一种半导体工件双面检测装置的制作方法

1.本发明涉及半导体工件检测设备技术领域，特别涉及一种半导体工件双面检测装置。


背景技术：

2.随着半导体产品的多样化、复杂化以及对产品质量标准的提高，半导体封装行业制程中均需要对产品的质量进行监控，检查产品的外观尺寸等参数，相关技术中需要将产品放到工装上，然后放置在x光射线下观察以及测量产品尺寸，由于半导体产品具有两面，半导体产品的一面是贴装芯片的，另一面是没有贴装芯片，而相关设计的工装只能检查半导体产品贴装芯片的一面，没有贴装芯片的表面无法进行检验，产品出现质量风险无法及时监控，另外，现有技术中不能对检测中的工件进行自动翻面，导致检测精度和效率降低，因此需要一种能够对半导体工件进行两面检测的装置，公开号为cn212721299u的中国实用新型专利公开了一种检测工装和检测系统，该检测工装用于半导体工件检测，所述检测工装包括工装支架和挡板，所述挡板与所述工装支架活动连接，并围合形成放置槽，所述放置槽用于限位工件，所述挡板用于调节所述放置槽的大小，所述放置槽的底壁设有让位口。该现有技术旨在提供一种方便检查半导体工件两侧表面的检测工装，该检测工装有效提高了产品良率，同时能够实现调节，提高了检测工装的通用性，但是该现有技术仍然存在以下问题：（1）不能对半导体工件进行夹紧固定；（2）无法实现在检测过程中的自动翻转，使用效率低下，因此本发明提供一种半导体工件双面检测装置，可有效解决上述技术问题。


技术实现要素：

3.本发明要解决的技术问题为：提供一种能够自动夹紧工件以及自动翻转检测面的半导体工件双面检测装置。
4.针对上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种半导体工件双面检测装置，包括机架组件、安装组件和检测组件，所述的检测组件设置在机架组件上，所述的安装组件滑动安装在机架组件上，所述的安装组件用于固定半导体工件，所述的安装组件在机架组件上滑动的过程中通过夹紧驱动组件和夹紧动作组件实现对半导体工件的自动夹紧，所述的安装组件在机架组件上滑动的过程中通过翻转驱动组件实现自动翻转，实现对半导体工件的双面检测，所述的检测组件上设有开门组件，所述的开门组件在安装组件的驱动下实现检测组件的自动打开。
5.所述的安装组件包括滑动安装在机架组件上的固定框架，所述的固定框架上转动同时滑动安装有驱动轴，所述的驱动轴上滑动安装有转动框架，所述的转动框架用于放置半导体工件，所述的驱动轴转动带动转动框架同时转动，所述的驱动轴滑动驱动夹紧动作组件实现对转动框架上半导体工件的夹紧固定。
6.进一步的，所述的固定框架为方框结构，所述的固定框架内部空心区域的长度与转动框架的长度相等，所述的转动框架的宽度方向上的两侧与固定框架的空心区域边界之
间设有空隙，所述的空隙的宽度以能够实现转动框架在固定框架内部的转动为准，所述的转动框架上设有多个固定板，所述的驱动轴滑动安装在固定板上，所述的安装组件在检测组件外部时，驱动轴上远离检测组件的一端上固定安装有夹紧弹簧的第一端，所述的夹紧弹簧的第二端固定安装在转动框架上，所述的转动框架中部为方形空心结构，所述的转动框架上空心结构的四角上均设有夹紧动作组件。
7.进一步的，所述的夹紧动作组件包括转动安装在转动框架上的转动柱，所述的转动柱的第一端设有用于固定半导体工件的压杆，所述的转动柱外表面上设有螺旋轨道，所述的转动框架上设有固定拨杆，所述的固定拨杆设置在转动柱的螺旋轨道内，所述的转动柱的第二端上转动安装有第二驱动框，所述的第二驱动框通过夹紧复位弹簧安装在第三挡板上，所述的第三挡板固定安装在转动框架上，所述的第二驱动框中部为空心结构，所述的第二驱动框上的空心结构所在的平面与驱动轴滑动方向垂直。
