一种金刚石线线切割用水性切割液及其制备和使用方法与流程

文档序号:25236491发布日期:2021-06-01 13:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述金刚线切割晶硅棒用水性切割液包括:硅改性聚醚8~33重量份;抑制硅烷水解稳定剂3~7重量份;水余量;且总重量份为100。其中硅改性聚醚结构式如下:

x=ch3,ch2ch3;r1=ch2,c2h4;r2=ch2,c2h4;r3=c2h4,c4h8

其中,m为1~10之间的整数,n为0~10之间的整数。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述硅改性聚醚由硅改性剂和聚醚经过加成合成反应制备得到,并且该类型聚醚能在切割界面温度和压力环境下发生水解反应,在硅改性聚醚链端形成强吸附性的硅羟基基团。

3.根据权利要求1所述的一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述抑制硅烷水解稳定剂为多元醇类或多糖类化合物,具体为山梨糖醇、木糖醇、葡萄糖醇、果糖、麦芽糖、葡萄糖、脱水葡萄糖中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述聚醚为丙烯基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、丁烯基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、甲基烯丙基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、甲基烯戊基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、乙烯基乙二醇醚聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚、乙烯基丁二醇醚聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚中的一种或多种;聚醚的具体结构如下:

r1=ch2,c2h4;r2=ch2,c2h4;r3=c2h4,c4h8

其中,m为1~10之间的整数,n为0~10之间的整数。

5.根据权利要求1所述的一种金刚石线线切割用水性切割液,其特征在于,所述硅改性剂为三甲氧基硅烷、三乙氧基硅烷中的一种或多种。硅改性剂的结构是如下:

x=ch3,ch2ch3

6.根据权利要求1至5中所述的一种金刚石线线切割用水性切割液的制备方法,其特征在于该方法的步骤中包含有:1)将水加入反应釜中;2)开启搅拌,在室温环境中,加入抑制硅烷水解稳定剂,使其溶解完全;3)加入硅改性聚醚,搅拌至完全溶解后,反应温度为5℃至40℃,搅拌时间为1小时至5小时,然后停止搅拌,进行陈化,陈化时间为0.5小时至4小时,制得金刚石线线切割用水性切割液。

7.根据权利要求1至6中所述的一种金刚石线线切割用水性切割液的使用方法,其特征在于,该金刚石线线切割用水性切割液与水的比例为1:200~1000(重量比)。


技术总结
本发明涉及一种金刚石线线切割用水性切割液及其制备和使用方法,切割液主要由硅改性聚醚8~33重量份;抑制硅烷水解稳定剂3~7重量份;水余量,且总重量份为100。实施本发明实施例,具有如下有益效果:本发明具备低泡自消泡功能,不需要额外添加消泡剂组分;并且硅改性聚醚可以在切割接触界面进行水解吸热反应,平衡切割过程不能被及时带走的热量;同时水解后的硅羟基能具有强吸附作用,可以起到保护金刚石线,增强润滑性能,降低切割阻力,减少断线几率;增强硅粉分散,使其不团聚,及时吸附结合硅粉表面的活性位点,避免压滤硅粉反应活性高而发生自燃的问题。

技术研发人员:杨文勇;洪育林;张震
受保护的技术使用者:武汉宜田科技发展有限公司
技术研发日:2020.09.09
技术公布日:2021.06.01
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