技术特征：
技术总结
一种低成本，高效率，能够加工对称性的多节微纳米金属锥结构的加工方法。该方法的核心实验原理为电化学腐蚀。在精密位移台的精确控制下，控制每个部分的腐蚀时间，由长至短，由深入浅地逐层腐蚀，最终获得尖端横向线度一微米以内的线性和非线性金属锥。本发明运用电化学腐蚀法，在微纳米结构加工方面拥有成本极低、制作效率极高的优点，可用于制作扫描近场显微镜、原子力显微镜中的探针，制得的低成本金属探针在单分子成像、热辅助磁记录、纳米传感、纳米成像、纳米光刻和纳米操纵等方面均有很高的利用价值。
技术研发人员：匡登峰;陈思宇;滕学智;姚广宇
受保护的技术使用者：南开大学
技术研发日：2017.06.02
技术公布日：2017.10.13