8.进一步的，在两个转动框架长度方向上所述的第二驱动框的连线上滑动安装有两个安装杆，所述的安装杆滑动安装在固定板上，所述的两个安装杆上靠近两侧第二驱动框的一端均设置为斜面，所述的两个安装杆互相靠近的一端上均设有第二夹紧齿条，位于同一直线上的两个安装杆上的第二夹紧齿条的齿形机构相对设置，所述的两个第二夹紧齿条之间转动安装有第二夹紧齿轮，所述的第二夹紧齿轮转动安装在转动框架上，位于转动框架两侧的两组安装杆中的任意一个通过驱动杆固定安装在驱动轴上。
9.进一步的，所述的夹紧驱动组件用于驱动驱动轴的轴向滑动，所述的夹紧驱动组件包括滑动安装在支架上的第一响应杆，所述的第一响应杆上设有齿形结构，所述的第一响应杆通过其上的齿形结构与第一夹紧齿轮形成齿轮齿条配合，所述的第一夹紧齿轮同时与滑动安装在固定框架上的第一夹紧齿条形成齿轮齿条配合，所述的第一夹紧齿条在与驱动轴轴线平行的方向上滑动，所述的第一夹紧齿条上靠近驱动轴端部的一端上固定有连杆的第一端，所述的连杆的第二端转动安装在驱动轴的端面上。
10.进一步的，所述的翻转驱动组件用于驱动驱动轴转动，所述的翻转驱动组件包括滑动安装在固定框架上的转向齿条，所述的转向齿条的第一端设有第二响应杆，所述的转向齿条的第二端上安装有第一翻转弹簧的第一端，所述的第一翻转弹簧的第二端固定安装在固定框架上，所述的第二响应杆与第一响应杆位于同一侧，所述的转向齿条与第二翻转齿轮形成齿轮传动，所述的第二翻转齿轮同轴固定安装在第一转轴的第一端，所述的第一转轴转动安装在固定框架上，所述的第一转轴的第二端上同轴固定安装有第一翻转齿轮，所述的驱动轴设有与驱动轴同轴的第三翻转齿轮，所述的驱动轴与第三翻转齿轮滑动连接，所述的第三翻转齿轮转动安装在固定框架上，所述的第一翻转齿轮与第三翻转齿轮形成齿轮传动。
11.进一步的，所述的机架组件包括设置在安装组件滑动方向上的固定杆，所述的固定杆设置在与第一响应杆和第二响应杆靠近的一侧，所述的固定杆上位于检测组件外部的两侧上设有夹紧驱动槽，所述的夹紧驱动槽用于驱动第一响应杆滑动，所述的夹紧驱动槽在固定杆上向远离第二响应杆的方向凹陷，位于检测组件内部的固定杆上滑动安装有活动板，所述的活动板的滑动方向与固定杆的长度方向垂直，所述的固定杆上设有用于驱动转向齿条的翻转驱动块，所述的翻转驱动块截面为等腰梯形结构，所述的翻转驱动块的短边设置在靠近转向齿条的一侧。
12.进一步的，所述的固定框架设有第三导向板，所述的第三导向板的上滑动安装有滑杆，所述的滑杆的滑动方向与转向齿条的滑动方向垂直，所述的滑杆上位于第三导向板和转向齿条之间的位置上设有第二挡板，所述的第二挡板在滑杆的驱动下滑动安装在固定框架上，所述的第二挡板与第三导向板之间设有与滑杆同轴的第二翻转弹簧，所述的滑杆上远离转向齿条的一端设有第一驱动框。
13.进一步的，所述的检测组件包括设置在安装组件滑动方向两侧的固定侧板，所述的固定侧板固定安装在机架组件上，两个所述的固定侧板的上端固定安装有安装框架，所述的安装框架内部滑动安装有扫描探头，所述的扫描探头的滑动方向与安装组件在机架组件上的滑动方向垂直，所述的扫描探头滑动过程中驱动解锁组件，用于解除对驱动轴转动的锁定。
14.进一步的，所述的解锁组件包括滑动安装在安装板上的第一解锁齿条，所述的第一解锁齿条与解锁齿轮形成齿轮齿条传动，所述的解锁齿轮通过转座转动安装在安装板上，所述的安装板上滑动安装有第二解锁齿条，第二解锁齿条的滑动方向为竖直方向，所述的第二解锁齿条与解锁齿轮形成齿轮齿条传动，所述的第二解锁齿条与解锁滑杆固定连接，所述的解锁滑杆下端设置为斜面，所述的解锁滑杆通过滑动驱动滑杆在固定框架上滑动，所述的解锁滑杆上固定安装有第四挡板，所述的第四挡板滑动安装在安装板上，所述的第四挡板与安装板之间设有与解锁滑杆同轴的解锁弹簧，所述的扫描探头滑动过程中驱动推板同时滑动，所述的推板用于驱动第一解锁齿条滑动。
