本发明涉及真空泵领域，尤其是一种扩散泵。
背景技术：
真空扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，扩散泵主要由泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统等部分组成，在前级真空泵所形成的低真空条件下，蒸发系统使泵油沸腾蒸发，生成的蒸气以极高速度通过喷射系统喷出，使泵内上部的气体分子扩散到蒸气中，通过冷却系统使油蒸气在泵下部被冷凝，释放出的气体分子，即被前级泵抽走，而冷凝后的泵油又返回到蒸发系统中重新被加热，如此循环工作达到抽气的目的。蒸发系统是扩散泵最重要的组成部分之一，现有的蒸发系统是利用电阻加热（电阻丝等）或电磁感应加热对全部泵油以及扩散泵的底部进行加热，其存在的不足之处是扩散泵的泵油及泵体加热量大、升温速度慢、加热不均匀，扩散泵启动时间长，热能散失多、加热炉的功率大，耗能高、效率低，泵油的底部温度高、易爆沸、易分解变质，蒸发系统与冷却系统不能完全分开（通过泵体连在一起）内耗大，电阻丝容易氧化烧断、更换电阻丝需要较长的停机时间，扩散泵停止工作后泵油长时间处在高温状态、容易氧化变质、降低了泵油的使用寿命，蒸发系统降温速度慢、需要冷却系统延长工作时间、增加了运行成本；此外，由于扩散泵在工作过程中，泵油的数量在不断减少、组成在不断变化，致使扩散泵的工作状况也不断发生变化，使真空度容易产生波动、产生返油现象；现有扩散泵的启动时间较长，大约需要20-80分钟，其启动慢的原因是加热量大、泵油升温速率慢和泵芯需要泵油来加热；现有扩散泵的喷嘴是固定不动的伞帽形扩散喷嘴，蒸气从喷嘴喷出后形成稳定的伞状气流，依靠扩散运动使被抽取的空气分子进入蒸气流中，其不足之处是蒸气与空气的接触面小、结合方式被动、抽取力小、抽真空效率低、极限真空低和返油率高等。
技术实现要素：
本发明的目的是提供一种扩散泵，通过对泵油进行局部加热、使其即时产生蒸气，通过对泵芯加热、使其快速启动，通过采用旋转式喷头、使其抽力大和极限真空高，并将蒸发系统与冷却系统完全分开，同时可以利用浮动加热使加热区始终保持恒定不变，达到蒸发系统加热功率小、扩散泵启动时间短、能耗低、泵油降温快、工作状况稳定、使用寿命长等效果，从而提高扩散泵的抽气量和抽气速度、减少能量损耗、降低扩散泵的使用成本。
本发明的主要技术方案如下：
一种扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其特征在于：所述蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器悬空、绝热或隔热安装在泵体内底部，蒸发器的外围有隔热保温材料或真空腔对其进行隔热保温，加热器安装在蒸发器底部的外侧、内侧或悬空安装在蒸发器内；喷射系统中蒸气导管的顶部是固定喷头或旋转喷头，固定喷头的喷嘴或是现有技术的伞帽形扩散喷嘴、蒸气从喷嘴喷出后形成稳定的伞状气流，或是在固定喷头的周边均匀布置的向斜下方或后斜下方喷射的一组喷嘴、蒸气从喷嘴喷出后形成立体气流团或旋转的漩涡状的气流团；旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时产生的反作用力能够使旋转喷头高速旋转，使蒸气喷出后形成类似于龙卷风似的漩涡状的气流团。
为了提高现有扩散泵的启动速度、抽气速率和极限真空度，本发明提供了一种简化的技术方案如下：
