薄膜蒸发器的制作方法

1.本发明涉及废料回收技术领域，尤其涉及一种薄膜蒸发器。


背景技术：

2.光刻胶废液是使用剥离液或蚀刻液祛除光刻胶后所产生的化工废液，为了实现资源回收再利用的目的，已出现了多种光刻胶回收技术，用于回收光刻胶废液中的有效成分，现有的回收技术一般是使用蒸发和多塔精馏相结合的工艺处理光刻胶废液。
3.现有的蒸发工艺主要使用薄膜蒸发器处理光刻胶废液。薄膜蒸发器是一种通过容器内旋转的刮板装置使物料连续均匀地在加热面强制成膜，以使得物料能够铺开并形成较大面积的薄膜，并在高温下，物料中的液体汽化形成蒸气后排出。
4.但对于光刻胶废液，在薄膜蒸发器强制成膜后，光刻胶残渣极易粘留在容器内成膜的壁面上，经持续高温下，残渣固化极难脱落。长时间的生产过程中，固化的残渣不但影响生产效率，还会损害刮板；现有的处理方式大多是在停工后，通过人工的方式去除固化残渣，此方法不但影响生产效率还提高了生产成本。


技术实现要素：

5.本发明的目的是提供一种薄膜蒸发器，能够自动刮除薄膜蒸发器内壁上所形成的残渣。
6.为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：
7.本发明提供一种薄膜蒸发器，包括：壳体、驱动件、主轴和刮板组件，所述驱动件位于所述壳体外部，并驱动所述主轴在所述壳体内旋转，所述刮板组件连接在所述主轴上；所述刮板组件包括依次连接的第一连接件、第二连接件和刮板，所述第一连接件的一端连接所述主轴，所述第一连接件上开设有第一滑动槽，所述第一滑动槽位于所述第一连接件远离所述主轴的一端，并至少有部分向所述主轴延伸，所述第二连接件的一端安装在所述第一滑动槽内，并在所述第一滑动槽内滑动，所述刮板朝向所述壳体内壁的一端呈缩口形状并包括第一弯曲面和第一尖端，所述第一弯曲面朝向所述壳体的内壁；所述驱动件沿第一方向转动时，所述第二连接件朝第一滑动槽靠近所述壳体的一端滑动，使所述第一弯曲面与所述壳体的内壁相接触，所述驱动件沿第二方向转动时，所述第二连接件朝第一滑动槽远离所述壳体的一端滑动，使所述第一尖端与所述壳体的内壁相接触。
8.一种实施方式中，所述刮板组件还包括第三连接件和弹性件，所述第三连接件的一端通过所述弹性件与所述第二连接件连接，所述第三连接件的另一端连接所述刮板，所述薄膜蒸发器工作前，所述弹性件抵持所述第二连接件朝所述第一滑动槽远离所述壳体的一端滑动，以使所述第一尖端和所述壳体的内壁相接触。
9.一种实施方式中，所述第一滑动槽背向所述壳体的内壁弯曲，并包括第一端部和第二端部，所述第二端部远离所述壳体，所述驱动件沿第一方向转动时，所述第二连接件朝所述第一端部滑动，所述弹性件压缩，所述第一弯曲面与所述壳体的内壁相接触；所述驱动
件沿第二方向转动时，所述第二连接件朝所述第二端部滑动，所述弹性件拉伸，以使所述第一尖端和所述壳体的内壁相接触。
10.一种实施方式中，所述第一连接件上还开设有第二滑动槽，所述第二滑动槽与所述第一滑动槽平行，所述第二连接件安装在所述第一滑动槽内的一端向所述第二滑动槽延伸，并安装在所述第二滑动槽内。
11.一种实施方式中，所述刮板包括第一弯曲部，所述第一弯曲面和所述第一尖端均位于所述第一弯曲部上，所述驱动件沿第一方向转动时，所述第一弯曲部弹性变形，以使得所述第一弯曲面与所述壳体的内壁相接触。
12.一种实施方式中，所述第一弯曲部上开设有第一导流槽，所述第一导流槽在所述第一弯曲面上延伸，所述第一弯曲部上的液体沿所述第一导流槽流动至所述壳体的内壁上。
13.一种实施方式中，所述刮板还包括第二弯曲部，所述第二弯曲部包括第二弯曲面，所述驱动件沿第一方向或所述第二转动时，所述第二弯曲面与所述壳体的内壁相接触。
14.一种实施方式中，所述第一弯曲部连接在所述第二弯曲部上，所述第二弯曲部与所述第三连接件固定连接。
15.一种实施方式中，所述第一弯曲部连接在所述第三连接件上，所述第二弯曲部与所述第三连接件转动连接。