15.进一步的，所述的固定框架上还固定安装有第二固定板，所述的第二固定板用于驱动检测组件上设置的开门组件，实现自动开关门。
16.进一步的，所述的固定侧板的两端均滑动安装有门板，所述的门板通过导向杆和门板齿条滑动安装在安装框架上，所述的门板齿条与开门组件形成齿轮齿条传动，所述的开门组件包括滑动安装在第五导向板上的滑柱，所述的第五导向板固定安装在机架组件上，所述的滑柱设置在第二固定板的滑动方向上，所述的滑柱安装在第一开门齿条上，所述的第一开门齿条与第一开门齿轮形成齿轮传动，所述的第一开门齿轮通过锥齿轮传动驱动第四转轴转动，所述的第四转轴上同轴固定安装有第二开门齿轮，所述的第二开门齿轮与门板齿条形成齿轮齿条配合。
17.本发明与现有技术相比的有益效果是：（1）本发明设置的夹紧驱动组件和夹紧动作组件在安装组件滑动过程中自动动作实现对半导体工件的夹紧，无需设置额外的动力源，方便操作；（2）本发明设置的翻转驱动组件在安装组件滑动过程中实现自动翻转，结构巧妙，自动化程度高，提高了检测精度；（3）本发明设置的解锁组件在完成一面的检测后自动启动，实现翻转，无需人工操作；（4）本发明中滑动设置在固定杆上的活动板能够实现解除对半导体工件的夹紧，由此实现不合格产品的分类。
附图说明
18.图1为本发明整体结构示意图（第一角度）。
19.图2为本发明整体结构示意图（第二角度）。
20.图3为本发明机架组件和安装组件结构示意图。
21.图4为图3中a处的局部结构示意图。
22.图5为本发明机架组件（部分）和安装组件结构示意图（俯视角度）。
23.图6为图5中b处的局部结构示意图。
24.图7为本发明机架组件（部分）和安装组件结构示意图（仰视角度）。
25.图8为本发明安装组件局部剖切结构示意图。
26.图9为图8中c处的局部结构示意图。
27.图10为本发明整体结构示意图（第三角度）。
28.图11为图10中d处的局部结构示意图。
29.图12为本发明机架组件（部分）、安装组件和检测组件（部分）结构示意图。
30.图13为图12中e处的局部结构示意图。
31.图14为本发明检测组件局部结构示意图一。
32.图15为本发明检测组件局部结构示意图二。
33.图16为图15中f处的局部结构示意图。
34.附图标号：1-机架组件；101-支架；102-出料口；103-放料板；104-第一电机；105-第一带轮；106-第一皮带；107-第二带轮；108-第一丝杠；109-滑道；110-夹紧驱动槽；111-滑槽；112-固定杆；113-翻转驱动块；114-液压缸；115-活动板；2-安装组件；201-固定框架；202-转动框架；203-第一固定板；204-第二固定板；205-倾斜板；206-夹紧驱动组件；207-翻转驱动组件；208-夹紧动作组件；209-固定轴；210-转轮；211-第一导向板；212-第一响应杆；213-第一夹紧齿条；214-第一夹紧齿轮；215-连杆；216-第二响应杆；217-固定竖杆；218-转向齿条；219-第二导向板；220-第一翻转齿轮；221-第一转轴；222-第二翻转齿轮；223-限位柱；224-限位杆；225-第一翻转弹簧；226-第一挡板；227-第二挡板；228-第二翻转弹簧；229-第三导向板；230-滑杆；231-第一驱动框；232-第三翻转齿轮；233-驱动轴；234-固定板；235-驱动杆；236-夹紧弹簧；237-安装杆；238-第二夹紧齿条；239-第二夹紧齿轮；240-第三挡板；241-夹紧复位弹簧；242-第二驱动框；243-转动柱；244-固定拨杆；245-压杆；3-检测组件；301-固定侧板；