残液蒸发器的制造方法_2

文档序号:8985829阅读:来源:国知局
轴23转动。驱动件24为驱动电机,驱动轴23与驱动电机连接,并在驱动电机的驱动下转动,以带动固定在其上的刮刀21转动,以摊铺筒壁上的物料。
[0033]为了防止氯硅烷正确泄漏,驱动轴23与分离筒体12的上端的衔接处通过机械密封结构40密封。
[0034]残液蒸发器还包括液体分布器,液体分布器位于最低的分布器的下方。
[0035]采用该残液蒸发器可以在多晶硅生产领域中用于处理含有氯硅烷的残液。具体的说,可以将含氯硅烷的残液进行深度蒸发,以回收氯硅烷。
[0036]结合参见图1和2,在本实施例中,残液(也即物料)从壳体10的加热筒体11的物料进口 111进入基础筒113内,物料进口 111位于刮刀21的顶部,通过对应于物料进口111设置的锥形刮刀22使其沿筒壁均匀分布同时向下流动,沿筒壁向下流动的残液经过蒸汽夹套114的加热至残液的沸点或接近沸点,其中的氯硅烷汽化并向上扩散,固体则在刮刀21的作用下沿筒壁向下从底部的物料出口 112排出。上升的氯硅烷蒸气经过加热筒体11后进入处于加热筒体11的顶部的分离筒体12,分离筒体12内安装有2-5块高效的分布板30。该分布板30可以为泡罩塔板,其结构类似精馏塔的泡罩塔板结构,处于分布板30上部的洗液进口 122内通入四氯化硅洗液。氯硅烷蒸气通过分布板30均匀分布且与水平流动的洗液充分接触后除去气体中夹带的汽泡、液珠、杂质后从分离筒体12上部的蒸气出口121排出。该残液蒸发器操作简单、运行可靠,加热效率高。
[0037]加热筒体11为立式筒体,蒸汽夹套114的上部设置有蒸汽入口 115,下部设置有冷凝水出口 116,且蒸汽入口 115与冷凝水出口 116位于蒸汽夹套114的直径方向上的两侧,以提高通入蒸汽夹套114内的蒸汽的使用率。刮刀21采用弹簧片刮刀,加热筒体11的内壁精加工,确保旋转的刮刀21与加热筒体11的内壁的间隙保持不变。刮刀21采用可拆卸结构固定在驱动轴23上面。如图2所示,驱动轴23与刮刀21之间通过连接板连接。刮刀21具有耐磨及耐腐蚀性能,能够使残液均匀分布于筒体内壁,同时使筒体内壁保持清洁,保证传热效果。
[0038]在本实施例中,物料进口 111共有三个,且通过环状管与总管连接,从而使得物料加入加热筒体11时,沿着内壁迅速均匀分布向下流动,保证物料及时充分蒸发。
[0039]分离筒体12内设置有分布板30,最底部的分布板30的下面设有液体分布器,使从分布板30流下的液体能够均匀分布在加热筒体11的内壁。
[0040]分离筒体12与驱动轴23之间的密封采用机械密封结构40。在机械密封结构40的密封腔内通入低压氮气,密封腔与尾气管道连接,即使出现内部介质氯硅烷的泄露也会通过尾气管道进入尾气淋洗塔,不会对生产环境产生污染。
[0041]壳体10的安装方式为竖直安装。刮刀21的外沿与加热筒体11的内壁保持极小的间距。
[0042]从以上的描述中,可以看出,本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果:
[0043]刮刀具有自清洁功能,刮刀本身具有弹性,与筒体内壁间隔极小,残液能及时通过刮刀带走,不会在筒体内壁沉积,从而使得筒体的污垢热阻小,传热系数大,蒸发效率高。
[0044]加热筒体的上部设有分离筒体,分离筒体内设置有高效的分布板,在分布板上气液的充分接触洗涤,保证杂质不被蒸气带走,大大减轻了后续的氯硅烷气体除尘负担,提高了产品的质量。
[0045]机械密封结构的密封腔内充氮气保护,即使内部氯硅烷发生泄漏,也能通过尾气管道导走,保证工作环境不会受到危害。