一种快速启动的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其特征在于：泵芯内部或泵芯上或泵芯周围设置有加热装置，加热装置的加热温度接近但低于蒸气的分解温度，优选低于1-10℃，加热装置与蒸发系统的加热器同时开关，加热装置能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，并能实现扩散泵的快速启动。
为了提高现有扩散泵的启动速度、抽气速率和极限真空度，本发明还提供了一种简化的技术方案如下：
一种快速启动旋转喷射的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其特征在于：喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头，旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时产生的反作用力能够使旋转喷头高速旋转，使蒸气喷出后形成类似于龙卷风似的漩涡状的气流团。
其中：
蒸发系统优选做成一个整体，蒸发器一般与泵体的形状相适应、呈圆盆或圆盘状，可以是平底或底部有环形槽，优选底部是凸凹环相间的形状；蒸发器的底部设置成凸环与凹环相间的形状，不仅有利于缩小加热区的容积、使加热速率更快、能耗更低，而且有利于将加热区分区、更好地与喷射系统相配合，还有利于泵油的分馏与净化，使轻馏分的泵油留存在最外侧的加热区，也有利于通过加热蒸发器来扩大泵油的蒸发面积、增加蒸气量；蒸发器内有泵油和加热器以及测温电偶等，蒸发器优选悬空安装在泵体内底部，优选采用隔热或绝热方式安装，即隔绝与泵体之间的热量传递、以减少或隔断所述蒸发系统与冷却系统之间的热传递，如减小两者的接触面积、采用绝热垫、隔热螺栓等；蒸发器的外围优选有隔热保温材料或真空腔对其进行隔热保温，防止其热量散失到空气中或传递给泵体（外壳），其真空腔的形成可以通过专用管道与前级泵连接在一起；蒸发器优选采用薄壁、尤其在上部，以减小热量的传导，冷却后的泵油优选沿整个内壁表面流入蒸发器中，以吸收内壁上的热量、阻止热量向外传导；通过绝热安装和隔热保温，使加热器产生的热量基本上都用于泵油的蒸发，达到节能、省时、高效的目的。
蒸发系统可以由泵体的上部或底部隔热安装在泵体的内部，也可以与泵芯组装在一起后再安装在泵体的内部，还可以先安装在扩散泵的底座上、再安装泵芯、最后安装泵体；泵体是直腔或是凸腔，泵体是一体的、或分为上下两段，上下两段优选采用隔热的密封材料（有机材料）或绝热垫、隔热螺栓等进行连接和密封；
蒸发系统的蒸发器中优选内有中间隔板， 中间隔板固定或浮动安装在蒸发器内；中间隔板优选采用隔热板或绝热板，如采用双层不锈钢板等，利用双层不锈钢板中间在泵内自然形成的真空层进行隔热，以减少加热区与储油区之间的热传导，加热器只加热加热区的泵油而不加热储油区的泵油，使热能得到更有效的利用；大部分泵油储存在储油区，也避免了泵油长时间处于高温状态，延长了泵油的使用寿命；
中间隔板可以是平底的圆盘状，优选底部是凸凹环相间的圆盘状；中间隔板的底部设置成凸环与凹环相间的形状，不仅有利于缩小加热区的容积、使加热速率更快、能耗更低，而且有利于将加热区分区、更好地与喷射系统相配合，还有利于泵油的分馏与净化，使轻馏分的泵油留存在最外侧的加热区，也有利于通过加热中间隔板扩大泵油的蒸发面积、增加蒸气量；
