此能够将薄膜材料涂布于基板10。在使基板10向y轴的正方向移动的情况下，从配置在某一喷嘴头41的y轴的正侧(基板10的移动方向的下游侧)的临时固化用光源43射出的临时固化用光照射于从该喷嘴头41吐出而涂布于基板10的薄膜材料。由此，能够使涂布于基板10的薄膜材料临时固化。只要关闭临时固化用光源43，就可以部对薄膜材料进行临时固化。
[0068]控制装置50中存储有定义应形成薄膜的图案的图像数据。控制装置50根据该图像数据控制移动机构31及喷嘴头41，由此能够形成具有所希望的图案的薄膜。
[0069]参考图8A?图8J，对使用实施例1的薄膜形成装置来形成薄膜的方法进行说明。图8A?图8J表示图7的单点划线8-8处的剖视图。在图8A?图8J中，示出一边使基板10向y轴的正方向移动一边形成薄膜的例子。以下，将y轴的正侧称作“下游侧”，将负侧称作“上游侧”。
[0070]在形成阻挡结构14(图2A、图2B)时，点亮序号#I?#8的各个喷嘴头41的下游侧的临时固化用光源43。而序号#1的喷嘴头41的上游侧的临时固化用光源43则无需点亮。
[0071 ] 在图8A至图8F的工序中形成阻挡结构14(图2A、图2B)。如图8A所示，一边使基板10向y轴的正方向移动，一边从序号#1的喷嘴头41吐出经液滴化的薄膜材料，使薄膜材料的液滴着落于预定区域11的边缘12(图1A、图1B)。由此，在基板10上形成由薄膜材料形成的液态膜17。
[0072]如图8B所示，在液态膜17(图8A)通过在下游侧与序号#1的喷嘴头41相邻的临时固化用光源43的下方时，临时固化用光21照射于液态膜17。其结果，液态膜17临时固化，形成构成阻挡结构14(图2B)的一部分的阻挡要件17A。
[0073]如图SC所示，在阻挡要件17A通过序号#2的喷嘴头41的下方时，从序号#2的喷嘴头41吐出的薄膜材料涂布于阻挡要件17A之上。由此，在第I层的阻挡要件17A之上形成第2层的液态膜17。
[0074]如图8D所示，在第2层的液态膜17(图8C)通过在下游侧与序号#2的喷嘴头41相邻的临时固化用光源43的下方时，液态膜17临时固化而形成第2层的阻挡要件17A。同时，当位于比阻挡要件17A的形成位置更靠上游侧位置的预定区域11的边缘12(图1A)通过序号#1的喷嘴头41的下方时，通过从序号#1的喷嘴头41吐出的薄膜材料形成第I层的液态膜17。
[0075]如图SE所示，每当阻挡要件17A通过喷嘴头41的下方时，在阻挡要件17A之上形成液态膜17。每当液态膜17通过临时固化用光源43的下方时，液态膜17临时固化而形成阻挡要件17A。
[0076]如图8F所示，若预定区域11的边缘12(图1A)通过了在下游侧与序号#8的喷嘴头41相邻的临时固化用光源43的下方，则完成多个阻挡要件17A层叠而成的阻挡结构14。
[0077]在图8G至图81的工序中形成膜要件15A(图3A、图3B)及液态膜16(图4A、图4B)。一边使基板10向y轴的正方向移动，一边进行膜要件15A及液态膜16的形成。序号#8的下游侧的临时固化用光源43处于关闭的状态。另外，如图7所示，由于喷嘴头41及临时固化用光源43的朝向y轴正方向的排列顺序与朝向y轴负方向的排列顺序相同，因此也可一边使基板10向y轴的负方向移动，一边形成膜要件15A及液态膜16。
[0078]如图SG所示，在被阻挡结构14所包围的预定区域11内形成膜要件15A。膜要件15A的形成方法与图8A?图SE所示的阻挡要件17A的形成方法相同。在形成阻挡要件17A时，使经液滴化的薄膜材料着落于预定区域11的边缘12(图1A)，然而，在形成膜要件15A时，使经液滴化的薄膜材料着落于预定区域11 (图1A)内。
[0079]通过使由序号#1至#7的喷嘴头41所涂布的薄膜材料构成的液态膜15临时固化，形成7层的膜要件15A。该工序相当于图3A、图3B所示的形成膜要件15A的工序。
[0080]如图8!1所示，在膜要件15A通过序号#8的喷嘴头41的下方时，通过从序号#8的喷嘴头41吐出的薄膜材料，在膜要件15A之上形成液态膜16。该工序相当于图4A、图4B所示的形成液态膜16的工序。
[0081 ]如图81所示，由于在下游侧与序号#8相邻的临时固化用光源43未点亮，因此液态膜16不会进行临时固化而保持液态。
[0082]如图8J所示，将基板10从载物台30搬出，并配置在正式固化用光源68的下方。通过向液态膜16(图81)照射正式固化用光18而使液态膜16(图81)固化，并且提高膜要件15A的固化度。由此形成薄膜20。
[0083]在实施例1中，通过序号#1?#7的喷嘴头41形成膜要件15A，并通过序号#8的喷嘴头41形成液态膜16(图8H)。由此，形成7层的膜要件15A。膜要件15A的层数并不限定于7层，也可为6层以下。例如，也可通过序号#1?#6的喷嘴头41形成6层的膜要件15A，并通过序号#7及#8的喷嘴头41形成液态膜16。在该情况下，将在下游侧与序号#7及#8的各个喷嘴头41相邻的临时固化用光源43设为关闭状态即可。
[0084][实施例2]
[0085]图9表示实施例2的薄膜形成装置的概略主视图。实施例2的薄膜形成装置包括搬入站60、临时定位站61、涂布站62、正式固化站63及搬送装置64。定义将水平面作为xy面，将铅垂上方作为z轴的正方向的xyz正交坐标。搬入站60、临时定位站61、涂布站62及正式固化站63朝向X轴的正方向依次配置。控制装置50控制搬入站60、临时定位站61、涂布站62、正式固化站63内的各装置以及搬送装置64。控制装置50中存储有定义应形成于基板10的薄膜图案的平面形状的图像数据。
[0086]第I搬送辊65将作为处理对象的基板10朝向X轴的正方向从搬入站60搬送至临时定位站61。通过使由第I搬送辊65搬送过来的基板10的前端与挡块67接触，由此进行搬送方向上的基板1的大致定位。
[0087]搬送装置64将基板10从临时定位站61搬送至涂布站62，以及从涂布站62搬送至正式固化站63。搬送装置64包括引导件70及2台升降机71、72。升降机71、72被引导件70引导而向X方向移动。一个升降机71将基板10从临时定位站61搬送至涂布站62，而另一个升降机72将基板10从涂布站62搬送至正式固化站63。
[0088]涂布站62包括平台32、移动机构31及载物台30。载物台30经由移动机构31支承于平台32上。移动机构31受控制装置50的控制而使载物台30向X方向及y方向移动，并且以与z轴平行的直线为旋转中心而改变载物台30的旋转方向的姿势。载物台30例如通过真空卡盘固定基板10。
[0089]图10表示涂布站62的概略俯视图。载物台30被Y方向引导件35引导而向y方向移动。当载物台30位于y方向上的可动范围的负侧端部(引导件70侧的端部)时，在载物台30和升降机71、72(图9)之间进行基板10的传递。
[0090]在载物台30的通过路径的上方配置有摄像装置33及高度传感器34。摄像装置33拍摄保持在