一种负压环境下的气体循环净化装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于一种气体循环净化装置，具体涉及一种负压环境下的气体循环净化装置。
【背景技术】
[0002]惰性气体作为一种保护气体，经常会被用到工业生产中。但是随着生产过程的进行，保护气体的纯度会逐渐降低，影响生产的进程和产品的质量，现有技术无法避免气体纯度的降低。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的，其目的是提供一种负压环境下的气体循环净化装置。
[0004]本实用新型的技术方案是:
[0005]一种负压环境下的气体循环净化装置，包括通过循环管路依次连通的蠕动泵、钛泵和负压工作系统，
[0006]所述蠕动泵包括支撑架、电机、联轴器、轴支撑架、丝杠、滑块、活动板、波纹管、限位开关和滑动轴；支撑架是由两块侧板和一块底板组成的“U”型结构；支撑架靠近电机一侧的侧板形成缺口，电机的驱动杆与联轴器连接；两个轴支撑架分别安装于支撑架的底板上，且靠近侧板内壁设置；丝杠两端分别安装于两个轴支撑架上，其中一端与联轴器连接；滑块安装于丝杠上；活动板是由竖板与固定于滑块上的横板组成的“丄”型结构，活动板的竖板与支撑架的侧板平行，且竖板边角处形成与侧板通孔相对应的滑动轴孔；波纹管两端分别与两侧板固定，且中间被竖板分隔成左波纹管和右波纹管两部分；两侧板和竖板对应左波纹管和右波纹管端面中心的位置形成透气孔，左波纹管和右波纹管内部对应透气孔的位置安装有挡片；两个限位开关分别安装于底板上，且靠近轴支撑架设置；滑动轴分别穿过两侧板和竖板，安装于支撑架上；
[0007]所述钛泵包括圆筒形钛泵外壳、刀口密封电极法兰、金属密封垫圈、内胆、铠装加热丝、电极针和海绵钛；钛泵外壳上端形成刀口密封法兰，钛泵外壳的筒体两侧分别设置进气口和出气口；电极法兰安装于钛泵外壳上端，且钛泵外壳和电极法兰安装有金属密封垫圈；内胆置于钛泵外壳空腔中，且通过多个连接板与电极法兰的下端面固定连接，内胆呈圆筒状，其筒壁及筒底形成均布的圆孔，内胆内部装有海绵钛；铠装加热丝置于内胆内；多个电极针焊接在电极法兰上，且一端深入内胆内部，其中一对电极针深入内胆的一端与铠装加热丝连接。
[0008]所述钛泵的进气口与蠕动泵出气口连通，出气口与负压工作系统进气口连通。
[0009]所述挡片呈圆形，且直径大于透气孔的直径。
[0010]所述刀口密封法兰的尺寸与刀口密封电极法兰的尺寸相匹配。
[0011]所述进气口的位置低于出气口。
[0012]所述钛泵外壳的内壁形成有钛膜。
[0013]本实用新型的有益效果是:
[0014]本实用新型是针对在负压环境下使用保护气体进行的长时间工作，可以在不破坏系统负压环境的情况下，对系统内部的惰性气体进行净化提纯，既提高了工作效率，又降低了工作成本。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型一种负压环境下的气体循环净化装置的结构示意图；
[0016]图2是本实用新型中蠕动泵的结构示意图；
[0017]图3是本实用新型中钛泵的结构示意图；
[0018]图4是图3中A部分的放大图；
[0019]图5是图3中B部分的放大图。
[0020]其中:
[0021]I蠕动泵2钛泵
[0022]3负压工作系统4循环管道
[0023]5支撑架 6电机
[0024]7联轴器8轴支撑架
[0025]9丝杠10滑块
[0026]11活动板12波纹管
[0027]13挡片14限位开关
[0028]15滑动轴16钛泵外壳
[0029]17刀口密封电极法兰18金属密封垫圈
[0030]19内胆20铠装加热丝
[0031]21电极针22海绵钛
[0032]23驱动杆24侧板
[0033]25底板26竖板
[0034]27左波纹管28右波纹管
[0035]29透气孔30刀口密封法兰
[0036]31连接板32进气口
[0037]33 出气口34横板。
【具体实施方式】
[0038]下面结合说明书附图及实施例对本实用新型一种负压环境下的气体循环净化装置进行详细说明:
[0039]如图1所示，一种负压环境下的气体循环净化装置，包括通过循环管路4依次连通的蠕动泵1、钛泵2和负压工作系统3，负压工作系统3包括真空腔体、真空泵及真空计，负压工作系统3内部气体运动方向如图1中箭头所示；钛泵2进出气口由图3中箭头所示；循环管道4尽可能缩短长度并减少拐角。
[0040]如图2、4、5所述，蠕动泵I包括支撑架5、电机6、联轴器7、轴支撑架8、丝杠9、滑块10、活动板11、波纹管12、限位开关14和滑动轴15 ；
[0041]支撑架5是由两块两块侧板24和一块底板25组成的“U”型结构，支撑架5靠近电机6 —侧的侧板24形成缺口，；
[0042]电机6的驱动杆23与联轴器7连接；
[0043]两个轴支撑架8分别安装于支撑架5的底板25上，且靠近侧板24内壁设置；
[0044]丝杠9两端分别安装于两个轴支撑架8上，其中一端与联轴器7连接；
[0045]滑块10安装于丝杠9上；
[0046]活动板11是由竖板26与固定于滑块20上的横板34组成的“丄”型结构，活动板11的竖板26与支撑架5的侧板24平行，且竖板26边角处形成与侧板24通孔相对应的滑动轴孔；
[0047]波纹管12两端分别与两侧板24固定，且中间被竖板26分隔成左波纹管27和右波纹管28两部分；两侧板24和竖板26对应左波纹管27和右波纹管28端面中心的位置形成透气孔29，左波纹管27和右波纹管28内部对应透气孔29的位置安装有挡片13 ；
[0048]所述挡片13呈圆形，且直径大于透气孔29的直径。
[0049]两个限位开关14分别安装于底板25上，且靠近轴支撑架8设置；
[0050]滑动轴15分别穿过两侧板24和竖板26，安装于支撑架5上；
[0051]支撑架5、活动板11、挡片13、滑动轴15的材料均为304不锈钢，波纹管12的材料为350不锈钢。
[0052]蠕动泵循环工作过程如下:
[0053]电机6、轴支撑架10、波纹管12和限位开关14均固定在支撑架5上，电机的转动由联轴器7传递给架在轴支撑架8上的丝杠9，滑块10可随着丝杠的正反转做往复移动，固定在滑块10上端的活动板11随着滑块10做往复运动使左波纹管27和右波纹管28交替做压缩、拉伸的动作，左波纹管27压缩时其内部的挡片13处于闭合状态(如图4所示)；同时右波纹管28做拉伸动作，且其内部挡片13处于开合状态(如图5所示)，如此往复，两段波纹管内部气体便可向一个方向运动，形成循环。活动板11下端连接滑块10，竖板26由滑动轴15支撑，保证波纹管12只沿轴向