一种真空排气台的制作方法
【技术领域】
[0001]本申请涉及真空排气技术领域，尤其涉及一种真空排气台。
【背景技术】
[0002]目前的真空排气台，包括真空室，真空室上端具有载物台，下端中部设置真空阀。载物台上设有尾管座，尾管座连接工件，由于尾管座沿直线排列，同一批次的工件在进行抽真空作业时，有的工件的抽口距离真空阀近，有的工件的抽口距离真空阀远，当距离阀门近的工件的真空度达到超高真空时，远端抽口工件的真空度与之相差2?3个数量级，即远端处工件内的真空度达不到超高真空，导致同一批次的工件真空度相差较大。
[0003]为了解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题，现有技术设计了下面两种类型的排气台。
[0004]第一种排气台，通过焊接的方式连接真空阀和真空室，解决了传统真空系统连接方式复杂、连接处容易渗漏气体等问题，保证了真空系统的真空度，提高了抽排气速率，但没有从根本上解决近端工件与远端工件真空度存在差值的问题。
[0005]第二种真空管圆形排气台，把排气台的载物台做成圆形，尾管座以载物台的圆心为中心呈一个或几个同心圆排列，同一同心圆上的尾管座与阀门处的距离相等，没有近端工件与远端工件之分。但传统加热烘箱为长方体结构，处在不同同心圆上的工件与加热烘箱的距离不等，导致处在不同同心圆上的工件在加热烘箱的烘烤下出现受热不均的问题，使得同一批次工件的真空度不一致。而且，阀门处于载物台中心正下方，但工件却处于载物台的周边，造成阀门大部分的抽气被浪费，利用率低。另外，尾气管呈几个同心圆排列时，由于各同心圆的相距距离较短，造成工件与尾气管的连接与分离困难，操作不便。
[0006]因此，目前的排气台不能够很好的解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题。
【发明内容】
[0007]本发明了提供了一种真空排气台，以解决目前的排气台不能够很好的解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题。
[0008]为解决上述技术问题，本发明提供了一种真空排气台，真空室，为中空长条型结构;在所述真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室的相对两侧壁；
[0009]阀门，与所述真空室的排气口连接，其中，所述真空室垂直于长方向上的截面面积与所述阀门的横截面积相等；
[0010]多个尾管座，分别设置在所述多个第一开口处，所述尾管座用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室密封连接；
[0011 ]所述真空室通过所述阀门连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。
[0012]优选的，所述真空室为中空长方体型结构;所述真空室的腔体截面为正方形截面。
[0013]优选的，所述真空室为中空圆柱体型结构，所述真空室的腔体截面为圆形截面；
[0014]所述多个第一开口并列设置在所述真空室的长方向上。
[0015]优选的，所述真空室的流导是所述尾管座的流导的500倍?1000倍。
[0016]优选的，所述真空室的端面安装有第一真空计;所述排气口与所述阀门的连接处安装有第二真空计。
[0017]优选的，所述真空排气台还包括:载物台，所述载物台和所述真空室密封连接，并且所述载物台开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口 ；所述尾管座，对应设置在所述多个第二开口处，所述尾管座用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台密封连接。
[0018]优选的，所述真空排气台还包括:加热罩，设置在所述载物台的上方，所述尾管座全部位于所述加热罩下方。
[0019]优选的，所述加热罩为槽型结构，倒扣在所述载物台上方;所述加热罩的槽内顶部的加热管--对应于所述尾管座分布。
[0020]优选的，在所述加热罩的槽内顶部中，每个加热管和各自对应的尾管座的第一相对距离等于其他加热管和各自对应的尾管座的第二相对距离。
[0021 ]优选的，在所述加热罩内部的侧壁上安装有所述加热管。
[0022]通过本发明的一个或者多个技术方案，本发明具有以下有益效果或者优点:
[0023]本发明公开了一种真空排气台，包括:真空室、阀门、多个尾管座、抽真空装置;真空室，为中空长条型结构;在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等;多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座用于连接待抽真空的工件，使得工件和真空室密封连接;真空室通过阀门连接抽真空装置，以完成工件的抽排气。通过流导理论的设计，使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
