液体过滤器用基材的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及液体过滤器用基材。
【背景技术】
[0002] 近年来，电子设备的小型化、高性能化日益进展，尤其是W个人电脑、智能手机为 代表的数码设备、移动终端正在实现飞跃性的进步。众所周知，在牵引、支持该进步的各种 各样的技术中，半导体产业的技术革新发挥了重大作用。在近年来的半导体产业中，就布线 图案尺寸而言，已呈现为在小于20nm的领域开发竞争的态势，各公司正急于建立最先进的 生产线。
[0003] 光刻（lithography)工序是在半导体部件的制造中形成图案的工序。随着近年来 的图案微细化，不仅对光刻工序中使用的药液本身的性状有所要求，而且，对直到向晶片上 涂布为止的对药液的操作也逐渐在要求非常高水平的技术。
[0004] 对于经复杂制备而得的药液，在马上要向晶片上涂布之前用细密的过滤器对其进 行过滤，从而除去对图案形成、成品率产生较大影响的颗粒。在最先进的小于20nm的图案 形成中，要求能够捕集小于约lOnm的颗粒，各过滤器制造公司正在大力进行开发。
[0005] 此外，即使在比迄今为止的先进领域即20nm的布线图案尺寸更大尺寸的领域（例 如，30nm~lOOnm)中，作为对于为形成布线图案而所需的药液的要求，同样也还追求对W 往的来自外部的微小混入异物的排除。进一步地，还一开始要求对因伴随药液自身的高反 应性而发生的凝胶化导致的凝胶状物的排除、对经高纯度精制的药液纯度的保持（即防止 药液的污染）。在对运类各种布线图案尺寸的半导体的制造中，有除去约lOnm~50nm的尺 寸的颗粒的需求。
[0006] 一般而言，液体过滤器将由聚乙締、聚四氣乙締、尼龙、聚丙締等树脂形成的多孔 质膜作为基材，加工成筒（cartridge)形来使用。从与药液的相容性、捕集性能、处理能力、 寿命等观点考虑，基材根据目的用途而被区别使用。最近，特别重视使来自基材的溶出物减 少，已在逐渐大量使用聚乙締微多孔膜作为基材。
[0007] 作为聚乙締微多孔膜的代表性制造方法，可举出相分离法、拉伸法。相分离法是 利用高分子溶液的相分离现象而形成细孔的技术，例如有专利文献1那样的利用热来诱导 相分离的热诱导相分离法、利用高分子对溶剂的溶解度特性的非溶剂诱导相分离法等。此 夕F，也可W组合热诱导相分离和非溶剂诱导相分离运两种技术，或者还通过拉伸来调整孔 结构的形状、大小，从而丰富其变化（variation)。拉伸法是下述运样的方法：像例如专利 文献2~5中那样，对已成型为片材状的聚乙締巧料片进行拉伸，调整速度、倍率、溫度等 拉伸条件，将晶体结构中的非晶质部分拉长，在形成微纤维（microfibril)的同时在片状 (lamellar)层之间形成微细孔。
[0008] 现有技术文献
[0009] 专利文献
[0010] 专利文献1 :日本特开平2-251545号公报
[0011] 专利文献2 :日本特开2010-053245号公报
[0012] 专利文献3 :日本特开2010-202828号公报
[0013] 专利文献4 :日本特开平7-246322号公报
[0014] 专利文献5 :日本特开平10-263374号公报
【发明内容】
[0015] 但是，如果想要高效捕集约10~50nm大小的颗粒，却反而存在液体透过性变差的 倾向，捕集性能与液体透过性存在此消彼长的关系。
[0016] 此外，在液体过滤器的长期使用中，由于对聚締控微多孔膜反复施加压力，所W也 存在多孔质结构发生变化、液体透过性逐渐降低的情况。为了解决上述长期稳定使用的课 题，虽然例如也可W考虑将聚締控微多孔膜制成刚性的构成，但运样的话对捕集性能、液体 透过性也会产生影响。此外，在长期使用液体过滤器的情况下、或在加工为过滤器时的热压 (粘接）等的工序中，可能产生下述问题：聚締控微多孔膜发生必要程度W上的压变，不能 保持原来的多孔质结构，透水性能变得不稳定的问题；由孔的关闭而导致的过滤压力异常 上升等问题。因此，在液体过滤器的长期使用时或加工时，需要能够保持良好的多孔质结构 的聚締控微多孔膜。 阳017] 此外，在如专利文献1~5运样的现有技术中，没有提出过既能使得对约10~ 50nm大小的颗粒的捕集性能及液体透过性优异、并且还能使长期使用中稳定的液体透过性 得W实现的方案。
