复合密封组件、等离子旋转电极雾化制粉设备与制粉方法与流程

本发明涉及制粉技术领域，尤其涉及一种复合密封组件、等离子旋转电极雾化制粉设备与制粉方法。

背景技术：

等离子旋转电极雾化制粉（prep）技术是一种基于高速旋转离心雾化原理的金属粉末制备方法，该技术生产的金属粉末以其优异的性能在热等静压（hip）、热喷涂、多孔催化填料等粉末冶金领域获得广泛应用。钛铝合金（脆性难加工材料）是颇具应用潜力的发动机用新型轻质高温材料，通过粉末冶金近净成形技术可以得到比铸造冶金更细、层间距更小的显微组织。相比较于惰性气体雾化制粉技术，旋转电极技术不需要高速气流就可以直接分散金属液流雾化，因此可以避免高速气雾化法中出现的“伞效应”产生的空心粉末颗粒，因而prep技术是制备钛铝合金粉末的理想技术。

目前传统的prep技术连续生产工艺是把金属坯料机加工成电极棒料，电极棒料一端加工成内螺纹，另一端加工成外螺纹。制粉时前一根电极棒料的外螺纹与后一根电极棒料的内螺纹连接实现连续生产。

目前prep制粉由于工艺需要，实际生产过程中需要进行单根制粉。脆性材料棒料的内螺纹加工难度很大，仅能加工外螺纹。现有prep生产技术是给脆性材料加工外螺纹，制粉时通过过渡棒与脆性材料的外螺纹连接，把脆性材料送入雾化室内。制粉完毕把过渡棒和料头从雾化室内抽出，然后把料头从过渡棒上拆掉，连接新的电极棒料继续进行生产。

现有技术存在的问题主要是雾化室开口处设置的密封装置密封效果差，导致过渡棒和脆性电极棒料的料头从雾化室内抽出后进行新电极棒料更换时，雾化室内的惰性气氛被破坏，进行下一根生产时需要再次进行雾化室抽真空、充惰性气体操作。如此，每根棒料进行制粉都需要重新进行抽真空、充惰性气体的操作，造成惰性气体消耗大、生产效率低、成本高等问题。

因此，有必要改善上述相关技术方案中存在的一个或者多个问题。

需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本公开的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种复合密封组件、等离子旋转电极雾化制粉设备与制粉方法，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

本发明的第一方面提供一种复合密封组件，用于等离子旋转电极雾化制粉设备的雾化室的密封，包括：v型密封圈、固定板、活动板、法兰、v型垫块和锁紧螺母；

所述固定板内开设有竖直方向的腔体，所述腔体上端面开口，所述腔体内设有活动板，所述活动板滑动设置在所述腔体内，可沿竖直方向上下移动，所述固定板横向设有通孔，所述通孔贯穿所述腔体；

所述固定板的一侧面和所述法兰固定连接，所述法兰内侧设有所述v型密封圈，所述法兰的外侧面螺纹连接有锁紧螺母，所述v型密封圈和所述锁紧螺母之间设有所述v型垫块。

优选的，所述活动板的左右两侧均设有o型密封圈，当所述活动板向下移动到所述通孔时，所述o型密封圈与所述通孔的边沿相抵触。

优选的，所述法兰上设置有贯穿所述法兰侧壁的真空管路，所述真空管路和真空系统相连通。

优选的，所述活动板和气缸的活塞杆固定连接。

优选的，所述腔体的内侧壁设有竖直方向的滑道，所述活动板通过所述滑道和所述固定板滑动连接。

优选的，所述法兰的外表面设有外螺纹，所述锁紧螺母上设有内螺纹，所述内螺纹和所述外螺纹相匹配。

优选的，所述锁紧螺母和所述v型垫块的一侧相抵触，所述v型垫块的另一侧和所述v型密封圈相抵触。

优选的，所述v型密封圈的开口侧朝向锁紧螺母的方向。

本发明的第二方面提供一种等离子旋转电极雾化制粉设备，包括：

送进平台；

旋转驱动装置：设置在所述送进平台上；

雾化室：设置在所述送进平台的一侧，所述雾化室开口的外侧设置有以上实施例中任一项所述的复合密封组件，所述复合密封组件的固定板与所述雾化室开口的外侧固定连接，所述雾化室的开口正对所述旋转驱动装置；