302-门板；303-第一通孔；304-第二通孔；305-安装框架；306-导向杆；307-门板齿条；308-检测驱动组件；309-解锁组件；310-安装板；311-第三带轮；312-第二电机；313-第二皮带；314-第四带轮；315-第二丝杠；316-滑轨；317-推板；318-滑块；319-滑座；320-连接板；321-扫描探头；322-第一解锁齿条；323-第四导向板；324-第二解锁齿条；325-解锁齿轮；326-转座；327-第四挡板；328-解锁弹簧；329-解锁滑杆；4-半导体工件；5-开门组件；501-滑柱；502-第五导向板；503-第一开门齿轮；504-第一开门齿条；505-第二转轴；506-第一轴承座；507-第一锥齿轮；508-第二锥齿轮；509-第三转轴；510-第二轴承座；511-第三锥齿轮；512-第四锥齿轮；513-第四转轴；514-第三轴承座；515-第二开门齿轮。
具体实施方式
35.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
36.其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
37.实施例：如图1、图2、图5所示，一种半导体工件双面检测装置，包括机架组件1、安装组件2和检测组件3，检测组件3设置在机架组件1上，安装组件2滑动安装在机架组件1上，安装组件2用于固定半导体工件4，安装组件2在机架组件1上滑动的过程中通过夹紧驱动组件206和夹紧动作组件208实现对半导体工件4的自动夹紧，安装组件2在机架组件1上滑动的过程中通过翻转驱动组件207实现自动翻转，实现对半导体工件4的双面检测，检测组件3上设有开门组件5，开门组件5在安装组件2的驱动下实现检测组件3的自动打开。
38.如图1、图2图3所示，机架组件1包括支架101、出料口102、放料板103、第一电机104、第一带轮105、第一皮带106、第二带轮107、第一丝杠108、滑道109、夹紧驱动槽110、滑槽111、固定杆112、翻转驱动块113、液压缸114和活动板115，支架101固定安装在地面或工作平台上，为该检测装置提供安装基础，支架101下方固定安装有出料口102，出料口102用于不合格工件的滑出，支架101上方固定安装有两个滑道109，两个滑道109互相平行，两个滑道109上相对的两个面上设有滑槽111，安装组件2滑动安装在滑槽111内部，其中一个滑道109上固定安装有固定杆112，固定杆112上位于检测组件3外部的两侧上设有夹紧驱动槽110，夹紧驱动槽110用于驱动第一响应杆212滑动，夹紧驱动槽110在固定杆112上向远离第二响应杆216的方向凹陷，位于检测组件3内部的固定杆112上滑动安装有活动板115，活动板115固定安装在液压缸114的活动端上，液压缸114固定安装在支架101上，活动板115的滑动方向与固定杆112的长度方向垂直，固定杆112上设有翻转驱动块113，翻转驱动块113截面为等腰梯形结构，翻转驱动块113的短边设置在靠近转向齿条218的一侧，翻转驱动块113用于驱动半导体工件4在安装组件2上的翻转，其中一个滑道109的外侧转动安装有第一丝杠108，第一丝杠108的端部同轴固定安装有第二带轮107，第二带轮107通过第一皮带106与第一带轮105形成齿轮传动，第一带轮105同轴固定安装在第一电机104的输出轴上，第一电机104固定安装在放料板103上，放料板103固定安装在支架101侧方，放料板103还用于放置合格的半导体工件4。
