一种紧凑的高真空阀门的制作方法

文档序号:12991661阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种紧凑的高真空阀门,所述高真空阀门用于抽气系统和真空炉之间的连通控制,包括阀座、阀盖和阀盖控制系统,所述阀座具有与所述抽气系统连接的水平开口和与所述真空炉的抽气口连接的前竖开口,所述阀盖控制系统控制所述阀盖盖合在所述阀座的水平开口上或离开,实现所述高真空阀门的关闭与开启,所述阀盖控制系统包括气缸;其特征在于,所述气缸前端铰接在所述阀座的上壁,后端的活塞杆伸向所述阀座的后侧,所述阀盖控制系统还包括旋转连杆一、传动转轴、旋转连杆二,所述传动转轴横向转动安装在所述阀座的后侧阀壁上,所述旋转连杆一下端垂直固定在所述传动转轴上,上端与所述气缸后端的活塞杆铰接,所述旋转连杆二前端与所述阀盖顶部连接,后端伸向所述阀座的后侧,同样垂直固定在所述传动转轴上。

2.根据权利要求1所述的高真空阀门,其特征在于,所述阀座的上壁靠近所述后侧阀壁的一侧向下倾斜,所述气缸安装在该倾斜的上壁上。

3.根据权利要求2所述的高真空阀门,其特征在于,所述旋转连杆一与所述旋转连杆二异面垂直,所述高真空阀门关闭时,所述旋转连杆二位置水平。

4.根据权利要求3所述的高真空阀门,其特征在于,所述阀座的后侧阀壁上凸出设有通过所述后侧阀壁上的开口与所述阀座内部密封连通的传动密封室,所述传动转轴转动密封安装在该传动密封室的两侧壁上,一端伸出与所述旋转连杆一相连,所述旋转连杆二的一端由所述后侧阀壁上的开口伸出,连接所述传动转轴。

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