等离子枪：设置在所述雾化室内，与雾化室的开口正对设置；

惰性气体系统以及真空系统：所述惰性气体系统以及真空系统分别与所述雾化室相连通。

优选的，所述复合密封组件的右侧还可以连接有浮动辊组件，所述浮动辊组件设置在雾化室开口的内侧，用于对电极棒料进行限位。

本发明的第三方面提供一种制粉方法，该方法包括：

将电极棒料和过渡棒连接，将过渡棒固定于旋转驱动装置上，送进平台驱动所述电极棒料和过渡棒穿过复合密封组件，雾化室抽真空、充入惰性气体，然后电极棒料前进至雾化室内进行等离子旋转电极雾化制粉；

电极棒料制粉完毕后，送进平台驱动过渡棒和电极棒料从雾化室退出，然后从复合密封组件退出；

把电极棒料从过渡棒上拆卸下来，连接新的电极棒料；

送进平台驱动新的电极棒料和过渡棒穿过复合密封组件，新的电极棒料前进至雾化室内进行等离子旋转电极雾化制粉；

其中，所述复合密封组件为上述实施例中任一项所述的复合密封组件，所述复合密封组件设置在所述雾化室开口的外侧，所述复合密封组件的固定板与所述雾化室开口的外侧固定连接。

优选的，所述电极棒料从复合密封组件退出后，活动板向下移动对雾化室进行密封。

优选的，新的电极棒料穿过复合密封组件后，开启真空系统对复合密封组件进行抽真空，然后电极棒料进入雾化室进行制粉。

本公开的一实施例中，通过调整所述法兰外侧面的锁紧螺母的位置，对应实现v型密封圈和过渡棒之间的贴紧程度的调整。

本发明可以实现以下有益效果：

本发明中复合密封组件的v型密封圈可以对经过的电极棒料首先进行贴紧密封，当电极棒料进一步经过固定板上的通孔时，活动板会向上运动让电极棒料通过，电极棒料通过后活动板又会向下运动对电极棒料进行即时密封，防止外界气体进入雾化室。利用v型密封圈和活动板的双重密封作用，大大提升了密封效果，进而促进生产效率提高。

单次制粉结束后，电极棒料和过渡棒首先从雾化室退出，然后从复合密封组件退出，复合密封组件可以及时对雾化室进行良好密封，防止雾化室内的气体漏出，同时也防止外界的气体进入雾化室，使得再进行下次制粉工作时，不用再次对雾化室进行抽真空、充惰性气体的操作，大幅度减少惰性气体的消耗，提高了制粉效率，同时降低了制粉成本。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出本发明实施例中的复合密封组件（过渡棒和电极棒料穿过该复合密封组件）的结构示意图；

图2示出发明又一实施例中的复合密封组件（过渡棒和电极棒料从该复合密封组件的活动板处撤出）的结构示意图；

图3示出发明再一实施例中的复合密封组件（过渡棒和电极棒料从该复合密封组件的活动板处撤出）的结构示意图；

图4示出本发明实施例中的等离子旋转电极雾化制粉设备结构示意图；

图5示出本发明实施例中的钛铝合金粉末的电镜照片；

图6为本发明实施例中的制粉流程图。

附图标记：

1.旋转驱动装置，2.送进平台，3.惰性气体系统，4.过渡棒，5.复合密封组件，5-1.v型密封圈，5-2.固定板，5-2-1.通孔，5-3.活动板，5-4.o型密封圈，5-5.真空管路，5-6.法兰，5-7.v型垫块，5-8.锁紧螺母，6.浮动辊组件，7.电极棒料，8.粉末产品，9.雾化室，10.等离子枪，11.真空系统。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。

