晶圆绷紧环的制作方法

本实用新型涉及晶圆保护组件，更具体地说，涉及一种晶圆绷紧环。

背景技术：

目前市场上常见的晶圆绷紧环包括晶圆绷紧环外圈和晶圆绷紧环内圈，晶圆绷紧环外圈内侧壁上部为立边，下部为弧边，晶圆绷紧环内圈外侧壁上部为弧边，下部为立边，此结构有以下缺点：晶圆绷紧环内圈和晶圆绷紧环外圈在安装时没有方向性，晶圆绷紧环四种方向都可以安装，但正确的安装方式只有一种，所以容易错误安装，因为薄膜的边缘卡紧在晶圆绷紧环内圈和晶圆绷紧环外圈之间的，当错误安装时，使的薄膜与立边接触，损坏薄膜，给使用者带来极大的困扰。

有鉴于此，急需对现有的晶圆绷紧环的结构进行改进，以防止错误安装而损坏薄膜。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆绷紧环。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆绷紧环，包括：

外环，所述外环包括第一环状体；

内环，可拆卸地设置于所述第一环状体中，包括第二环状体；

卡接结构，设置在所述外环和内环上以将所述外环和所述内环卡接；

至少一个防呆结构，设置在所述外环和内环上以给所述外环套设所述内环外围定向。

优选地，所述至少一个防呆结构包括：

第一防呆结构，设置在所述外环和所述内环的上部；

第二防呆结构，设置在所述外环和所述内环的下部。

优选地，所述第一防呆结构包括：

第一定向凸筋，设置在所述第二环状体的外侧壁且凸出所述第二环状体设置，其上设有第一导引面；所述第一导引面与所述第二环状体的端面倾斜设置；

第一定向槽，设置在所述第一环状体的内侧壁且与所述第一定向凸筋对应设置，所述第一定向槽靠近所述第一环状体的上端面的侧壁朝所述第一导引面延伸形成第一防呆凸部，所述第一防呆凸部设有与所述第一导引面贴合的第二导引面。

优选地，所述第一导引面为外凸的弧面；所述第二导引面为内凹的弧面。

优选地，所述第二防呆结构包括：

第二定向凸筋，设置在所述第一环状体的内侧壁且凸出所述第一环状体设置，其上设有第三导引面；所述第三导引面与所述第一环状体的端面倾斜设置；

第二定向槽，设置在所述第二环状体的外侧壁且与所述第二定向凸筋对应设置，所述第二定向槽靠近所述第二环状体的下端面的侧壁朝所述第三导引面延伸形成第二防呆凸部，所述第二防呆凸部设有与所述第三导引面贴合的第四导引面。

优选地，所述卡接结构，包括：

卡接凸台，设置在所述第一环状体内侧壁且位于所述第一环状体中部；

卡接凹槽，设置在所述第二环状体的外侧壁且位于所述第二环状体的中部，并与所述卡接凸台对应设置。

优选地，所述卡接凸台与所述卡接凹槽通过过盈配合连接。

优选地，所述第一环状体的外侧壁为圆环面；

和/或所述第二环状体的内侧壁为圆环面。

优选地，所述第一环状体的外侧壁与所述第一环状体的上端面相接处设有第一倒角结构。

优选地，所述第二环状体的内侧壁与所述第二环状体的下端面相接处设有第二倒角结构。

实施本实用新型的晶圆绷紧环，具有以下有益效果：该晶圆绷紧环通过设置至少一个防呆结构，从而可便于给该外环套于该内环外围定向，进而能够有效的防止使用者错误安装，有效的保护了薄膜，方便了使用者。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例晶圆绷紧环的立体结构示意图；

图2是图1所示晶圆绷紧环的分解示意图；

图3是图1所示晶圆绷紧环的纵向剖视图；

图4是图1所示晶圆绷紧环的外环的立体结构示意图；

图5是图4所示晶圆绷紧环的外环的纵向剖视图；

图6是图1所示晶圆绷紧环的内环的立体结构示意图；

图7是图6所示晶圆绷紧环的外环的纵向剖视图的局部放大示意图；

图8是图1所述晶圆绷紧环装配方式对照表。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

图1至图3示出了本实用新型晶圆绷紧环的一些优选实施例。该晶圆绷紧环可用于绷紧薄膜，以起到保护薄膜的作用，其具有安装方便，安装效率高，保护效果好的优点。

如图1至图3所示，该晶圆绷紧环可包括外环10、内环20、卡接结构、至少一个防呆结构；该外环10可套设在该内环20的外围，其可与该内环20配合用于绷紧薄膜。该卡接结构可设置在该外环10和该内环20上，其可用于将该外环10和该内环20卡接。该至少一个防呆结构可设置在该外环10和该内环20上，其可给该外环10套设于该内环20外围定向，进而可使得该外环10和该内环20可定向装配，从而可提高装配的效率，并且可有效保护薄膜。

如图1至图5所示，进一步地，在一些实施例中，该外环10可包括第一环状体11，该第一环状体11的上端面和下端面均为平面，且其外侧壁为光滑的圆环面。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一环状体的外侧壁可不限于圆环面。该第一环状体11的外侧壁与该第一环状体11的上端面相接处设有第一倒角结构15。该第一倒角结构15可以为圆角。

如图1至图3、图6至图7所示，进一步地，在一些实施例中，该内环20可拆卸地设置于该第一环状体11中，其可包括第二环状体21，该第二环状体21可拆卸地安装在该第一环状体11中，其外径小于该第二环状体21的内径，该第二环状体21的上端面和下端面均为平面，且其内侧壁为光滑的圆环面。可以理解地，在其他一些实施例中，该第二环状体的内侧壁可不限于圆环面。该第二环状体21的内侧壁与该第二环状体21的下端面相接处设有第二倒角结构25，该第二倒角结构可以为圆角。

