用于移动光电设备的致动器的制作方法

文档序号:11886808阅读:来源:国知局
技术总结
提供用于移动具有电连接件的平台的致动器。致动器包括由一个或更多个导电的弹簧元件连接到内框架的外框架。致动器进一步包括一个或更多个梳状驱动致动器,其在外框架与内框架之间施加控制力。每个梳状驱动致动器都包括一个或更多个梳状驱动器。而且,也提供用于移动具有电连接件的平台的方法。方法包括使用一个或更多个导电的弹簧元件将外框架连接到内框架。方法进一步包括使用一个或更多个梳状驱动致动器产生控制力。每个梳状驱动致动器都包括一个或更多个梳状驱动器。此外,方法包括在外框架与内框架之间施加控制力。

技术研发人员:R·古铁雷斯
受保护的技术使用者:MEMS启动有限公司
文档号码:201580014637
技术研发日:2015.02.24
技术公布日:2016.11.16

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