本发明实施例首先提供了一种复合密封组件5，用于等离子旋转电极雾化制粉设备的雾化室9的密封，如图1所示，可以包括：v型密封圈5-1、固定板5-2、活动板5-3、法兰5-6、v型垫块5-7和锁紧螺母5-8。所述固定板5-2内开设有竖直方向的腔体，所述腔体的上端面开口，所述腔体内设有所述活动板5-3，所述活动板5-3滑动设置在所述腔体内（所述活动板5-3的形状可以与所述腔体相匹配），可沿竖直方向上下移动，所述固定板5-2上横向设有通孔5-2-1，所述通孔5-2-1贯穿所述腔体；所述固定板5-2的一侧面（图1中为固定板5-2的左侧面）和所述法兰5-6固定连接，所述法兰5-6的内侧设有所述v型密封圈5-1，所述法兰5-6的外侧面螺纹连接有锁紧螺母5-8，所述v型密封圈5-1和所述锁紧螺母5-8之间设有所述v型垫块5-7。

本发明实施例中复合密封组件5中的v型密封圈5-1可以对经过的电极棒料7首先进行贴紧密封，当电极棒料7进一步经过固定板5-2上的通孔5-2-1时，活动板5-3会向上运动让电极棒料7通过，电极棒料7通过后活动板5-3又会向下运动对电极棒料7进行贴紧，防止外界气体进入雾化室9。利用以上两个结构对经过的电极棒料7（以及后面经过的过渡棒4，复合密封组件5对过渡棒4的密封过程和电极棒料7相同）进行双重密封，防止外界气体进入雾化室9，大大提升了密封效果，进而促进生产效率提高。

可选的，在一些实施例中，如图2所示，所述活动板5-3的左右两侧均设有o型密封圈5-4，制粉前，所述活动板5-3处于腔体的底端，所述o型密封圈5-4和所述通孔5-2-1的边沿相抵触，活动板5-3堵住通孔5-2-1，防止外界气体进入雾化室9，起到密封作用。制粉完毕后，电极棒料7从复合密封组件5抽出后，活动板5-3也会下移，封住通孔5-2-1，防止雾化室9内的气体从复合密封组件5漏出，形成更好的密封环境。

可选的，在一些实施例中，如图3所示，所述法兰5-6上可以设置有贯穿所述法兰5-6侧壁的真空管路5-5，所述真空管路5-5可以和真空系统11相连通。当过渡棒4和电极棒料7穿过所述复合密封组件5时，可能会产生少量的漏气，可以利用真空系统11通过真空管路5-5把复合密封组件5中的空气抽出，使其产生更佳的密封作用。

可选的，在一些实施例中，所述活动板5-3可以和气缸的活塞杆固定连接，利用活塞杆的上下运动使所述活动板5-3可以上下移动，当电极棒料7需要从通孔5-2-1通过时，活动板5-3向上运动使通孔5-2-1贯通，电极棒料7通过后，活动板5-3向下运动和电极棒料7贴紧，以起到密封作用。另外，活动板5-3也可以和齿条固定连接，然后让齿条和齿轮啮合，齿轮和电机连接，从而通过电机带动活动板5-3上下移动，但也不限于此。

可选的，在一些实施例中，所述腔体的内侧壁设有竖直方向的滑道，所述活动板5-3通过所述滑道和所述固定板5-2上的腔体内侧壁滑动连接，利用滑道可以使活动板5-3上下移动，这样的移动方式更顺畅。