39.如图1、图3、图4、图5、图6、图7所示，安装组件2包括固定框架201、转动框架202、第一固定板203、第二固定板204、倾斜板205、夹紧驱动组件206、翻转驱动组件207、夹紧动作组件208、固定轴209、转轮210、第三翻转齿轮232、驱动轴233、固定板234、驱动杆235、夹紧弹簧236、安装杆237和第二夹紧齿轮239，固定框架201两侧均固定安装有固定轴209，固定轴209上转动安装有转轮210，转轮210设置在滑槽111内部，转动框架202转动安装在固定框架201内部，固定框架201为方框结构，固定框架201内部空心区域的长度与转动框架202的长度相等，转动框架202的宽度方向上的两侧与固定框架201的空心区域边界之间设有空隙，空隙的宽度以能够实现转动框架202在固定框架201内部的转动为准，固定框架201上转动同时滑动安装有驱动轴233，驱动轴233上滑动安装有转动框架202，转动框架202用于放置半导体工件4，驱动轴233转动带动转动框架202同时转动，转动框架202上设有多个固定板234，驱动轴233滑动安装在固定板234上，安装组件2在检测组件3外部时，驱动轴233上远离检测组件3的一端上固定安装有夹紧弹簧236的第一端，夹紧弹簧236的第二端固定安装在转动框架202上，转动框架202中部为方形空心结构，转动框架202上空心结构的四角上均设有夹紧动作组件208，驱动轴233滑动驱动夹紧动作组件208实现对转动框架202上半导体工件4的夹紧固定，夹紧驱动组件206和翻转驱动组件207均固定安装在固定框架201上，夹紧驱动组件206用于驱动驱动轴233在自身轴线方向上滑动，翻转驱动组件207用于驱动转
动框架202翻转，固定框架201上固定安装有第一固定板203，第一固定板203与第一丝杠108形成螺纹配合，第一固定板203上固定安装有第二固定板204，第二固定板204两端均设有倾斜板205，两个倾斜板205向上倾斜，驱动轴233上设有与驱动轴233同轴的第三翻转齿轮232，第三翻转齿轮232与驱动轴233滑动连接，第三翻转齿轮232同时转动安装在固定框架201上，在两个转动框架202长度方向上夹紧动作组件208的连线上滑动安装有两个安装杆237，安装杆237滑动安装在固定板234上，两个安装杆237上靠近两侧夹紧动作组件208的一端均设置为斜面，两个安装杆237互相靠近的一端上均设有第二夹紧齿条238，位于同一直线上的两个安装杆237上的第二夹紧齿条238的齿形机构相对设置，两个第二夹紧齿条238之间转动安装有第二夹紧齿轮239，第二夹紧齿轮239转动安装在转动框架202上，位于转动框架202两侧的两组安装杆237中的任意一个通过驱动杆235固定安装在驱动轴233上。
40.如图5、图8、图9所示，夹紧动作组件208包括第三挡板240、夹紧复位弹簧241、第二驱动框242、转动柱243、固定拨杆244和压杆245，转动柱243转动安装在转动框架202上，转动柱243的第一端设有用于固定半导体工件4的压杆245，转动柱243外表面上设有螺旋轨道，转动框架202上设有固定拨杆244，固定拨杆244设置在转动柱243的螺旋轨道内，转动柱243的第二端上转动安装有第二驱动框242，第二驱动框242通过夹紧复位弹簧241安装在第三挡板240上，第三挡板240固定安装在转动框架202上，第二驱动框242中部为空心结构，第二驱动框242上的空心结构所在的平面与驱动轴233滑动方向垂直。
41.如图5、图6、图7所示，夹紧驱动组件206包括第一导向板211、第一响应杆212、第一夹紧齿条213、第一夹紧齿轮214和连杆215，第一导向板211固定安装在固定框架201上，第一响应杆212滑动安装在第一导向板211上，第一响应杆212上设有齿形结构，第一响应杆212通过其上的齿形结构与第一夹紧齿轮214形成齿轮齿条配合，第一夹紧齿轮214同时与滑动安装在固定框架201上的第一夹紧齿条213形成齿轮齿条配合，第一夹紧齿条213在与驱动轴233轴线平行的方向上滑动，第一夹紧齿条213上靠近驱动轴233端部的一端上固定有连杆215的第一端，连杆215的第二端转动安装在驱动轴233的端面上。
