1.一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述金刚线切割晶硅棒用水性切割液包括:硅改性聚醚8~33重量份;抑制硅烷水解稳定剂3~7重量份;水余量;且总重量份为100。其中硅改性聚醚结构式如下:
x=ch3,ch2ch3;r1=ch2,c2h4;r2=ch2,c2h4;r3=c2h4,c4h8
其中,m为1~10之间的整数,n为0~10之间的整数。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述硅改性聚醚由硅改性剂和聚醚经过加成合成反应制备得到,并且该类型聚醚能在切割界面温度和压力环境下发生水解反应,在硅改性聚醚链端形成强吸附性的硅羟基基团。
3.根据权利要求1所述的一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述抑制硅烷水解稳定剂为多元醇类或多糖类化合物,具体为山梨糖醇、木糖醇、葡萄糖醇、果糖、麦芽糖、葡萄糖、脱水葡萄糖中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述聚醚为丙烯基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、丁烯基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、甲基烯丙基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、甲基烯戊基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、乙烯基乙二醇醚聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚、乙烯基丁二醇醚聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚中的一种或多种;聚醚的具体结构如下:
r1=ch2,c2h4;r2=ch2,c2h4;r3=c2h4,c4h8
其中,m为1~10之间的整数,n为0~10之间的整数。
5.根据权利要求1所述的一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述硅改性剂为三甲氧基硅烷、三乙氧基硅烷中的一种或多种。硅改性剂的结构是如下:
6.根据权利要求1至5中所述的一种金刚石线线切割用水性切割液的制备方法,其特征在于该方法的步骤中包含有:1)将水加入反应釜中;2)开启搅拌,在室温环境中,加入抑制硅烷水解稳定剂,使其溶解完全;3)加入硅改性聚醚,搅拌至完全溶解后,反应温度为5℃至40℃,搅拌时间为1小时至5小时,然后停止搅拌,进行陈化,陈化时间为0.5小时至4小时,制得金刚石线线切割用水性切割液。
7.根据权利要求1至6中所述的一种金刚石线线切割用水性切割液的使用方法,其特征在于,该金刚石线线切割用水性切割液与水的比例为1:200~1000(重量比)。