可选的，在一些实施例中，所述法兰5-6的外表面设有外螺纹，所述锁紧螺母5-8上设有内螺纹，所述内螺纹和所述外螺纹相匹配，锁紧螺母5-8可以通过螺纹左右移动。

可选的，在一些实施例中，所述锁紧螺母5-8和所述v型垫块5-7的一侧相抵触，所述v型垫块5-7的另一侧和所述v型密封圈5-1相抵触。

本实施例中，可以通过拧动所述锁紧螺母5-8使其与法兰5-6产生相对移动，锁紧螺母5-8会使v型密封圈5-1收紧或松开，从而使v型密封圈5-1的内唇与进入v型密封圈5-1的电极棒料7或过渡棒4贴紧或保持所需的间隙，对应起到密封或通过的作用。当把锁紧螺母5-8向法兰5-6的方向旋紧时，锁紧螺母5-8会使v型密封圈5-1的内唇收缩；当把锁紧螺母5-8向背向法兰5-6的方向旋动时，v型密封圈5-1的内唇恢复原状。

可选的，在一些实施例中，所述v型密封圈5-1的开口侧朝向锁紧螺母5-8的方向，当电极棒料7进入v型密封圈5-1时，电极棒料7先进入v型密封圈5-1的开口部分，然后通过v型密封圈5-1较窄的部分，逐步实现密封。

以上实施例中，所述法兰5-6可以为密封法兰。

本发明实施例其次提供了一种等离子旋转电极雾化制粉设备，请参考图4所示，可以包括送进平台2、旋转驱动装置1、雾化室9、等离子枪10、惰性气体系统3以及真空系统11。所述旋转驱动装置1设置在所述送进平台2上；所述雾化室9设置在所述送进平台2的一侧（图4中未右侧），所述雾化室9开口的外侧设置有上述实施例中任一项所述的复合密封组件5，所述复合密封组件5的固定板5-2与所述雾化室9开口的外侧固定连接，可以通过法兰或者螺钉等实现固定连接。所述雾化室9的开口正对所述旋转驱动装置1，所述等离子枪10设置在所述雾化室9内，与雾化室9的开口正对设置。所述惰性气体系统3以及真空系统11分别与所述雾化室9相连通，惰性气体系统3以及真空系统11可以分别对雾化室9进行充惰性气体和抽真空的操作。

本实施例中，复合密封组件5在电极棒料7进出雾化室9的过程中起到实时密封作用，防止雾化室9漏气，使制粉顺利进行，降低了生产成本，提高了生产效率。

本实施例中，旋转驱动装置1相对于所述送进平台2可以发生转动，旋转驱动装置1在所述送进平台2的带动下相对于雾化室9产生往复移动，过渡棒4和电极棒料7在送进平台2的带动下向雾化室9往复移动，在雾化室9内旋转驱动装置1带动过渡棒4和电极棒料7发生高速旋转，转速可以为10000~100000r/min，但也不限于此。电极棒料7在进入雾化室9前，先通过复合密封组件5，然后再进入雾化室9，当电极棒料7的前端距离等离子枪10端面30-60mm时，停止送进，之后等离子枪10产生等离子弧对进入雾化室9内的电极棒料7进行熔融，熔融金属液滴在高速旋转离心力作用下抛出形成小液体颗粒，生成粉末产品8，从而完成制粉工作。电极棒料7从雾化室9出来时亦经过复合密封组件5，复合密封组件5可以在过渡棒4和电极棒料7进出雾化室9时起到实时密封的作用，防止雾化室9的气体漏出，减少了雾化室9在每次制粉过程中抽真空-充惰性气体这一过程，实现了脆性难加工材料的prep连续生产，简化了工艺流程，提高了制粉效率。

可选的，在一些实施例中，所述过渡棒4的前端设有15~30°导入角，有利于过渡棒4顺利、快速地进入复合密封组件5内，降低雾化室9漏气的可能性。

可选的，在一些实施例中，所述过渡棒4的直径可以比所述电极棒料7的直径大1~3mm，两者的直径相差较小，可以避免换料过程中料头翻边对v型密封圈5-1的损伤。

所述惰性气体系统3和真空系统11分别与所述雾化室9相连通，真空系统11为雾化室9抽真空，也可以通过真空管路5-5为复合密封组件5进行抽真空。惰性气体系统3为雾化室9内的电极棒料7提供惰性气氛，以便制粉过程的进行。真空系统11对雾化室9进行抽真空，例如压强可以为-5×10^-3pa，但也不限于此。惰性气体系统3向抽真空后的雾化室9内充纯度为99.999%的氩气至正压0.04~0.20mpa，但也不限于此，满足雾化制粉成形工艺的惰性气氛需要。