42.如图5、图6、图7所示，翻转驱动组件207包括第二响应杆216、固定竖杆217、转向齿条218、第二导向板219、第一翻转齿轮220、第一转轴221、第二翻转齿轮222、限位柱223、限位杆224、第一翻转弹簧225、第一挡板226、第二挡板227、第二翻转弹簧228、第三导向板229、滑杆230和第一驱动框231，第二导向板219固定安装在固定框架201上，转向齿条218滑动安装在第二导向板219上，转向齿条218的第一端固定安装有固定竖杆217的第一端，固定竖杆217的第二端上固定安装有第二响应杆216，转向齿条218的第二端上安装有第一翻转弹簧225的第一端，第一翻转弹簧225的第二端固定安装在第一挡板226上，转向齿条218上固定安装有限位柱223,固定框架201上固定安装有与限位柱223配合用于实现转向齿条218限位的限位杆224，第一挡板226固定安装在固定框架201上，第二响应杆216与第一响应杆212位于同一侧，转向齿条218与第二翻转齿轮222形成齿轮传动，第二翻转齿轮222同轴固定安装在第一转轴221的第一端，第一转轴221转动安装在固定框架201上，第一转轴221的第二端上同轴固定安装有第一翻转齿轮220，第一翻转齿轮220与第三翻转齿轮232形成齿轮传动，固定杆112设置在支架101上与第一响应杆212和第二响应杆216靠近的一侧，第三导向板229固定安装在固定框架201上，第三导向板229的上滑动安装有滑杆230，滑杆230的滑动方向与转向齿条218的滑动方向垂直，滑杆230上位于第三导向板229和转向齿条218之
间的位置上设有第二挡板227，第二挡板227在滑杆230的驱动下滑动安装在固定框架201上，第二挡板227与第三导向板229之间设有与滑杆230同轴的第二翻转弹簧228，滑杆230上远离转向齿条218的一端设有第一驱动框231。
43.如图1、图10、图11、图12、图13、图14、图15所示，检测组件3包括固定侧板301、门板302、第一通孔303、第二通孔304、安装框架305、导向杆306、门板齿条307、检测驱动组件308、解锁组件309、第二丝杠315、滑轨316、推板317、滑块318、滑座319、连接板320和扫描探头321，固定侧板301设置在安装组件2滑动方向两侧，固定侧板301固定安装在支架101上，两个固定侧板301的上端固定安装有安装框架305，安装框架305内部滑动安装有扫描探头321，扫描探头321的滑动方向与安装组件2在机架组件1上的滑动方向垂直，扫描探头321滑动过程中驱动解锁组件309，用于解除对驱动轴233转动的锁定。
44.如图12、图13、图14所示，安装框架305上转动安装有第二丝杠315的两端，安装框架305上固定安装有两个滑轨316，两个滑轨316上滑动安装有滑座319的两端，滑座319上固定安装有滑块318，滑块318与第二丝杠315形成齿轮传动，滑块318上还固定安装有推板317，推板317用于驱动第一解锁齿条322滑动，滑座319下方固定安装有连接板320的第一端，连接板320的第二端上固定安装有扫描探头321，固定侧板301的两端均滑动安装有门板302，门板302上设有第一通孔303和第二通孔304，门板302通过导向杆306和门板齿条307滑动安装在安装框架305上，门板齿条307与开门组件5形成齿轮齿条传动。