[0046]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种残液蒸发器,其特征在于,包括: 壳体(10),所述壳体(10)包括使残液蒸发的加热筒体(11),所述加热筒体(11)上设置有物料进口(111)和物料出口(112); 刮板组件(20),所述刮板组件(20)可转动地设置在所述加热筒体(11)内,所述刮板组件(20)包括用于把所述物料摊铺到所述加热筒体(11)的内壁上的刮刀(21)。2.根据权利要求1所述的残液蒸发器,其特征在于,所述壳体(10)还包括与所述加热筒体(11)连通的分离筒体(12),所述分离筒体(12)连接在所述加热筒体(11)的顶端,所述分离筒体(12)上设置有蒸气出口(121)和洗液进口(122)。3.根据权利要求2所述的残液蒸发器,其特征在于,所述分离筒体(12)与所述加热筒体(11)同轴设置,且所述分离筒体(12)的内径大于所述加热筒体(11)的内径。4.根据权利要求3所述的残液蒸发器,其特征在于,所述分离筒体(12)内设置有分布板(30),所述蒸气出口(121)和所述洗液进口(122)位于最高的分布板(30)的上方。5.根据权利要求1所述的残液蒸发器,其特征在于,所述加热筒体(11)包括: 基础筒(113); 蒸汽夹套(114),所述蒸汽夹套(114)套设在所述基础筒(113)外,所述蒸汽夹套上或者所述蒸汽夹套与所述基础筒之间形成有夹层腔,所述蒸汽夹套(114)的上部设置有与所述夹层腔相通的蒸汽入口(115),所述蒸汽夹套(114)的下部设置有与所述夹层腔相通的冷凝水出口(116)。6.根据权利要求5所述的残液蒸发器,其特征在于,所述物料进口(111)设置在所述基础筒(113)上,所述物料进口(111)为多个且沿所述基础筒(113)的周向分布,所述残液蒸发器还包括连接各所述物料进口(111)的环状管。7.根据权利要求1所述的残液蒸发器,其特征在于,所述刮板组件(20)还包括锥形台和设置在锥形台的锥形面上并沿所述锥形面的母线延伸的锥形刮刀(22),所述锥形刮刀(22)对应所述物料进口(111)设置。8.根据权利要求2所述的残液蒸发器,其特征在于,所述刮板组件还包括: 驱动轴(23),所述驱动轴(23)穿过所述分离筒体(12)后伸入所述加热筒体(11)内,所述刮刀(21)固定设置在所述驱动轴(23)上; 驱动件(24),所述驱动件(24)与所述驱动轴(23)连接,并驱动所述驱动轴(23)转动。9.根据权利要求8所述的残液蒸发器,其特征在于,所述驱动轴(23)与所述分离筒体(12)的上端的衔接处通过机械密封结构(40)密封。10.根据权利要求4所述的残液蒸发器,其特征在于,所述残液蒸发器还包括液体分布器,所述液体分布器位于最低的所述分布器的下方。
【专利摘要】本实用新型提供了一种残液蒸发器。该残液蒸发器包括:壳体,壳体包括使残液蒸发的加热筒体,加热筒体上设置有物料进口和物料出口;刮板组件,刮板组件可转动地设置在加热筒体内,刮板组件包括用于把物料摊铺到加热筒体的内壁上的刮刀。该残液蒸发器可以提高含氯硅烷的残液的回收。
【IPC分类】C07F7/12, B01D1/30, B01D1/22
【公开号】CN204637611
【申请号】CN201520286237
【发明人】万烨, 曾晓国, 严大洲, 杨永亮
【申请人】中国恩菲工程技术有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年5月5日
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