可选的，在一些实施例中，所述电极棒料7的外螺纹和所述过渡棒4的内螺纹螺纹连接，电极棒料7的外螺纹易于制备，其内螺纹难以制备，容易产生断裂、造成浪费，而过渡棒4的内螺纹易于制备，可以和电极棒料7螺纹连接，便于电极棒料7的更换。

可选的，在一些实施例中，所述复合密封组件5的右侧还连接有浮动辊组件6，所述浮动辊组件6设置在雾化室9开口的内侧，用于对电极棒料7进行限位。所述浮动辊组件6包括多个浮动辊，多个浮动辊围绕所述电极棒料7均匀设置，所述多个浮动辊的一端均和所述雾化室9开口的内侧固定连接，多个浮动辊之间有一定空隙，电极棒料7穿过此空隙，多个浮动辊为电极棒料7提供支撑力，使电极棒料7旋转时的位置不要过多偏离电极棒料7的轴心，减小挠度，避免电极棒料7折断。

电极棒料7进出复合密封组件5的过程如下：

（1）送进平台2驱动高速旋转的过渡棒4和电极棒料7前伸经过复合密封组件5进入雾化室9，实现电极棒料7的熔化补偿，当电极棒料7熔化只剩下料头时，送进停止；

（2）送进平台2驱动过渡棒4和电极棒料7后退，当电极棒料7退出固定板5-2约10~20mm时，活动板5-3下行，当活动板5-3运动到下限位时，o型密封圈5-4与固定板5-2一起实现雾化室9密封。电极棒料7继续后退直到完全退出复合密封组件5；

（3）把电极棒料7料头从过渡棒4上拆卸下来，连接新的电极棒料7；

（4）送进平台2继续驱动过渡棒4和电极棒料7前伸，当电极棒料7穿过v型密封圈5-1后，电极棒料7的前端面与活动板5-3距离10-20mm，此时开启真空系统11，对复合密封组件5进行二次抽真空；

（5）活动板5-3上行至上限位，送进平台2继续驱动过渡棒4和电极棒料7前伸。

复合密封组件5与过渡棒4、电极棒料7的配合控制如下：

（1）雾化室9抽真空时，锁紧螺母5-8内旋至距离固定板5-2一定距离处，带动v型垫块5-7前伸压紧v型密封圈5-1，使v型密封圈5-1的外唇与法兰5-6贴紧，内唇与过渡棒4贴紧，满足密封条件；

（2）制粉过程，锁紧螺母5-8外旋至距离固定板5-2一定距离处，带动v型垫块5-7后退，使得v型密封圈5-1松开，v型密封圈5-1的内唇与过渡棒4之间存在0.2~0.3mm间隙，这一小间隙既可以实现雾化室9内氩气的密封，也可以防止高转速下v型密封圈5-1的内唇磨损太快，影响v型密封圈5-1的寿命；

（3）制粉完毕，锁紧螺母5-8外旋至距离固定板5-2一定距离处，带动v型垫块5-7后退，使得v型密封圈5-1的内唇与过渡棒4产生2-3mm间隙，防止料头飞边划伤v型密封圈5-1；

（4）把电极棒料7的料头从过渡棒4上拆下来，安装新的电极棒料7，电极棒料7伸入到v型密封圈5-1内，当电极棒料7前端与活动板5-3距离10-20mm时，锁紧螺母5-8内旋至距离固定板5-2一定距离处，使得v型密封圈5-1的外唇与法兰5-6贴紧，内唇与电极棒料7贴紧，v型密封圈5-1和活动板5-3构成密封。