[0018] 因此，本发明中，为了解决上述课题，W提供一种在对约10~50nm大小的颗粒具 有优异的捕集性能的同时还具有优异的液体透过性、并且具有在长期使用中稳定的液体透 过性的液体过滤器用基材作为目的。
[0019] 为了解决上述课题，本发明采用W下构成。
[0020] 1.液体过滤器用基材，所述基材由聚締控微多孔膜形成，所述聚締控微多孔膜的 透水性能为0. 51~1. 20ml/min.cm2,所述聚締控微多孔膜的泡点为0. 45MPaW上且为 0. 70MPaW下，所述聚締控微多孔膜的压缩率小于15%。
[0021] 2.如上述1所述的液体过滤器用基材，其中，对于所述聚締控微多孔膜而言，W 120°C进行1小时热处理后的宽度方向的热收缩率为15%W上。
[0022] 3.如上述1或2所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚締控微多孔膜的厚度为 7 ~16um。
[002引 4.如上述1~3中任一项所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚締控微多孔膜的 孔关闭溫度高于140°C。
[0024] 5.如上述1~4中任一项所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚締控微多孔膜的 孔隙率为50~58%。
[0025] 根据本发明，能够提供在对约lOnm~50nm大小的颗粒具有优异的捕集性能的同 时还具有优异的液体透过性、并且具有在长期使用中稳定的液体透过性的液体过滤器用基 材。
【具体实施方式】
[00%] w下依次说明本发明的实施方式，但运些说明及实施例是对本发明的示例，并不 限制本发明的范围。需要说明的是，本说明书全文中，在数值范围中使用"~"时，各数值范 围中包含其上限值和下限值。此外，关于聚締控微多孔膜，"长度方向"是指被制造成长条状 的聚締控微多孔膜的长度上的方向，"宽度方向"是指与聚締控微多孔膜的长度方向垂直的 方向。W下，将"宽度方向"亦称为"TD"，将"长度方向"亦称为"MD"。
[0027][液体过滤器用基材]
[0028] 本发明的液体过滤器用基材是由聚締控微多孔膜形成的，所述聚締控微多孔膜的 透水性能为0. 51~1. 20ml/min?cm2,所述聚締控微多孔膜的泡点为0. 45MPaW上且为 0. 70MPa W下，所述聚締控微多孔膜的压缩率小于15%。
[0029] 根据如上所述的本发明，能够提供在对约10~50nm大小的颗粒具有优异的捕集 性能的同时还具有优异的液体透过性、并且具有在长期使用中稳定的液体透过性的液体过 滤器用基材。W下，对各构成的详细内容进行说明。
[0030](透水性能（水流量））
[0031] 作为本发明液体过滤器用基材的聚締控微多孔膜的特征在于流量特性优异。该聚 締控微多孔膜的90kPa的压差下的透水性能为0. 51~1. 20ml/min?cmZ。若聚締控微多孔膜 的透水性能小于0. 51ml/min，(:!]!2,则作为约10~50nm大小的颗粒用的液体过滤器时不能 获得充分的透水性能，可能产生液体过滤的生产率降低的问题、用W维持送液量（生产率） 的能量负荷增大的问题等。从上述观点考虑，透水性能更优选为0. 55ml/min?cm2W上，进 一步优选为0.60ml/min ?cm2^上。另一方面，若聚締控微多孔膜的透水性能大于1.20ml/ min?cm2,则无法充分捕集大约10~50nm的微小的颗粒，可能产生不呈现充分的捕集性能 的问题。从上述观点考虑，透水性能更优选为1. lOml/min?cm2W下，进一步优选为1. 00ml/ min?cm2W下。
[0032](泡点）
[0033] 作为本发明液体过滤器用基材的聚締控微多孔膜的特征在于，能高度捕集大约 10~50皿的微小的颗粒。该聚締控微多孔膜的泡点为0. 45MPaW上、且为0. 70MPaW下。 本发明中，若聚締控微多孔膜的泡点低于0. 45MPa，则无法充分捕集上述那样微小的颗粒， 不呈现充分的捕集性能。从上述观点考虑，泡点更优选为〇.48MPaW上。另一方面，若聚締 控微多孔膜的泡点高于0. 70MPa，则透水性能显著不足，可能发生无法实现在长期