加热器可以安装在蒸发器底部的外侧、内侧或悬空安装在蒸发器内，加热器还可以固定在中间隔板上或固定在泵芯的下端，加热器优选安装在加热区的泵油中、更优选安装在泵油的上表面处，以提高热效率和加热速率、降低加热器的加热功率和表面温度；加热器优选安装在蒸发器或中间隔板底部的凹环内，加热器可以与凹环的内壁固定在一起，通过加热凹环来加热泵油，可以进一步增加泵油的蒸发面积、提高蒸汽量；优选一个凹环内有一个环形加热器，对应一个喷射加热区，环形加热器可以有一个至数个环，加热环优选位于泵油中和泵油的上方；
加热器可以与中间隔板固定在一起，还可以通过调整中间隔板中间空腔的大小、或采用配重或弹簧等手段，使其漂浮在泵油中；在正常情况下，储油区的大小可以改变、但加热区始终保持不变，因而加热器距离油面的位置也始终保持不变，从而保证扩散泵的工作状况始终保持不变；中间隔板与蒸发器之间或加热区内优选有位置探测器、限位开关等报警装置，当泵油消耗到下限时、报警装置自动提示添加泵油；
加热器等电源线的安装和连接可以参照真空炉等加热器电源线的现有技术。
扩散泵工作时冷却回流的泵油，首先沿蒸发器的上沿和内壁进入泵芯的外围与蒸发器的内壁之间形成的空间中，冷却的泵油同时给蒸发器的内壁和此处的泵油降温、减小蒸发器热量的外传和降低此处泵油的蒸发压；然后再通过泵芯与蒸发器底部之间的空隙进入到各个加热区；当蒸发器中有中间隔板时，泵油可以直接进入储油区，也可以先进入加热区再进入储油区，优选先进入最外侧的加热区，轻馏分的泵油留下、重馏分的泵油再通过油孔进入储油区，最后通过油孔进入内侧的各个加热区，以利于泵油的分馏与净化；油孔优选设置在加热区的最低点，以利于泵油在加热区和储油区的交换。
与喷射系统相对应、加热区可以分为一级喷射加热区（高真空区）、二级喷射加热区和三级喷射加热区等等，各个加热区的加热温度等由控制系统控制；整个加热区可以采用一个控温仪控制加热温度，优选各个加热区都有各自的控温电偶和控温仪，对加热温度分别进行控制，不但有利于泵油的分馏和净化、而且能够提高和调控蒸气量；通过恒温控制，使加热温度和蒸汽量始终处于稳定的最佳状态，避免了抽吸力大小的波动造成的真空度不稳定和返油现象的产生；进一步将加热温度（加热器的温度）控制在泵油的蒸发温度与分解温度之间，优选为高于蒸发温度5-50度，进一步优选为高于蒸发温度10-30度，既有利于泵油的蒸发又能防止泵油分解和碳化，还能大幅度减小能耗；最常用泵油的蒸发温度一般为235-275度，所以加热器的工作温度可选定在260-300度，与现有技术中加热炉1000度左右的温度相比大幅度降低，加热物质的重量也降至1/10以下，所以加热能耗（可降至1/10以下）、升温时间大幅度降低；对加热温度分别进行控制时，优选为一级喷射加热区的温度高于二级喷射加热区、二级喷射加热区的温度高于三级喷射加热区，以此类推；
喷射系统中蒸气导管的顶部是固定喷头或旋转喷头，也可以根据需要选择性安装在各级蒸气导管上；固定喷头或旋转喷头的周围有一系列按规律排列的、有特定形状的喷嘴，蒸气从喷嘴喷出后形成立体气流团或旋转的漩涡状的气流团，或能够产生类似于龙卷风的漩涡状的蒸气团，或喷出蒸气产生的反作用力能够使旋转喷头高速旋转，如同喷灌系统的喷嘴一样；与之同时，每个喷嘴喷出的蒸气其形状还像轴流风机的叶片一样，使旋转喷头和蒸气流形成（等同于）一个工作状态的轴流风机，从而对被抽取的气体产生抽吸力；每个喷嘴喷出的蒸气都形成一个“叶片”，所以蒸气流与被抽气体的接触面积大大增加；蒸气流形成的“叶片”在不停的旋转，主动与被抽气体碰撞和混合；通过改变喷嘴的位置和形状，可以使蒸气流形成螺旋运动，更有利于被抽气体向下运动、进入蒸气流中，还可以使旋转的蒸气流形成漩涡，如同龙卷风一样，由于蒸气流气体分子的运动速度比龙卷风气体分子的运动速度还要高，所以形成漩涡的吸力也是巨大的；旋转的蒸气分子被紧紧地裹挟在一起，避免了蒸气分子的逆向运动，从而解决了扩散泵的返油问题；旋转喷头上还可以再安装机械叶片，进一步强化对被抽气体的抽吸力和搅拌混合作用；所以旋转喷头可以大幅度提高扩散泵的抽力和极限真空度。