如图5所示，图5为采用了上述实施例中的复合密封组件5的等离子旋转电极雾化制粉设备制备出来的钛铝合金粉末的电镜照片，可以看出，制备出的钛铝合金粉末的各方面性能良好，达到了生产要求。

另外，上述实施例中的电极棒料7可以是脆性材料毛坯通过机械加工成的圆形电极棒料，直径为φ10-100mm，长度为100-800mm，但也不限于此。

可选的，在一些实施例中，所述v型密封圈5-1的材质可以为丁腈橡胶和氯丁橡胶两种，但也不限于此。

本发明实施例还提供了一种制粉方法，如图6所示，该方法包括以下步骤：

s1，将电极棒料7和过渡棒4连接，将过渡棒4固定于旋转驱动装置1上，送进平台2驱动所述电极棒料7穿过复合密封组件5，雾化室9抽真空、充入惰性气体，然后电极棒料7前进至雾化室9内进行等离子旋转电极雾化制粉；

s2，电极棒料7制粉完毕后，送进平台2驱动过渡棒4和电极棒料7从雾化室9退出，然后从复合密封组件5退出；

s3，把电极棒料7从过渡棒4上拆卸下来，连接新的电极棒料7；

s4，送进平台2驱动新的电极棒料7穿过复合密封组件5，新的电极棒料7前进至雾化室9内进行等离子旋转电极雾化制粉；

其中，所述复合密封组件5为前述实施例任一项所述的复合密封组件5，所述复合密封组件5设置在所述雾化室9开口的外侧，固定板5-2和雾化室9的开口固定连接。

本实施例中，当第一根电极棒料7进行制粉前，需要对雾化室9进行抽真空、充惰性气体操作，制粉之后剩下的料头首先从雾化室9退出，然后从复合密封组件5退出，复合密封组件可以对雾化室9进行即时密封，防止雾化室9内的惰性气体外泄。当新的电极棒料7经过复合密封组件5后，复合密封组件5也同样起到了密封作用，防止外界气体进入雾化室9，保证了雾化室9内惰性气体的氛围，可以直接进行制粉工作。大幅度减少惰性气体的消耗，提高了制粉效率，同时降低了制粉成本。

可选的，在一些实施例中，所述电极棒料7从复合密封组件5退出后，活动板5-3向下移动进行密封。活动板5-3可以和气缸的活塞杆固定连接，利用气缸的运动来控制活动板5-3的上下移动，从而让电极棒料7从复合密封组件5内进出。

可选的，在一些实施例中，复合密封组件5的法兰5-6上可以设置有贯穿所述法兰5-6侧壁的真空管路5-5，所述真空管路5-5和真空系统11相连通，新的电极棒料7穿过复合密封组件5后，开启真空系统11对复合密封组件5进行抽真空，然后电极棒料7进入雾化室9进行制粉。新的电极棒料7进入复合密封组件5后，可能会把少量空气带入复合密封组件5，为了防止这部分的空气进入雾化室9，可以开启真空系统11对复合密封组件5进行抽真空，保证制粉工作顺利进行。

进一步可选的，在一些实施例中，通过调整所述法兰5-6外侧面的锁紧螺母5-8的位置，对应实现v型密封圈5-1和过渡棒4（或者电极棒料7）之间的贴紧程度的调整。锁紧螺母5-8、v型垫块5-7和v型密封圈5-1依次相抵触连接，v型密封圈5-1的内唇和过渡棒4可以实现接触，调整锁紧螺母5-8的位置可以改变v型密封圈5-1的开口程度，使其内唇和过渡棒4（或者电极棒料7）之间的距离或者贴紧程度得到有效控制，以配合密封工作以及制粉工作的进行。复合密封组件5与过渡棒4、电极棒料7的配合过程如前所述。

需要理解的是，上述描述中的术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本公开的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。