[0024]进一步的，由于真空排气台的加热罩内部的顶部和内部侧面安装加热管，使得离阀门距离最远的尾管座上的工件可以受到上方和侧面的双重烘烤，进一步缩小了同一批工件真空度的差值，保证了同一批工件真空度的一致。
[0025]进一步的，由于该真空排气台对工位数量没有限制，同一批次可对多个工件进行抽真空操作，工件的生产周期加快，提高了生产效益。
[0026]进一步的，该真空排气台结构简单，操作方法简便。
【附图说明】
[0027]图1为本发明实施例中真空排气台的结构示意图；
[0028]图2为本发明实施例载物台和尾管座的结构示意图。
[0029]附图标记说明:真空室1、阀门2、离子栗3、排气管4、第一真空计5、第二真空计6、载物台7、尾管座8、加热罩9和加热管10。
【具体实施方式】
[0030]为了使本申请所属技术领域中的技术人员更清楚地理解本申请，下面结合附图，通过具体实施例对本申请技术方案作详细描述。
[0031]参看图1，在本发明实施例中，提供了一种真空排气台。
[0032]本发明的真空排气台包括真空室1、阀门2、离子栗3、排气管4、第一真空计5、第二真空计6、载物台7、尾管座8、加热罩9和加热管10。
[0033]其中，真空室I为大通道小流阻结构，即真空室I的截面面积越大，气体通过真空室I时受到的阻力越小，真空室I的截面面积和气体通过真空室I时受到的阻力呈反比关系。因此，本发明的真空室I的截面面积较大，但气体通过真空室I时受到的阻力却很小。
[0034]真空室I，为中空长条型结构。具体来说，真空室I的形状可以是中空长方体型、中空圆柱体型等等，当然也可以是其他形状。后续将对这两种形状进行具体的介绍。
[0035]在所述真空室I上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室I的相对两侧壁。
[0036]阀门2，与所述真空室I的排气口连接，其中，所述真空室I垂直于长方向上的截面面积与所述阀门2的横截面积相等。参看图1，真空室I为中空圆柱体结构(也可以看做管道结构)，那么真空室I的长方向实际上指的是中空圆柱体结构的轴线11的方向或者平行于轴线11的方向。
[0037]多个尾管座8，分别设置在所述多个第一开口处，所述尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室I密封连接；
[0038]所述真空室I通过所述阀门2连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。
[0039]具体来说，在真空室I一侧壁上设有一个排气口。排气口的具体位置在真空室I的侧壁中部。排气口与阀门2连接，阀门2的下端连接离子栗3(即抽真空装置)，离子栗3的下端与排气管4连接，用来将抽出的气体输送出去。
[0040]为了使同一批次的工件抽气速率一致，本发明将真空室I的腔体进行了改进，使得真空室I的截面面积和所述阀门2的横截面积相等。
[0041]真空室I的截面面积就是真空室I垂直于长方向的横截面面积，请参看图1，图1中的真空室I是中空圆柱型结构，真空室I的截面面积实际上就是和轴线垂直的截面面积。由于真空室I为中空圆柱型结构，因此无论是和阀门2连接的中部的截面，或者是两端的端口处的截面，其截面面积都是相等的，且形状都是圆形截面。
[0042]而根据流导理论来说，真空室I端口的真空度与阀门2处的真空度的差值遵从流导理论，即真空室I端口的真空度与阀门2处的真空度与他们的截面面积比值存在一定的关系。假设阀门2的端口处的横截面积SF1，真空室I端口处的截面积为F2,当F2 = F1的值很小，即F2S远小于Fdt，真空室I端口处的真空度比阀门2处的真空度低2?3个数量级；iF2: F1的值约等于I时，即真空室I端口的流导约等于离子栗3抽气口的流导(相当于阀门2处的流导)时，两者的真空度处于同一数量级。
[0043]因此，本发明将真空室I的端口的截面积设置成和阀门2的横截面积相等，那么真空室I与阀门2处的流导则相等，能够使真空室I的流导等于离子栗3抽气口的流导，使两者的真空度处于同一数量级。解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门2距离最远的尾管座8上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
[0044]另外，真空室I的流导是尾管座8处流导的500倍?1000倍。
[0045]以上是以中空圆柱体型的真空室I为例进行说明，除此之外，真空室I还可以是中空长方体型结构，那么真空室I中的长方向指的是平行于长方体中四个长方形的中心线所指的方向。而真空室I中垂直于长方向上的截面面积的形状为正方形截面，截面面积和中空长方体型结构中的正方形面积相等。