滤芯化学清洗装置及清洗方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种滤芯化学清洗装置及清洗方法。
【背景技术】
[0002]在超纯水制造过程中，RO膜是一个重要处理单元，在RO之前通常都需要使用安全过滤器，安全过滤器是以滤芯作为过滤介质，用于过滤水中一些颗粒等污染物。在安全过滤器进出口有一定压差的条件下，对细微物理颗粒进行截留与分离，达到去除颗粒物质的目的。安全过滤器在使用过程中，随着截留物的增加，滤芯进出口压力差会慢慢增大。通常在水处理系统中，定义压差大于0.1MPa时需要更换滤芯。
[0003]自从公司的超纯水系统自来水厂原水水源更换之后，滤芯的更换频率明显上升。经全方面检查超纯水预处理系统设备运行参数均在正常范围之内，最终调查的原因为新水源地的水质变化使得自来水厂改变了处理工艺，在原先处理净化工艺上有增加阴离子聚合物投入的环节，最终直接导致终端用户的安全滤芯寿命大大缩短，更换频率增加，安全过滤器耗材更换成本大大增加，高达原来的5.6倍。
[0004]由于滤芯的价格昂贵，如何减少滤芯更换的频率，降低成本是本领域技术人员急需解决的技术问题。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种滤芯化学清洗装置及清洗方法，能够减少滤芯更换的频率，降低成本。
[0006]为了实现上述目的，本发明提出了一种滤芯化学清洗装置，包括:浸泡桶槽、进水管、化学物品管及溢流管，其中，所述进水管、化学物品管均与所述浸泡桶槽相连，所述溢流管与所述浸泡桶槽相连，并靠近所述浸泡桶槽的顶部。
[0007]进一步的，在所述的滤芯化学清洗装置中，还包括固定板，所述固定板设于所述浸泡桶槽内，并设有多个孔洞，用于固定待清洗循环利用滤芯。
[0008]进一步的，在所述的滤芯化学清洗装置中，所述孔洞尺寸大于所述待清洗循环利用滤芯的尺寸。
[0009]进一步的，在所述的滤芯化学清洗装置中，所述孔洞个数为6个。
[0010]进一步的，在所述的滤芯化学清洗装置中，还包括排水管和排水阀，所述排水管与所述浸泡桶槽底部相连，所述排水阀设于所述排水管上。
[0011 ] 进一步的，在所述的滤芯化学清洗装置中，还包括踏板及顶盖，所述踏板紧贴所述浸泡桶槽外侧，所述顶盖通过螺丝固定在靠近所述浸泡桶槽的顶部处。
[0012]进一步的，在所述的滤芯化学清洗装置中，还包括清洗桶槽，所述清洗桶槽与所述进水管相连。
[0013]本发明提出了一种滤芯化学清洗方法，采用如上文所述的任一种滤芯化学清洗装置，包括步骤:
[0014]将待清洗循环利用滤芯放入浸泡桶槽中；
[0015]打开进水管，对所述浸泡桶槽注入去离子水，直至淹没所述待清洗循环利用滤芯预定高度；
[0016]打开化学物品管，对所述浸泡桶槽注入双氧水，直至所述浸泡桶槽内的双氧水达到预定浓度；
[0017]使所述待清洗循环利用滤芯浸泡预定时间。
[0018]进一步的，在所述的滤芯化学清洗方法中，在将所述待清洗循环利用滤芯放入浸泡桶槽中之前，还包括预清洗步骤，所述预清洗步骤为:
[0019]将所述待清洗循环利用滤芯放入清洗桶槽中，采用去离子水对其进行清洗。
[0020]进一步的，在所述的滤芯化学清洗方法中，在完成对所述待清洗循环利用滤芯浸泡预定时间之后，还包括二次清洗步骤，所述二次清洗步骤为:
[0021]将所述待清洗循环利用滤芯放入清洗桶槽中，采用去离子水对其进行多次清洗。
[0022]进一步的，在所述的滤芯化学清洗方法中，所述预定高度大于等于10cm。
[0023]进一步的，在所述的滤芯化学清洗方法中，所述双氧水的预定浓度是体积比范围为 0.3%?
[0024]与现有技术相比，本发明的有益效果主要体现在:将待清洗循环利用滤芯放入浸泡桶槽内，并使用化学物品进行浸泡，从而去除待清洗循环利用滤芯内部粘附的高分子有机物，使待清洗循环利用滤芯能够再次被使用，避免经常更换造成的成本增加。
[0025]进一步的，在提出的滤芯化学清洗方法中，采用预定浓度的双氧水进行浸泡，能够将粘附于待清洗循环利用滤芯内部粘附的高分子有机物氧化分解，从而将其排除，使待清洗循环利用滤芯恢复至可使用状态，降低成本。
【附图说明】
[0026]图1为本发明一实施例中滤芯化学清洗装置的结构示意图；
[0027]图2为本发明一实施例中固定板的俯视图；
[0028]图3为本发明一实施例中滤芯化学清洗方法的流程图。
【具体实施方式】
[0029]下面将结合示意图对本发明的滤芯化学清洗装置及清洗方法进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
[0030]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0031]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0032]发明人对原安全过滤器的滤芯进行解体，在滤芯表面并未发现污染物。然后通过切取原安全过滤器滤芯平膜使用药品沉浸法根据过滤时间改善状况来推测污染物后发现，造成滤芯被堵塞的堵塞物主要不是由于流入的颗粒增加，而是滤芯膜内部粘附的Al (OH)2等的高分子有机物造成的，此高分子有机物残留在滤芯表面将会在较短时间内导致过水通量减少、压差上升，造成滤芯堵塞。
[0033]了解到造成堵塞的原因，发明人通过实验测试对比寻找出一种可以让半导体行业超纯水系统安全过滤器滤芯重复利用的浸泡液、研宄和制造出一种应用于该安全过滤器滤芯清洗循环利用的清洗装置及清洗方法，以使滤芯能够再循环使用。
[0034]请参考图1，在本实施例中，一种滤芯化学清洗装置，包括:浸泡桶槽10、进水管15、化学物品管16及溢流管14，其中，所述进水管15、化学物品管16均与所述浸泡桶槽10相连，所述溢流管14与所述浸泡桶槽10相连，并靠近所述浸泡桶槽10的顶部，优选的，高于待清洗循环利用滤芯20放置进去的高度，以方便后续排出氧化分解出的高分子有机物。
[0035]在本实施例中，滤芯化学清洗装置还包括固定板11，所述固定板11设于所述浸泡桶槽10内，并设有多个孔洞18，如图2所示，用于固定待清洗循环利用滤芯20。所述孔洞18的尺寸可以略大于所述待清洗循环利用滤芯20的尺寸，以方便将所述待清洗循环利用滤芯20放入孔洞18中，从而起到固定待清洗循环利用滤芯20的作用。所述孔洞18个数为6个，其具体个数可以根