喷射系统中的蒸气导管上或周围，也就是泵芯的内部或周围，可以有加热装置，加热装置用于加热上升途中的蒸气，能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，从而提高扩散泵的抽气速率和极限真空度，解决了现有扩散泵无论泵油加热器的温度有多高，蒸气的最高温度只能达到泵油沸点温度的问题；加热装置可以是加热丝、加热管、加热棒，也可以是加热套、加热板等；加热装置的内部或表面或附近优选有热电偶等测温装置，加热装置可按加热区域分别设置和控温，加热装置的加热温度接近但低于蒸气的分解温度，优选低于1-5℃，以便充分利用蒸气的动能、最大限度地提高抽速和极限真空度；加热装置优选与蒸发系统的加热器同时开关，加热装置与加热器可以合二为一，以简化安装和使用；在扩散泵启动时，加热装置对泵芯加热，省去了蒸气加热泵芯的时间，从而大大节省启动时间，达到快速启动的目的。
喷射系统中的蒸气导管其底部优选插入对应加热区的泵油中，将加热区进行分区和分隔，不仅能够提高扩散泵的抽气速率和真空性能，而且有利于对泵油进行分馏和净化，使轻馏分的泵油只能停留在最外侧的加热区而被前级泵抽走，只有重馏分的泵油才能进入中心加热区，从而提高扩散泵的抽速和极限真空度。
为了实现停机时泵油和泵芯的快速冷却，可以在蒸发器外围的绝热腔中安装冷却装置如冷却管道等，在停机时，利用冷水或空气进行快速冷却；也可以加装油泵，油泵安装在扩散泵的内部或外部或专门设置的空间内；优选类似于潜水泵的潜油泵，潜油泵可以直接安装在储油区中，也可以安装在储油区中专门设置的凹坑内、以便于抽取更多的泵油；潜油泵上连接有油管，油管的顶端即出油口位于一级喷射的喷嘴处、即泵芯中部最高喷嘴处；扩散泵停止抽真空工作时，先关掉蒸发系统的电源、加热器停止加热，然后开启潜油泵，储油区中的泵油通过油管在喷嘴处射出，一部分油射到泵体内壁上、通过冷却系统进行降温，另一部分油喷淋在泵芯上、使泵芯降温，通过冷却系统降温的泵油与通过泵芯升温的泵油以及加热区温度较高的泵油都回到储油区中，经自然混合后再经潜油泵通过油管和喷嘴射出，循环往复，泵芯、加热区、加热管的热量就通过泵油传导给冷却系统，在几分钟内泵芯、加热区、加热管和泵油就会降至所设定的温度，此时就可以关闭潜油泵、冷却系统、控制系统和总电源，实现快速停机。
本发明具备的突出的实质性特点和显著的进步以及带来的有益效果如下：
本发明根据快速电蒸锅的原理、采用即时加热的加热方式，与现有技术相比，泵油的加热方式由外加热改为内加热、由整体加热改为局部加热、由下部加热改为上部加热、由蒸发系统与冷却系统通过泵体相连改为完全隔绝、加热器的工作环境由空气改为真空，其有益效果是泵油蒸发区的温度由最低变为最高、加热泵油的数量大幅度减小、加热器的工作效率提至最高（放出的热量全部用于加热泵油）、加热器的工作温度大幅度降低，由现有加热炉的工作温度1000度左右降至250-300度（所需加热功率就降至1/5以下），因而加热器的加热功率、能耗和运行成本大幅度降低，可降至不足现有技术的一成。