16.一种实施方式中，所述第二弯曲部上开设有第二导流槽，所述第二导流槽在所述第二弯曲面上延伸，所述第二弯曲部上的液体沿所述第二导流槽流动至所述第一弯曲部或所述壳体的内壁上。
17.通过在第一连接件上开设第一滑动槽，使得安装在第一滑动槽内的第二连接件可以沿第一滑动槽滑动；并且在设计第一滑动槽至少部分向主轴延伸，使得第二连接件带动刮板可以在第一滑动槽内朝远离或靠近壳体内壁的方向滑动，以使得第一弯曲面或第一尖端可以与壳体的内壁相接触；通过驱动件沿第二方向转动使第一尖端与内壁相接触，因此第一尖端可以刮除内壁上的残渣，以此，薄膜蒸发器可以实现自动地清理壳体内壁上的残渣，降低了生产成本的同时还减少了对生产效率的影响。
附图说明
18.为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1是一种实施例的薄膜蒸发器的结构示意图；
20.图2是一种实施例的刮板组件的结构示意侧视图；
21.图3是一种实施例的刮板组件的结构示意俯视图；
22.图4是一种实施例的刮板组件的结构示意俯视图；
23.图5是一种实施例的刮板组件局部的结构示意图；
24.图6是一种实施例的刮板组件局部的结构示意图；
25.图7是一种实施例的第一弯曲部的结构示意图。
26.附图标记说明：
27.1-壳体，2-驱动件，3-主轴，4-进液口，10-刮板组件，11-第一连接件，12-第二连接件，13-第三连接件，14-弹性件，15-刮板，151-第一弯曲部，152-第二弯曲部，1511-第一弯曲面，1512-第一尖端，1513-第一导流槽，1521-第二弯曲面，16-第一滑动槽，161-第一端部，162-第二端部，163-中部，17-第二滑动槽，a-第一方向，b-第二方向。
具体实施方式
28.下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
29.需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。
30.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
31.一种薄膜蒸发器，请参考图1、图3和图4，包括：壳体1、驱动件2、主轴3和刮板组件10，驱动件2位于壳体1外部，并驱动主轴3在壳体1内旋转；刮板组件10连接在主轴3上，薄膜蒸发器工作时，刮板组件10与壳体1的内壁相接触；刮板组件10包括依次连接的第一连接件11、第二连接件12和刮板15，第一连接件11的一端连接主轴3，第一连接件11上开设有第一滑动槽16，第一滑动槽16位于第一连接件11远离主轴3的一端，并至少有部分向主轴3延伸，第二连接件12的一端安装在第一滑动槽16内，并在第一滑动槽16内滑动，刮板15朝向壳体1的内壁呈缩口形状并包括第一弯曲面1511和第一尖端1512，第一弯曲面1511朝向壳体1的内壁；驱动件2沿第一方向a转动时，第二连接件12朝第一滑动槽16靠近壳体1的一端滑动，使第一弯曲面1511与壳体1的内壁相接触，驱动件2沿第二方向b转动时，第二连接件12朝第一滑动槽16远离壳体1的一端滑动，使第一尖端1512与壳体1的内壁相接触。
32.具体地，薄膜蒸发器的侧壁上还开设有进液口4，进液口4位于刮板组件10的上方，光刻胶废液通过进液口4流入薄膜蒸发器内，并顺沿壳体1的内壁向下流动。当薄膜蒸发器工作时，驱动件2驱动主轴3旋转，主轴3带动刮板组件10在壳体1内旋转，刮板组件10与壳体1的内壁相接触，以使得刮板组件10可以将顺沿内壁流下的光刻胶废液均匀铺开。再通过加热壳体1或加热壳体1内腔的方式，使得光刻胶废液能够均匀受热汽化。
33.进一步地，第一连接件11可以呈扇形或长方形，其一端连接在主轴3上，并向远离主轴3的一端延伸。第一连接件11可以包括相背的第一面和第二面，其第一面朝向驱动件2，自第一面开设有贯穿至第二面的第一滑动槽16。第一滑动槽16在第一连接件11上延伸，并至少有部分朝靠近主轴3的方向(即远离壳体1内壁的方向)延伸。在其他实施例中，第一滑动槽16还可以开设在第一面或第二面，且不贯穿第一连接件11。