45.如图10、图12、图13所示，检测驱动组件308包括安装板310、第三带轮311、第二电机312、第二皮带313和第四带轮314，安装板310固定安装在安装框架305上方，安装板310上固定安装有第二电机312，第二电机312的输出轴上固定安装有第三带轮311，第三带轮311通过第二皮带313与第四带轮314形成齿轮传动，第四带轮314同轴固定安装在第二丝杠315上。
46.如图12、图16所示，解锁组件309包括第一解锁齿条322、第四导向板323、第二解锁齿条324、解锁齿轮325、转座326、第四挡板327、解锁弹簧328和解锁滑杆329，第四导向板323固定安装在安装板310上，第一解锁齿条322滑动安装在第四导向板323上，第一解锁齿条322与解锁齿轮325形成齿轮传动，解锁齿轮325通过转座326转动安装在安装板310上，转座326固定安装在安装板310上，解锁齿轮325的两端转动安装在转座326上，安装板310上滑动安装有第二解锁齿条324，第二解锁齿条324的滑动方向为竖直方向，第二解锁齿条324与解锁齿轮325形成齿轮齿条传动，第二解锁齿条324与解锁滑杆329固定连接，解锁滑杆329下端设置为斜面，解锁滑杆329通过滑动驱动滑杆230在固定框架201上滑动，解锁滑杆329上固定安装有第四挡板327，第四挡板327滑动安装在安装板310上，第四挡板327与安装板310之间设有与解锁滑杆329同轴的解锁弹簧328，解锁弹簧328第一端固定安装在第四挡板327上，解锁弹簧328第二端固定安装在安装板310上。
47.如图10、图12、图13所示，开门组件5包括滑柱501、第五导向板502、第一开门齿轮503、第一开门齿条504、第二转轴505、第一轴承座506、第一锥齿轮507、第二锥齿轮508、第三转轴509、第二轴承座510、第三锥齿轮511、第四锥齿轮512、第四转轴513、第三轴承座514和第二开门齿轮515，滑柱501滑动安装在第五导向板502上，第五导向板502固定安装在支架101上，滑柱501设置在第二固定板204的滑动轨迹上，滑柱501安装在第一开门齿条504上，第一开门齿条504与第一开门齿轮503形成齿轮传动，第一开门齿轮503同轴固定安装在
第二转轴505上，第二转轴505转动安装在第一轴承座506上，第一轴承座506固定安装在固定侧板301下方，第二转轴505上还同轴固定安装有第一锥齿轮507，第一锥齿轮507与第二锥齿轮508形成锥齿轮传动，第二锥齿轮508同轴固定安装在第三转轴509上，第三转轴509转动安装在第二轴承座510上，第二轴承座510固定安装在固定侧板301上，第三转轴509上还同轴固定安装有第三锥齿轮511，第三锥齿轮511与第四锥齿轮512形成齿轮传动，第四锥齿轮512同轴固定安装在第四转轴513上，第四转轴513转动安装在第三轴承座514上，第三轴承座514固定安装在安装框架305上，第四转轴513上同轴固定安装有第二开门齿轮515，第二开门齿轮515与门板齿条307形成齿轮齿条配合。
48.本发明公开的一种半导体工件双面检测装置的工作原理为：使用时，首先将半导体工件4放置在转动框架202内部，此时第一响应杆212处于固定杆112上的夹紧驱动槽110内部，启动第一电机104,第一电机104通过第一带轮105、第一皮带106和第二带轮107驱动第一丝杠108转动，第一丝杠108通过第一固定板203驱动固定框架201在滑道109上的滑槽111内部滑动，安装组件2在滑动的过程中带动第一响应杆212从夹紧驱动槽110处滑过，第一响应杆212在夹紧驱动槽110的作用下向远离固定杆112的方向滑动，滑动过程中驱动第一夹紧齿轮214在固定框架201上转动，第一夹紧齿轮214转动的同时驱动第一夹紧齿条213在固定框架201