保持装置以及具备该保持装置的高速电镀装置的制造方法
【技术领域】
[〇〇〇1] 本发明涉及一种保持装置以及具备该保持装置的高速电镀装置。
【背景技术】
[0002]在专利文献1中公开了一种现有的高速电镀装置。该高速电镀装置具备由金属筒和盖部件构成的密闭容器，其中，所述金属筒为阳极，所述盖部件一体地结合在该金属筒的两端上。盖部件为绝缘材料或者其表面由绝缘材料而被覆。相对置的两个盖部件设置有供栓部件滑动自如地插穿的插穿孔。栓部件为对被镀物进行夹持并保持的部件，且构成保持装置的一部分。此外，栓部件也为与被镀物接触并对被镀物施加负电压的供电部件。栓部件由耐蚀性的树脂而被覆。
[0003] 另外，该高速电镀装置具备电源装置，所述电源装置以向金属筒施加正电压且向被镀物施加负电压的方式，对金属筒以及栓部件进行通电。此外，该高速电镀装置具备由以使电镀液在密闭容器内流动的方式使电镀液进行循环的栗等构成的循环装置。
[0004] 该高速电镀装置在将栓部件所夹持的被镀物收纳至密闭容器内之后，以使电镀液在密闭容器内流动的方式对栗进行驱动。而且，通过向金属筒施加正电压并经由栓部件而向被镀物施加负电压，从而能够实施电镀时间较短的高速电镀。由于该高速电镀装置与一般的电镀装置相比，以更大的电流密度来实施电镀，因此，构成密闭室的金属筒的内表面会在较短时间内腐蚀。因此，该高速电镀装置以能够容易地更换金属筒的方式而被构成。
[0005]在先技术文献
[0006] 专利文献
[0007] 专利文献1 :日本特开昭55-138097号公报
【发明内容】
[0008] 发明所要解决的课题
[0009]但是，由于专利文献1的高速电镀装置在密闭容器的盖部件上设置有插穿孔，以供对被镀物进行保持的栓部件滑动自如地插穿，因此在实施高速电镀时，电镀液可能会从栓部件的外周面与插穿孔的内周面之间漏泄。此外，对被镀物进行保持的栓部件未与大小或形状不同的多种工件相对应，因而该高速电镀装置难以向多种工件实施电镀。
[0010]本发明为鉴于上述现有的情况而完成的发明，并将提供一种能够对多种工件进行保持并且能够可靠地防止液槽内的液体的漏泄的保持装置以及具备该保持装置的高速电镀装置作为应当解决的课题。
[0011] 用于解决课题的方法
[0012]本发明的保持装置具备：保持部件，所述保持部件在保持室内对跨及流动有液体的液槽和与该液槽连通的保持室而配置的工件进行保持，所述保持装置的特征在于，所述保持部件具有多个抵接部，所述抵接部由具有耐化学性的弹性体构成，且无缝地抵接在所述工件的同一外周面上并对所述工件进行夹持，所述保持装置具备加压装置，所述加压装置在所述工件已被所述保持部件夹持的状态下，送入空气而对所述保持室内进行加压。
[0013] 发明效果
[0014] 该保持装置通过具有耐化学性的弹性体来构成无缝地抵接在工件的同一外周面上的抵接部，并且加压装置送入空气而对保持室内进行加压。因此，由弹性体构成的抵接部被气压所按压，从而密接在工件的外周面上。此外，通过对保持室内进行加压，从而欲从抵接部与工件的边界部或抵接部彼此的边界部向保持室侧漏泄的液体将被气压推回。因此，该保持装置能够可靠地防止液体从液槽漏泄。此外，由于该保持装置通过弹性体来构成抵接部，因此即使工件的外周面形状发生变化也能够使抵接部密接在工件的外周面上。因此，该保持装置能够应对多种工件。此外，由于该保持装置的构成抵接部的弹性体具有耐化学性，因此能够防止由于液体而造成的抵接部的劣化，从而能够长期防止液体的漏泄。
[0015]此外，在具备该保持装置的高速电镀装置中，通过由具有耐化学性的弹性体构成的抵接部无缝地抵接在作为工件的被镀物的同一外周面上，并且加压装置送入空气而对保持室内进行加压，从而抵接部通过气压而被按压，并密接在工件的外周面上，进而欲从抵接部与被镀物的边界部或抵接部彼此的边界部向保持室侧漏泄的电镀液被气压推回。因此，具备该保持装置的高速电镀装置能够可靠地防止电镀液从液槽漏泄。此外，由于该高速电镀装置通过弹性体来构成对被镀物进行保持的保持部件的抵接部，因此即使被镀物的外周面形状发生变化也能够使抵接部密接在被镀物的外周面上。因此，该保持装置能够与应对多种被镀物。此外，由于该高速电镀装置的构成抵接部的弹性体具有耐化学性，因此能够防止由于电镀液而造成的抵接部的劣化，从而能够长期防止电镀液的漏泄。
[0016]因此，本发明的保持装置以及具备该保持装置的高速电镀装置能够对多种工件(被镀物）进行保持，并且能够可靠地防止液槽内的液体（电镀液）的漏泄。
【附图说明】
[0017]图1为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面的剖视图。
[0018]图2为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面的剖视图。
[0019]图3表示实施例的阳极，㈧为表示将钛制的平板料与铂制的平板料焊接在一起的状态的剖视图，（B)为表示卷成圆筒状并使端面对接而焊接在一起的状态的剖视图。
[0020]图4为表不实施例的阳极与第一供电部件的剖视图。
[0021]图5为将实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分进行放大的剖视图。
[0022]图6为将实施例的高速电镀装置的对阳极下部进行支承的下部承受部件周围放大后的剖视图。
[0023]图7为从上方观察实施例的高速电镀装置的俯视图。
[0024]图8为实施例的第二供电部件所处的位置的水平剖视图。
[0025]图9为实施例的第二供电部件的局部剖视图。
[0026]图10为实施例的保持部件所处的位置的水平剖视图。
[0027]图11为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。
[0028]图12为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。
[0029]图13为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物的下端部被插入到支承棒的上端的凹部中的状态的剖视图。
[0030]图14为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内的状态的剖视图。
[0031]图15为表示实施例的第二供电部件的顶端部与被镀物的外周面接触的状态的剖视图。
[0032]图16为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为保持部对被镀物进行保持的状态的剖视图。
[0033]图17为表示保持部对被镀物进行保持的状态的水平剖视图。
[0034]图18为对实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分进行了放大、且为表示保持部对被镀物进行保持的状态的剖视图。
【具体实施方式】
[0035]参照附图，对将本发明的具备保持装置的高速电镀装置具体化了的实施例进行说明。
[0036]<实施例>
[0037]如图1及图2所示，实施例的高速电镀装置具备：阳极10 ;第一供电部件20,其与阳极10接触并施加正电压；第二供电部件30,其与作为工件的被镀物1接触并施加负电压；保持装置40,其具备对被镀物1进行保持的保持部件41 ;加压装置50,其向配置有保持部件41的保持室45内送入空气而进行加压；循环装置60,其使电镀液进行循环；电源装置70,其对阳极10和第二供电部件30进行通电。
[0038]阳极10为圆筒状并以在铅直方向上延伸的方式而被配