将泵油分别存放在加热区和储油区，仅加热蒸发加热区的泵油，使泵油的加热量大幅度减小、可以降至总油量的十分之一甚至更少，所以泵油所需的加热功率和加热时间都大幅度减小，扩散泵的启动时间也相应显著缩短，可由现在的20-80分钟缩短到1-10分钟，所以能耗大幅度降低，可降至一半以下；现有加热技术的加热器在扩散泵的底部、相当于通过底板先加热本发明的储油区、储油区的泵油受热后再通过对流和传导的方式将热量传递给加热区，储油区的温度始终高于加热区，亦即需要蒸发的泵油其温度是最低的，而加热器的热能是通过扩散泵的底部传递给储油区，在传热过程中加热器的热能会四处散发，传递给扩散泵底部的热能不但会通过泵体散发到空气中、而且还会传递给冷却系统，使蒸发系统与冷却系统产生内耗，其结果是不得不采用大功率的加热器、提高加热器的加热温度，从而导致加热器易被烧坏，储油器底部温度过高（特别是抽取含有粉尘的气体、泵油中含有杂质时，杂质沉积在底部形成隔热层）、泵油易分解变质和碳化，泵油易爆沸、扩散泵易返油，与之同时冷却系统效率下降、影响抽气速率和真空度，常常需要增加制冷设备，使能耗和使用成本进一步增加等等；本发明顺应蒸发系统的工艺要求，将加热区、加热器放置在泵油的最上端，加热器可在几秒内加热到工作温度、其周围的泵油立即被加热蒸发，即被蒸发的泵油其温度是最高的，由于被蒸发的泵油与总油量相比很少（只有十分之一甚至更少），所以加热器的功率可以很小、加热时间可以很短（在短至1分钟内泵就可以启动）、能耗就可以很低；由于泵油最高加热至沸点附近的温度、而且是一到蒸发温度就会立即大量蒸发，蒸气经喷嘴喷出后立即被冷却系统降温，所以泵油在高温段的时间很短、大约只有几秒钟，故不会热分解、更不会被碳化，因而泵油可以长时间使用；本发明的蒸发系统与泵体隔热或绝热式安装、自身又处于泵内的高真空中，所以具有很好的绝热性能、其自身的热量不会散失；本发明的蒸发系统与冷却系统完全隔离，两者之间不发生内耗，同时减少了两者的能量损失；由于蒸发系统和冷却系统的能耗以及泵油的更换是扩散泵的主要运行成本，所以本发明的扩散泵能够使其运行成本得到大幅度的降低；本发明在喷射系统中的蒸气导管上或周围设置有加热装置，能够提高蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能；由于泵油蒸发时发生相变，需要大量的相变能，而现有扩散泵中蒸气的温度却最高只是泵油的温度，蒸气从喷嘴喷出时、其速度和动能与温度成正比，真空抽速与真空度与蒸气速度成正比，而提高蒸气的温度与泵油的蒸发气化相比需要的能量要小的多，但带来的效果却好的多，所以本发明利用加热装置直接加热蒸气能够得到事半功倍的效果；在扩散泵启动时，现有技术是通过蒸气对泵芯进行加热，需要较长的预热时间，而本发明的加热装置可以对泵芯直接进行加热，省去了蒸气加热泵芯的时间，从而大大节省启动时间，达到快速启动的目的。本发明的旋转喷头，变被动为主动，并增加了机械运动和气旋运动形成的抽力，极大地提高了扩散泵的抽力和极限真空度。此外，蒸发系统和冷却系统以及分馏和净化系统的高效运行也会极大地提高扩散泵的工作效率，使扩散泵的抽速更高、极限压强更低、返油率更小；由于本发明的蒸发系统与冷却系统完全隔离，所以在扩散泵停止抽真空时，蒸发系统和泵芯仍处于真空下的绝热状态，所以其降温速率相对较慢；为了提高蒸发系统和泵芯的降温速率，本发明利用设置在储油区的潜油泵通过泵油的循环喷射，将蒸发系统和泵芯与冷却系统联系在一起，使蒸发系统和泵在极短的时间内（1分钟内）就可以降至预定的温度（接近冷却系统的温度），从而可以尽快关掉冷却系统和总电源，达到节省能源和人工的目的。综上所述，本发明具有加热功率小、加热速度快、冷却速度快、返油率低、极限真空高、抽气速率高、运行可靠、维护和使用成本低、启动和达到极限真空时间短等特点。
附图说明
图1是本发明一种实施例的结构示意图；