34.第二连接件12的一端可以伸入第一连接件11内，并通过配合件固定在第一滑动槽
16内，并沿第一滑动槽16延伸的方向自由滑动。第二连接件12的另一端连接刮板15，第二连接件12在第一滑动槽16内做靠近壳体1内壁的移动或做远离壳体1内壁的移动时，刮板15也相应的远离或靠近壳体1的内壁。
35.进一步地，刮板15朝靠近壳体1内壁的方向延伸并弯曲，其弯曲方向与第二连接件12的延伸方向形成夹角，其角度可以为10
°‑
60
°
。刮板15向其延伸方向还呈缩口形状，以此在缩口的顶端形成第一尖端1512，其弯曲后朝向壳体1内壁的一面为第一弯曲面1511。刮板15可以为非金属材料，且能够在其弯曲的方向上发生弹性变形，并无法在背向其弯曲的方向上发生弹性变形。当第二连接件12在第一滑动槽16内做靠近壳体1内壁的移动时，刮板15可以发生弹性形变，至第一弯曲面1511的至少部分与其相接触。
36.当薄膜蒸发器工作时，请参考图3和图4，驱动件2可以沿第一方向a转动或第二方向b转动。本实施例中，第一方向a为顺时针方向，第二方向b为逆时针方向，并且，刮板15的缩口和弯曲方向为第二方向b。当驱动件2沿第一方向a转动时，第二连接件12沿第二方向b移动，以使得刮板15抵持内壁发生弹性形变，直至第一弯曲面1511的至少部分与壳体1的内壁相接触。因此，刮板15在旋转的过程中可以将内壁上的光刻胶废液铺开。当驱动件2沿第二方向b转动时，第二连接件12沿第一方向a移动，刮板15无法发生弹性变形，使得第一尖端1512与壳体1的内壁相接触，因此，第一尖端1512可以将内壁上的光刻胶残渣刮下。
37.通过在第一连接件11上开设第一滑动槽16，使得安装在第一滑动槽16内的第二连接件12可以沿第一滑动槽16滑动；并且在设计第一滑动槽16至少部分向主轴3延伸，使得第二连接件12带动刮板15可以在第一滑动槽16内朝远离或靠近壳体1内壁的方向滑动，以使得第一弯曲面1511或第一尖端1512可以与壳体1的内壁相接触；通过驱动件2沿第二方向b转动使第一尖端1512与内壁相接触，因此第一尖端1512可以刮除内壁上的残渣，以此，薄膜蒸发器可以实现自动地清理壳体1内壁上的残渣，降低了生产成本的同时还减少了对生产效率的影响。
38.一种实施例中，请参考图2，同一薄膜蒸发器内可以设有多组刮板组件10，多组刮板组件10绕主轴3呈环形阵列排布，以使得在主轴3旋转时，多组刮板组件10可同时平铺光刻胶废液，提高工作效率。并且同一刮板组件10内，可设有多个第一连接件11和第二连接件12，刮板15在沿光刻胶废液流动的方向的呈纵向延伸，多个第一连接件11和第二连接件12均与刮板15连接，以此达到稳定刮板15的目的。
39.在其他实施例中，刮板组件10、第一连接件11和第二连接件12的数量可以根据需求设置，不做具体限制。
40.一种实施例中，请参考图3和图4，刮板组件10还包括第三连接件13和弹性件14，第三连接件13的一端通过弹性件14与第二连接件12连接，第三连接件13的另一端连接刮板15，薄膜蒸发器工作前，弹性件14抵持第二连接件12朝第一滑动槽16远离壳体1的一端滑动，以使第一尖端1512和壳体1的内壁相接触。
41.具体地，弹性件14能够在第二连接件12延伸的方向上发生弹性形变，当主轴3沿第一方向a转动时，第二连接件12在第一滑动槽16内做靠近壳体1内壁的移动时，第二连接件12和第三连接件13共同挤压弹性件14至其压缩，弹性件14因此具备弹性势能即发生弹性变形。当驱动件2减速或停止工作时，弹性件14可以抵持第二连接件12在第一滑动槽16内滑动至第一滑动槽16远离壳体1内壁的一端。
42.或者，在驱动件2沿第一方向a转动时，弹性件14可以给予刮板15在其弹性变形的方向上具有往复移动的趋势，避免在驱动件2高速转动时，壳体1与刮板15之间的硬接触而照成刮板15过度磨损，以达到减振的目的。
43.进一步地，第三连接件13和刮板15的可以为可拆卸式连接或不可拆卸连接(焊接)，当然还可以是一体成型的结构。