上滑动，第一夹紧齿条213滑动过程中通过连杆215推动驱动轴233向固定框架201内部滑动，驱动轴233通过驱动杆235推动位于固定框架201两侧的两个安装杆237向靠近夹紧动作组件208的方向运动，另外两个安装杆237在第二夹紧齿条238和第二夹紧齿轮239的作用下同时向靠近夹紧动作组件208的方向滑动，夹紧动作组件208与固定轴209形成齿轮齿条配合，安装杆237端部的斜面插入到第二驱动框242内部，在安装杆237的作用下，第二驱动框242向靠近第三挡板240底部的方向滑动，此时夹紧复位弹簧241被压缩，第二驱动框242带动转动柱243同时下降，在固定拨杆244的作用下，转动柱243下降的同时转动，通过压杆245将半导体工件4夹紧。
49.在安装组件2滑动的过程中，带动第二固定板204同时滑动，第二固定板204滑动过程中将滑柱501压下，滑柱501在第五导向板502上滑动的过程中带动第一开门齿条504同时滑动，第一开门齿条504驱动第一开门齿轮503转动，第一开门齿轮503带动第二转轴505同时转动，第二转轴505带动第一锥齿轮507同时转动，第一锥齿轮507通过第二锥齿轮508带动第三转轴509在第二轴承座510上转动，第三转轴509带动其上的第三锥齿轮511同时转动，第三锥齿轮511驱动第四锥齿轮512转动，第四锥齿轮512带动第四转轴513同时转动，第四转轴513驱动第二开门齿轮515转动，第二开门齿轮515通过门板齿条307驱动门板302在固定侧板301的侧面滑动，当安装组件2进入到检测组件3内部时，门板302在重力的作用下自动降落。
50.接下来启动第二电机312,第二电机312通过第三带轮311、第二皮带313和第四带轮314驱动第二丝杠315转动，第二丝杠315转动的过程中通过滑块318驱动滑座319在滑轨316上滑动，滑座319带动扫描探头321滑动，实现对半导体工件4一面的检测，当滑座319滑动到另一侧时，滑块318上的推板317驱动第一解锁齿条322在第四导向板323上滑动，第四导向板323驱动解锁齿轮325转动，解锁齿轮325同时驱动第二解锁齿条324在竖直方向上下降，解锁滑杆329下端的斜面插入到第一驱动框231中，使得滑杆230在第三导向板229上滑动，此时第二翻转弹簧228被压缩，滑杆230与转向齿条218脱离接触，被压缩的第一翻转弹
簧225实现复位，在第一翻转弹簧225复位的过程中驱动转向齿条218滑动，转向齿条218驱动第二翻转齿轮222转动，第二翻转齿轮222驱动第一转轴221转动，第一转轴221带动第一翻转齿轮220同时转动，第一翻转齿轮220驱动第三翻转齿轮232转动，第三翻转齿轮232带动驱动轴233转动，进而实现转动框架202的转动，实现对半导体工件4另一面的检测，当其中任意一面上存在缺陷时，位于固定杆112上的活动板115在液压缸114的作用下退回，在夹紧弹簧236的作用下，夹紧动作组件208不再夹紧半导体工件4，此时，不合格的半导体工件4从出料口102滑落，当安装组件2经过翻转驱动块113时，在翻转驱动块113的作用下，推动第二响应杆216的反向滑动，转动框架202翻转后在滑杆230和第二翻转弹簧228的作用下实现对转向齿条218的固定，安装组件2从检测组件3内部滑出后停留在固定杆112上另一个夹紧驱动槽110的位置上，在夹紧驱动槽110的作用下，夹紧动作组件208放开对半导体工件4的夹紧，有人工或者机械手将合格的半导体工件4放置在放料板103上，至此完成检测。
51.本发明不局限上述具体实施方式，所属技术领域的技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，做出的种种变换，均落在本发明的保护范围之内。