图2是本发明另一实施例的结构示意图；
图3是本发明另一实施例的结构示意图；
图4是本发明另一实施例的结构示意图；
图5是本发明另一实施例的结构示意图。
图中：泵体1，泵芯2，冷却系统3，喷射系统4，加热器5，泵油6，蒸发系统7，隔板8，油孔9，储油区10，加热区11，底板12，绝热垫或绝热材料13，潜油泵14，油管15，加热装置16，旋转喷头17，轴承18，喷嘴19，叶片20。
具体实施方式
实施例1：本发明的一种扩散泵的实施例如图1所示，基本结构包括：泵体1、泵芯2、冷却系统3、喷射系统4、泵油6、蒸发系统7以及控制系统，泵芯2加装了加热装置16，喷射系统4采用了旋转喷头、旋转喷头17通过轴承18安装在蒸气导管的上端，可以安装一个或数个，旋转喷头17上还可以安装叶片20，以进一步提高扩散泵的性能；冷却系统3、泵油6和控制系统与现有技术大体相同，泵体1可分为直腔和凸腔两种，为方便组装、泵体1的底部可设置活动底板12；蒸发系统7可以由泵体1的底部通过绝热垫13隔热安装在泵体1的内部，蒸发系统7的外表面、泵体1的内表面以及底板12的上表面为低辐射面或有低辐射膜，以阻止蒸发系统7的辐射传热、借助于真空环境使其处于绝热状态；泵芯2通过绝热垫13隔热安装在泵体1的内部，泵芯2的各级蒸气导管的下端与蒸发系统7的各级加热区11相对应、并优选浸没在泵油6中，以便于泵油6的分馏和净化；蒸发系统7通过隔板8分为储油区10和加热区11两部分，泵油6存放于两区之中，两区的泵油6通过油孔9相连通；加热区11设置有加热器5，加热器5优选为环形加热管或加热棒、与加热区11的形状相匹配，可以是电阻加热或感应加热或其他加热方式，加热器5的内部或表面或附近优选有热电偶等测温装置，加热器5可按加热区分别设置和控温，设置温度可由外到内依次升高（一级喷射加热区的温度最高），以便于提高抽速以及泵油6的分馏和净化，加热器5可以全部或部分浸没在泵油6中，优选不工作时加热器5全部浸没在泵油6中、工作时加热器5部分浸没在泵油6中，这样更有利于提高扩散泵的启动速度和缩短停止工作时冷却系统3的工作时间；中间隔板8采用双层不锈钢板制成，双层不锈钢板中间的空腔在真空环境下形成真空层有很好的隔热性能，可以减少加热区11与储油区10之间的热传导，加热器5只加热加热区11的泵油而不加热储油区10的泵油，使热能得到更有效的利用；大部分泵油6储存在储油区10，也避免了泵油6长时间处于高温状态，延长了泵油6的使用寿命；中间隔板8与加热器5固定在一起，中间隔板8可以固定不动，也可以通过调整中间隔板8中间空腔的大小、或采用配重或弹簧等手段，使其漂浮在泵油6中；在正常情况下，储油区10的大小可以改变、但加热区11始终保持不变，因而加热器5的加热功率、蒸气生成量等也始终保持不变，从而保证扩散泵的工作状况始终保持不变，避免了真空度的波动和返油的产生。
本发明的扩散泵其一种实施例的工作过程如下：
当前级泵将扩散泵内部的气压预抽至小于1Pa时，控制系统使各加热器5和加热装置16开始加热，由于加热器5的热容量小和被加热泵油6的数量少，所以在几秒钟内就可以使加热区11中的泵油6产生蒸汽，控制系统使各加热器5的表面温度稳定在泵油6的蒸发温度与分解温度之间，一般控制在高于蒸发温度5-20度的范围内；与之同时，加热装置16也迅速将泵芯2的温度加热至高于蒸气的温度，以接近但不超过泵油6的分解温度为宜；加热区11中的泵油6部分蒸发后，储油区10中的泵油6通过油孔9自动补充到加热区11中。