44.在本实施例中，弹性件14为弹簧，其位于第二连接件12的内部，第三连接件13部分伸入第二连接件12的内部，弹性件14的两端因此连接第二连接件12内部的壁面和第三连接件13的端面。以此，使得第三连接件13至少部分可以在第二连接件12的内部做往复移动。
45.在其他实施例中，第二连接件12和第三连接件13之间还可以通过可伸缩的折叠杆连接。可以理解的，第二连接件12和第三连接件13之间设置弹性件14的目的在于，其可以牵引第三连接件13往复移动，或在高速转动时具备往复移动的趋势，所以，弹性件14的具体形式不做限制。
46.通过在第一连接件11和第二连接件12之间设计弹性件14，可以使得第一连接件11和第二连接件12之间具备弹性势能，以此减少主轴3沿第一方向a转动时第一弯曲面1511与壳体1内壁之间的有害摩擦；或沿第二方向b转动时，第一尖端1512与壳体1内壁之间的有害摩擦。
47.一种实施例中，请参考图3，第一滑动槽16背向壳体1的内壁弯曲，并包括第一端部161和第二端部162，第二端部162远离壳体1，驱动件2沿第一方向a转动时，第二连接件12朝第一端部161滑动，弹性件14压缩，第一弯曲面1511与壳体1的内壁相接触；驱动件2沿第二方向b转动时，第二连接件12朝第二端部162滑动，弹性件14拉伸，以使第一尖端1512和壳体1的内壁相接触。
48.具体地，第一滑动槽16呈弧形，第一端部161到内壁的距离大于第二端部162到内壁的距离，第一滑动槽16的弯拱处朝向内壁。并且，自主轴3向壳体1内壁的延伸方向上，第一端部161位于第二端部162的左侧。
49.主轴3静止时，弹性件14抵持第二连接件12位于第二端部162；当主轴3开始沿第一方向a转动时，第二连接件12自静止至运动状态，并沿第二方向b移动至第一端部161和第二端部162之间，至弹性件14压缩第二连接件12移动至第一端部161，弹性件14因此具备弹性势能。当主轴3停止转动时，在弹性势能的影响下，弹性件14抵持第二连接件12移动回到第二端部162。
50.当主轴3开始沿第二方向b转动时，第二连接件12自静止至运动状态，并沿第一方向a移动至第二端部162上，在并在离心力作用下，弹性件14拉伸，以使得第一尖端1512与壳体1的内壁相接触，因此能刮除内壁上的残渣。
51.通过设计第一滑动槽16的结构，可以使得主轴3沿第一方向a转动时第一弯曲面1511与壳体1的内壁相接触，或主轴3沿第二方向b转动时第一尖端1512与壳体1的内壁相接触，以此，实现通孔控制主轴3的旋转方向从而控制薄膜蒸发器可以铺开光刻胶废液或刮除内壁的残渣。
52.一种实施例中，请参考图3，第一连接件11上还开设有第二滑动槽17，第二滑动槽17与第一滑动槽16平行，第二连接件12安装在第一滑动槽16内的一端向第二滑动槽17延伸，并安装在第二滑动槽17内。
53.具体地，自第一面开设有贯穿至第二面的第二滑动槽17。第二滑动槽17在第一连接件11上延伸，并至少有部分朝靠近主轴3的方向(即远离壳体1内壁的方向)延伸。在其他实施例中，第二滑动槽17还可以开设在第一面或第二面，且不贯穿第一连接件11。
54.进一步地，第二滑动槽17与第一滑动槽16平行，且位于第一滑动槽16的后方，第二连接件12安装在第一滑动槽16内的一端向第二滑动槽17延伸，并通过配合件固定在第二滑动槽17，以此，第二连接件12可以沿第一滑动槽16和第二滑动槽17延伸的方向自由滑动。
55.通过设计第二滑动槽17可以进一步限制第二连接件12沿第一滑动槽16和第二滑动槽17延伸的方向滑动，避免第二连接件12绕第一滑动槽16内的配合件自转，而影响废液铺开效率或残渣刮除效率。
56.一种实施例中，请参考图3和图6，刮板15包括第一弯曲部151，第一弯曲面1511和第一尖端1512均位于第一弯曲部151上，驱动件2沿第一方向a转动时，第一弯曲部151弹性变形，以使得第一弯曲面1511与壳体1的内壁相接触。