如图3所示，进一步地，在一些实施例中，该卡接结构包括卡接凸台12以及卡接凹槽22；该卡接凸台12可设置在该第一环状体11内侧壁，且其可位于该第一环状体11的中部，其可凸出该第一环状体11内侧壁设置，其可与该第一环状体11一体成型。该卡接凸台12的凸出端面可以为弧面，从而可避免刮伤薄膜，能够起到对该薄膜有效保护的作用。该卡接凹槽22可设置在该第二环状体21的外侧壁，且其可位于该第二环状体21的中部，其可与该卡接凸台12对应设置，该卡接凹槽22的底面可以为内凹的弧面，以与卡接凸台12相配合，在一些实施例中，该卡接凸台12可与该卡接凹槽22通过过盈配合连接，进而可将该第一环状体11和该第二环状体21稳定连接，从而可有效地固定薄膜。

如图3至图7所示，进一步地，在一些实施例中，该至少一个防呆结构可以包括一个或者多个防呆结构。在一些实施例中，该至少一个防呆结构可包括第一防呆结构以及第二防呆结构，该第一防呆结构和该第二防呆结构均能给该外环10套设于该内环20外围定向。该第一防呆结构可设置在该外环10和该内环20的上部，该第二防呆结构可设置在该外环10和该内环20的下部。通过设置该第一防呆结构和该第二防呆结构，可以便于该薄膜的定向装配。通过在该外环10和该内环20的上下部分别设置第一防呆结构和第二防呆结构，加大了非正常装配方式时内环20与外环10之间的过盈量，即非正常装配方式下内环无法卡入外环，可有效的防止了错误安装，从而保护了薄膜。

进一步地，在一些实施例中，该第一防呆结构可包括第一定向凸筋13以及第一定向槽13；该第一定向凸筋13可设置在该第二环状体21的内侧壁，且其可凸出该第二环状体21设置，其可与该第二环状体21一体成型。该第一定向凸筋13上可设置第一导引面231，该第一导引面231可位于该第一定向凸筋13的凸出端，其可与该第二环状体21的端面倾斜设置，其可便于该给该第二环状体21定向。在一些实施例中，该第一导引面231可以为外凸的弧面，以防止刮伤薄膜。该第一定向槽13可设置在该第一环状体11的内侧壁，且其可与该第一定向凸筋23对应设置，其可由该第一环状体11的内侧壁内凹形成。该第一定向槽13靠近该第一环状体11上端面的侧壁朝该第一导引面231延伸，以形成第一防呆凸部131，以防止该外环10或者内环20错误安装。当该外环10正确套设于该内环20外围时，该第一防呆凸部131可置于该第一导引面231上。当该内环20与该外环10非正常装配方式时，由于该第一防呆凸部131的限制，该内环20无法卡入该外环10中。在一些实施例中，该第一防呆凸部131设有与该第一导引面231贴合的第二导引面132；该第二导引面132可以为内凹的弧面，其可与该第一导引面231外凸的弧面贴合，以防止刮伤薄膜。

进一步地，在一些实施例中，该第二防呆结构可包括第二定向凸筋14和第二定向槽24；该第二定向凸筋14可设置在该第一环状体11的内侧壁且凸出该第一环状体11设置，其可与该第一环状体11一体成型。该第二定向凸筋14上可设置第三导引面141，该第三导引面141可位于该第二定向凸筋14的凸出端，其可与该第一环状体11的端面倾斜设置，其可便于该给该第二环状体21定向。在一些实施例中，该第三导引面141可以为外凸的弧面，以防止刮伤薄膜。该第二定向槽24可设置在该第二环状体21的外侧壁，且其可与该第二定向凸筋14对应设置，其可由该第二环状体21的外侧壁内凹形成。该第二定向槽24靠近该第二环状体21下端面的侧壁朝该第三导引面141延伸，以形成第二防呆凸部241，以防止该外环10或者内环20错误安装。当该外环10正确套设于该内环20外围时，该第二防呆凸部241可置于该第三导引面141上。当该内环20与该外环10非正常装配方式时，由于该第二防呆凸部241的限制，该内环20无法卡入该外环10中。在一些实施例中，该第二防呆凸部241设有与该第三导引面141贴合的第四导引面242；该第四导引面242可以为内凹的弧面，其可与该第三导引面141外凸的弧面贴合，以防止刮伤薄膜。

该晶圆绷紧环的使用方法：先将薄膜放置于该晶圆绷紧环的内环20上，把外环10沿着该内环20上部的第一定向凸筋23向下卡入，在向下卡入的过程中，该卡接凸台12会受力逐渐挤入该卡接凹槽中，弯曲压入后，该第一防呆凸部131置于该第一定向凸筋23上，且该第一导引面231与该第二导引面132贴合。该第二防呆凸部241置于该第二定向凸筋24上，且该第三导引面141与该第四导引面242贴合，从而使得该薄膜稳稳地固定于该内环20和该外环10之间，再将晶圆放置于薄膜之上。

如图8所示，根据该晶圆绷紧环的结构可知，该外环10和该内环20之间的装配方式可以有四种，但是正确的装配方式只有一种，如图8中的第一种所示，外环10沿着该内环20上部的第一定向凸筋23向下卡入，在向下卡入的过程中，该卡接凸台12会受力逐渐挤入该卡接凹槽22中；该卡接凸台12与卡接凹槽22通过过盈配合连接。由于该过盈量适当，该外环10可轻松套设于该内环20的外围，且该内环20不易松动。以另外三种方式卡入时，因该第一防呆凸部131和该第二防呆凸部241的限制，该外环10和该内环20无法装配，因此通过该防呆结构可以有效区分正确的安装方式，防止错误安装。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。