高温油蒸气经各级导管通过喷射系统4的各级喷嘴定向或旋转高速喷出，由于扩散泵进气口区域被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断地扩散或被抽吸或碰撞到蒸气流中；油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流的旋转方向做高速旋转或螺旋运动；气体分子碰到泵体内壁又反射回来，再次受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁；经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩，最后由前级真空泵抽走；而油蒸气被冷却系统3冷凝后又返回到蒸发系统7中重新被加热，如此循环工作。
扩散泵停止工作时，控制系统使加热器5和加热装置16断电停止加热，由于加热器5的质量小、热容量小，所以泵油6会马上停止沸腾、压力减小，储油区10内的泵油6立即通过油孔9进入加热区11中，并将加热器5淹没，使加热器5降温更快；随着泵体1内壁上冷凝的泵油6逐渐流回到蒸发系统7，加热器5和加热区11的温度越来越低、降至设定的温度后控制系统将冷却系统关闭，最后关闭控制系统和电源。
实施例2：本发明的另一种扩散泵的实施例如图2所示，与实施例1相比，在储油区10内增加了潜油泵14和油管15；潜油泵14与油管15相连接，油管15的顶端位于一级喷射系统的喷嘴处；扩散泵停止抽真空时，先关闭真空阀门和蒸发系统7的电源、加热器5和加热装置16停止加热，然后开启潜油泵14，储油区10中的泵油6通过油管15在喷嘴处射出，一部分泵油6射到泵体1的内壁上、通过冷却系统3进行降温冷却，另一部分泵油6喷淋在泵芯2上、使泵芯2降温，通过冷却系统3降温的泵油6与通过泵芯2升温的泵油6以及加热区11内温度较高的泵油6都回到储油区10中，经自然混合后再经潜油泵14通过油管15和喷嘴射出，循环往复，泵芯2、加热区11、加热器5的热量就通过泵油6传导给冷却系统3，在一分钟内泵芯2、加热区11、加热器5、加热装置16和泵油6就会降至所设定的温度，此时就可以关闭潜油泵14、冷却系统3、控制系统和总电源，实现快速停机。
实施例3：本发明的另一种扩散泵的实施例如图3所示，与实施例1相比，其不同之处在于泵体1分为上下两段，两段之间通过硅橡胶密封圈连接和密封，以进一步隔断蒸发系统7与冷却系统之间的热流，也便于扩散泵的组装和维修；蒸发器中没有中间隔板，泵芯2直接安装在蒸发器中；蒸发器通过绝热垫13悬空安装在泵体1的下段中，蒸发器的外围通过专用管道利用前级泵形成真空腔，以达到绝热效果。
实施例4：本发明的另一种扩散泵的实施例如图4所示，与实施例3相比，其不同之处在于蒸发器直接焊接在泵体1上段的下端，蒸发器的外围采用绝热保温材料进行隔热保温，蒸发器的底部呈凸凹环相间的形状。
实施例5：本发明的另一种扩散泵的实施例如图5所示，其不同之处在于加热器5分别安装在蒸发器底部的外侧和内侧，可以同时开启，也可以只使用一侧的加热器、另一侧为备用，还可以启动时同时开启、恒温时只用内侧加热器。
所有上述的首要实施这一知识产权，并没有设定限制其他形式的实施这种新产品和/或新方法。本领域技术人员将利用这一重要信息，上述内容修改，以实现类似的执行情况。但是，所有修改或改造基于本发明新产品属于保留的权利。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非是对本发明作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本发明技术方案的保护范围。