表面处理装置的制造方法
【专利说明】表面处理装置
[0001]本申请为在先申请(申请日:2011年6月30日，申请号:201110181522.2，发明名称:表面处理装置)的分案申请。
技术领域
[0002]本发明涉及一种具有表面处理槽和前处理槽的表面处理装置。
【背景技术】
[0003]作为表面处理装置、例如对工件表面进行电镀处理的电解电镀处理装置，公知的有在电镀槽内连续地运送电路基板等工件的连续电镀处理装置。工件由沿着供电轨道(导轨)运送的运送夹具下垂地保持。工件一边被供电轨道经由运送夹具供电一边在电镀槽内连续地运送。在电镀槽中成为阴极的工件运送路径的两侧配置有阳极。从而在阴极-阳极之间形成电场，对电镀液进行电气分解，对工件表面进行电镀。
[0004]在此，公知的有在电镀槽的上方配置了供电轨道的构造(专利文献1)，及在从电镀槽的上方离开的位置与电镀槽的长度方向平行地延伸设置供电轨道的构造(专利文献2)。通过专利文献2的构造，能够防止运送夹具在供电轨道上滑动时所产生的粉尘下落并混入电镀槽内。
[0005]工件是用于电子设备及半导体装置中的基板等，有时形成作为贯通孔的透孔及作为非贯通孔的盲孔等孔部。表面处理装置要对这些孔部的内侧也进行表面处理、例如电镀处理。这是由于透孔是使基板的正反面导通的贯通孔，盲孔是使内部配线导通到表层的非贯通孔，要对孔部的内侧进行电镀配线的缘故。
[0006]目前认为当在这些孔部中存在气泡时，会产生在孔部的内侧因该气泡而未被表面处理的问题(专利文献3?5)。
[0007]【专利文献I】日本专利第3025254号公报，
【专利文献2】日本专利第3591721号公报，
【专利文献3】特开平11-350187号公报，
【专利文献4】特开2004-111893号公报，
【专利文献5】特开2008-309708号公报。
[0008]在专利文献3中，将使用双流体喷雾喷嘴或者超声波而产生的雾化液体涂在工件的表面以湿润微细孔内部，之后进行电镀处理。在专利文献4中，一边将工件浸渍在通过添加阴离子系界面活性剂而使表面张力为300?600yN/cm的水溶液中，一边通过外加超声波而除去工件的非贯通孔内的气泡。在专利文献5中，将工件浸渍在相对于工件的表面张力比电镀处理液小的前处理溶液中，前处理溶液由于与微细孔内表面的接触角小而容易进入微细孔的内表面与气泡之间，充满微细孔的内侧的气泡从微细孔的内表面脱离。
[0009]但是，存在仅通过使透孔及盲孔等孔部的直径进一步微细化等提高工件的湿润性，进入到孔部的内侧的气泡的除去更为困难的状况。
【发明内容】
[0010]在本发明的几个技术方案中，能够将附着在工件上的气泡物理除去，提高表面处理能力。
[0011 ]本发明的一个技术方案的表面处理装置的特征在于，具有:导轨;运送夹具，由上述导轨导向，沿着顺延于上述导轨的运送方向运送且保持工件;表面处理槽，对由上述运送夹具保持的上述工件进行表面处理;前处理槽，配置在上述表面处理槽的上述运送方向上游一侧，将由上述运送夹具保持的上述工件浸渍在处理液中进行处理;振动赋予部，在上述前处理槽中对保持浸渍在上述处理液中的上述工件的上述运送夹具赋予振动，使上述工件在上述处理液中振动。
[0012]根据本发明的这一技术方案，在前处理槽中对保持浸渍在处理液中的工件的运送夹具赋予振动。这样一来，工件在处理液中振动。其结果，能够将附着在工件上的气泡从工件上除去。附着在工件上的气泡包含附着在工件表面上的气泡。因此，本发明并不不一定仅限于带孔的工件。这是由于当气泡附着在工件的表面上时，该部分的表面处理能力劣化的缘故。除此之外，在工件上形成有贯通或者非贯通的孔部的情况下，滞留在该孔部中的气泡也因为工件的振动而从孔部中排出。而且，即使从孔部中除去的气泡再次附着在工件表面上，也能够通过工件的振动将该气泡从工件表面上除去。这样，由于能够在前处理中将气泡从工件上除去，所以在其后的表面处理工序中，也能够对孔部的内表面进行表面处理。
[0013]在此，可以对由运送夹具保持且在正在处理液中运送的工件赋予振动，但如果是在处理液中处于停止的工件，则向运送夹具赋予振动容易，在这一点上是优选的。由于当工件在处理液中振动时，从工件的表面及孔部的壁部的限制中解放的气泡在浮力的作用下而上升，所以能够使气泡从工件上物理排出。另外，振动赋予部除了设置在前处理槽中之外，也可以设置在后处理槽中。