57.具体地，当主轴3沿第一方向a转动时，第二连接件12移动到第一滑动槽16靠近壳体1内壁的过程中，第一弯曲部151与壳体1的内壁相接触，由于第一弯曲部151的缩口和弯曲方向为第二方向b，所以第一弯曲部151可以发生弹性变形，第一弯曲面1511与壳体1的内壁相接触。
58.当主轴3沿第二方向b转动时，第二连接件12移动到第一滑动槽16靠近壳体1内壁的过程中，第一弯曲部151与壳体1的内壁相接触，第二弯曲部152无法发生弹性变形，所以第一尖端1512与壳体1的内壁相接触。
59.一种实施例中，请参考图7，第一弯曲部151上开设有第一导流槽1513，第一导流槽1513在第一弯曲面1511上延伸，第一弯曲部151上的液体沿第一导流槽1513流动至壳体1的内壁上。
60.具体地，第一导流槽1513可以在第一弯曲面1511上横向或纵向延伸，纵向的第一导流槽1513可以延伸至第一弯曲部151与第一连接件11的第一面平行的面上。在刮板15铺开光刻胶废液的过程中，其部分废液在刮板15的转动下会溅射到刮板15上，第一导流槽1513可以将溅射在刮板15上的废液导流回至壳体1的内壁上，以此避免废液中的残渣在刮板15上凝结。
61.一种实施例中，请参考图5和图6，刮板15还包括第二弯曲部152，第二弯曲部152包括第二弯曲面1521，驱动件2沿第一方向a或第二方向b转动时，第二弯曲面1521与壳体1的内壁相接触。
62.具体地，第二弯曲部152可以和第一弯曲部151为同一材质。第二弯曲面1521可以增大刮板15与壳体1内壁的接触面积，以此提高在内壁上铺开光刻胶废液的效率。
63.一种实施例中，请参考图5，第一弯曲部151连接在第二弯曲部152上，第二弯曲部152与第三连接件13固定连接。
64.具体地，第二弯曲部152的截面呈圆型，第一弯曲部151连接在第二弯曲部152的壁面上。当主轴3转动时，第一弯曲面1511和第二弯曲面1521同时与壳体1的内壁相接触，
65.一种实施例中，请参考图6，第一弯曲部151连接在第三连接件13上，第二弯曲部152与第三连接件13转动连接。
66.具体地，第二弯曲部152的截面呈圆型，且第二弯曲部152连接在第三连接件13的
端部，能够绕其轴心转动。第一弯曲部151连接第三连接件13上，第一弯曲部151连接的部位与第二弯曲部152连接的部位具有间距，且第一弯曲面1511和第二弯曲面1521相接触。当主轴3转动时，第一弯曲面1511和第二弯曲面1521同时与壳体1的内壁相接触，且第二弯曲部152绕其轴心转动，使得第二弯曲面1521同时与第一弯曲面1511和壳体1的内壁转动连接。
67.一种实施例中，第二弯曲部152上开设有第二导流槽，第二导流槽在第二弯曲面1521上延伸，第二弯曲部152上的液体沿第二导流槽流动至第一弯曲部151或壳体1的内壁上。
68.具体地，在第一弯曲部151连接在第二弯曲部152上时，第二导流槽可以在第二弯曲面1521上横向或纵向延伸，横向的第二导流槽可以连通横向的第一导流槽1513，纵向的第二导流槽可以延伸至第二弯曲部152与第一连接件11的第一面平行的面上。
69.第一弯曲部151连接在第三连接件13上时，突出于第二导流槽的位置可以与第一导流槽1513相嵌合，以使得第一弯曲面1511和第二弯曲面1521的形成类似于齿轮配合连接的方式，通过此方式可以相互清理导流槽内的残渣，避免残渣凝固。
70.一种实施例中，该薄膜蒸发器还可以连接控制器，控制器用于控制驱动件2的转速及转动方向，还可以控制进液口4的进液量。具体地，控制器控制驱动件2的转动方向可以为周期性地，当驱动件2沿第二方向b转动时，控制器可以控制减少进液量，以此避免了在清理残渣的过程中，第一尖端1512铺开光刻胶废液的效率不足而导致废液堆积的问题。
71.一种实施例中，上述实施例中的刮板组件10还可以用于光刻胶废液回收装置中的残渣罐或缓存罐中，其主要用于去除罐体的内壁上所残留的光刻胶残渣。
72.以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。