第二传送轮构成的传动组件。
13.优选的，所述第二传送轮固定连接于所述联动杆左端，所述第一传动轮设置于所述第二传送轮上方，所述皮带将所述第一传动轮和第二传送轮传动连接。
14.优选的，所述第一传动轮也与驱动机构相连并通过驱动机构驱动。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该装置在运行时，当酸洗箱转动时，会带动内部的溶液和碳化硅粉随之运动，此时搅拌机构中的搅拌轴在摆动时带动搅拌杆也来回摆动，使得搅拌杆对运动状态下的溶液和碳化硅粉产生搅动作用，从而使得溶液与碳化硅粉混合的更加均匀，进而可以提高二者之间的反应速率，使得酸洗效果更好。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为本实用新型的内部结构示意图；
18.图3为本实用新型中装载机构的结构示意图；
19.图4为本实用新型中搅拌机构的部分结构示意图；
20.图5为本实用新型中联动机构的部分结构示意图。
21.图中：1、底座；2、安装架；3、驱动机构；4、搅拌机构；41、圆板；42、偏心轴；43、固定座；44、转轴；45、滑套；46、限位球；47、搅拌轴；48、搅拌杆；5、联动机构；51、第一传动轮；52、皮带；53、第二传送轮；54、联动杆；55、第一锥齿轮；56、第二锥齿轮；57、旋转柱；6、装载机构；61、酸洗箱；62、转盘；63、包边滑块。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅片生产用酸洗设备，包括底座1，所述底座1上侧活动安装有装载机构6；所述底座1左侧固定安装有安装架2，所述安装架2远离底座1的一端设置有搅拌机构4，所述搅拌机构4位于装载机构6正上方；所述搅拌机构4包括有圆板41、偏心轴42、固定座43、转轴44、滑套45、搅拌轴47和搅拌杆48，所述圆板41活动设置于安装架2末端右方，所述偏心轴42固定安装于所述圆板41远离安装架2一侧的偏心处，所述搅拌轴47的杆壁与所述偏心轴42活动连接；所述搅拌杆48安装于所述搅拌轴47下端；所述固定座43固定安装于安装架2上侧，所述转轴44与所述固定座43右侧活动连接，所述滑套45与所述转轴44右端固定连接，所述搅拌轴47上端活动穿设于滑套45。
24.所述搅拌机构4还包括固定连接于搅拌轴47上端的限位球46，用以防止搅拌轴47在运动时从滑套45中滑脱出去。
25.具体来说，所述安装架2末端下侧设置有驱动机构3，所述圆板41与所述驱动机构3相连；驱动机构3启动时会带动圆板41进行转动，圆板41带动偏心轴42做圆周运动，由于搅拌轴47与偏心轴42活动连接，所以偏心轴42会带动搅拌轴47随之运动，又由于搅拌轴47上端活动穿设于滑套45,而滑套45可绕转轴44旋转，所以搅拌轴47在活动时会在滑套45的旋转作用以及偏心轴42的圆周运动作用下来回摆动。
26.进一步的说，所述装载机构6由酸洗箱61、转盘62和包边滑块63组成，所述酸洗箱61固定安装于所述转盘62上侧，所述包边滑块63固定安装于所述转盘62侧边；所述底座1上
侧开设有与所述转盘62相互配合的滑轨，所述转盘62滑动设置于所述滑轨中，当转盘62进行转动时，会带动酸洗箱61转动，同时带动包边滑块63在滑轨中滑动，有利于转盘62在转动时更加稳定。
27.具体来说，在酸洗时，将溶液加入酸洗箱61中，随后再加入碳化硅粉进行反应，当酸洗箱61转动时，会带动内部的溶液和碳化硅粉随之运动，搅拌机构4也处于工作状态，其中的搅拌轴47在摆动时带动搅拌杆48也来回摆动，使得搅拌杆48对运动状态下的溶液和碳化硅粉产生搅动作用，从而使得溶液与碳化硅粉混合的更加均匀，进而可以提高二者之间的反应效率。
28.进一步的说，所述转盘62通过联动机构5所驱动，所述联动机构5由第一传动轮51、皮带52、第二传送轮53、联动杆54、第一锥齿轮55、第二锥齿轮56和旋转柱57组成，所述第二锥齿轮56固定安装于所述转盘62下侧，所述旋转柱57上端与第二锥齿轮56下侧固定连接、且下端通过轴承座活动安装于底座1内部底面上；所述联动杆54活动穿设于底座1左壁以及安装架2侧壁，所述第一锥齿轮55固定连接于所述联动杆54右端、且与所述第二锥齿轮56相互啮合，所述联动杆54左端连接有由第一传动轮51、皮带52和第二传送轮53构成的传动组件。
29.具体来说，传动组件可以带动联动杆54转动，联动杆54带动第一锥齿轮55转动，第一锥齿轮55带动第二锥齿轮56转动，第二锥齿轮56进而带动转盘62转动，从而实现装载机构6的活动；
30.所述第二传送轮53固定连接于所述联动杆54左端，所述第一传动轮51设置于所述第二传送轮53上方，所述皮带52将所述第一传动轮51和第二传送轮53传动连接；当第一传动轮51转动时，第一传动轮51会通过皮带52带动所述第二传送轮53转动，进而使得第二传送轮53带动联动杆54随之转动。
31.进一步的说，所述第一传动轮51也与驱动机构3相连并通过驱动机构3驱动，所述驱动机构3安装于所述安装架2上壁下方、且位于圆板41和第一传动轮51之间；优选的，在本实用新型中，所述驱动机构3为双轴电机，所述双轴电机的两个输出轴分别与所述圆板41和第一传动轮51固定连接；当双轴电机启动时，会带动两个输出轴转动，进而带动所述圆板41和第一传动轮51转动。
32.本实用新型的工作原理是：在使用该装置进行酸洗时，将溶液加入酸洗箱61中，随后再加入碳化硅粉进行反应，启动驱动机构3带动所述圆板41和第一传动轮51转动，圆板41会带动偏心轴42做圆周运动，由于搅拌轴47与偏心轴42活动连接，所以圆板41会带动搅拌轴47随之运动，又由于搅拌轴47上端活动穿设于滑套45,而滑套45可绕转轴44旋转，所以搅拌轴47在活动时会在滑套45的旋转作用以及偏心轴42的圆周运动作用下来回摆动；
33.当第一传动轮51转动时，第一传动轮51会通过皮带52带动所述第二传送轮53转动，进而使得第二传送轮53带动联动杆54随之转动；联动杆54带动第一锥齿轮55转动，第一锥齿轮55带动第二锥齿轮56转动，第二锥齿轮56进而带动转盘62转动，转盘62带动酸洗箱61转动，当酸洗箱61转动时，会带动内部的溶液和碳化硅粉随之运动，此时搅拌机构4中的搅拌轴47在摆动时带动搅拌杆48也来回摆动，使得搅拌杆48对运动状态下的溶液和碳化硅粉产生搅动作用，从而使得溶液与碳化硅粉混合的更加均匀，进而可以提高二者之间的反应速率，使得酸洗效果更好。
34.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。