[0014]在本发明的一个技术方案中，可以是上述运送夹具具有:由上述导轨导向的被导向部，保持上述工件为下垂状态的保持部，和连结上述被导向部与上述保持部的连结部，上述振动赋予部对上述运送夹具的上述连结部赋予振动。
[0015]由于被导向部卡合在导轨上，所以振动容易衰减。保持部容易因振动而工件的保持状态受到恶劣影响。在这一点上，如果是连结部，则只要是保持了连结功能就没有弊端。
[0016]在本发明的一个技术方案中，可以是上述导轨在从上述表面处理槽以及上述前处理槽的上方离开的位置与从上述前处理槽朝向上述表面处理槽的方向平行地延伸设置，上述运送夹具的上述连结部包括从上述被导向部一侧的基端部朝向自由端部水平方向延伸的水平部，和从上述水平部的上述自由端部朝向上述保持部下垂的下垂部，上述振动赋予部对上述下垂部赋予振动。
[0017]被赋予振动的下垂部与从由导轨支撑的被导向部的基端部延伸的水平部的自由端部相连。因此，通过使悬臂梁的自由端振动的要领，能够在处理液中有效地使工件振动。
[0018]在本发明的一个实施方式中，可以是上述振动赋予部包括打击上述运送夹具的打击部。在振动赋予上可以考虑各种方法，但振动赋予部的打击部能够通过至少打击运送夹具一次而对运送夹具赋予振动。特别是，通过打击运送夹具的连结部，该连结部中的下垂部，能够有效地使悬臂梁构造的运送夹具振动。由于该振动传递到工件上，所以能够使工件在处理液中振动。
[0019]在本发明的一个技术方案中，可以是上述打击部在与上述工件的表面交叉的方向上移动而打击上述运送夹具。优选地是，打击部能够在与工件的表面正交的方向上移动而打击运送夹具。在任一种情况下，由于处理液的压力作用在工件的两表面上，所以处理液成为缓冲材料而能够缓解对运送夹具的过度冲击。
[0020]在本发明的一个技术方案中，可以是上述振动赋予部包括保持上述打击部绕支点转动自如的第I臂部，和驱动上述第I臂部绕上述支点在打击位置与待机位置之间往返转动的驱动部。
[0021]这样，通过从驱动部经由第2臂部使打击部转动，能够使打击部在打击位置与待机位置之间往返移动。由于若打击部处于待机位置，则打击部不与运送夹具的运送路径产生干扰，所以能够将运送夹具沿着运送路径运送。若在运送夹具的运送停止后驱动打击部，则能够打击运送夹。
[0022]在本发明的一个实施方式中，可以是上述振动赋予部还包括在上述打击位置与上述第I臂部抵接的止挡部。
[0023]这样，能够使打击部可靠地停止在打击位置。通过设置止挡部，即使在假设不存在运送夹具的情况下，也能够使打击部停止在固定位置，安全性提高。
[0024]在本发明的一个实施方式中，可以是上述打击部包括固定在上述第I臂部上的固定部，和能够滑动地支撑在上述固定部上且在上述第I臂部与上述止挡部的一部分抵接之际的惯性力作用下比上述固定部更向前方突出的滑动部，上述滑动部打击上述运送夹具。
[0025]这样，如果滑动部因惯性力而向前方移动的中途或者移动端存在运送夹具，则滑动部能够与运送夹具碰撞而打击运送夹具。这样一来，能够增大振动赋予力。
[0026]在本发明的一个实施方式中，可以是上述振动赋予部还具有由上述驱动部驱动而绕上述支点与上述第I臂部一体移动的第2臂部，从保持上述打击部的上述第I臂部的作用点到上述支点的第I距离长于从来自上述驱动部的驱动力传递到上述第2臂部上的力点到上述支点的第2距离。
[0027]这样，在驱动部的驱动力作用下驱动第2臂部时的打击部的移动速度增速，能够增大对滑动部赋予的惯性力。因此，能够通过滑动部增大对运送夹具赋予的冲击力。
【附图说明】
[0028]图1是本发明的实施方式所涉及的连续电镀装置的示意俯视图；
图2是说明间歇地向电镀槽运送运送夹具，在电镀槽内连续地运送运送夹具的动作的附图；
图3是说明在前处理槽的一部分间歇地运送运送夹具的动作的附图；
图4是说明在前处理槽的另一部分间歇地运送运送夹具的动作的附图；
图5是电镀槽的示意纵向剖视图；
图6是运送夹具的示意立体图；
图7是表示前处理槽与振动赋予部的侧视图；
图8是打击部处于待机位置的振动赋予部的俯视图；
图9是表示第I臂部将要与止挡部抵接前的状态的振动赋予部的俯视图； 图10是表示第I臂部刚与止挡部抵接后的打击状态的振动赋予部的俯视图。
[0029]附图标记说明:
10:工件，30:运送夹具，100:循环运送路径，200:表面处理槽(电镀槽),201:导轨(供电轨道)，231?236:导轨(固定轨道或者升降轨道)，3