一种旋转密封装置的制作方法

文档序号:22770057发布日期:2020-11-03 23:16阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种旋转密封装置,包括座体(1)与旋转轴(2),其特征在于:所述旋转轴(2)贯穿设置于座体(1)内,所述旋转轴(2)位于座体(1)左端内部的一段从左至右依次套装有第一油封(3)、轴环(4)、第二油封(5)及第一轴承(6),所述旋转轴(2)位于座体(1)右端内部的一段从右至左依次套装有第三油封(7)、轴承隔圈(8)及第二轴承(9);

所述座体(1)的左端部通过螺钉紧固连接有安装支架(10),所述安装支架(10)上固定安装有电感式传感器(11),所述旋转轴(2)的左端插接有传感器感应块(12),且传感器感应块(12)与电感式传感器(11)的位置相对应,所述旋转轴(2)的右端部套装有真空吸盘(13)。

2.根据权利要求1所述的一种旋转密封装置,其特征在于:所述座体(1)的左侧开口处通过螺钉固定安装有第一密封端盖(14),所述座体(1)的右侧开口处通过螺钉固定安装有第二密封端盖(15),且第二密封端盖(15)延伸至座体(1)内的一端上套装有第一密封圈(16)。

3.根据权利要求1所述的一种旋转密封装置,其特征在于:所述座体(1)的左端开设有真空吸出口(17),所述旋转轴(2)位于座体(1)右端内部的一段上依次设有径向真空通道(18)与纵向真空通道(19),且径向真空通道(18)与纵向真空通道(19)相互贯通,所述径向真空通道(18)与真空吸出口(17)的位置相对应。

4.根据权利要求3所述的一种旋转密封装置,其特征在于:所述座体(1)的右端开设有润滑液供应口(20),所述轴环(4)上开设有径向贯穿孔(21),且径向贯穿孔(21)与径向真空通道(18)的位置相对应。

5.根据权利要求1所述的一种旋转密封装置,其特征在于:所述旋转轴(2)套装第一轴承(6)的一段上套装有第一轴用挡圈(22),且第一轴用挡圈(22)位于第一轴承(6)的左右两侧,所述旋转轴(2)套装第二轴承(9)的一段上套装有第二轴用挡圈(23),且第二轴用挡圈(23)位于第二轴承(9)的左右两侧。

6.根据权利要求3所述的一种旋转密封装置,其特征在于:所述旋转轴(2)套装在真空吸盘(13)内的一段上套装有第二密封圈(24),所述真空吸盘(13)内开设有真空吸入口(25),所述真空吸入口(25)与纵向真空通道(19)相互贯通。


技术总结
本实用新型公开了一种旋转密封装置,涉及晶圆加工技术领域。包括座体与旋转轴,所述旋转轴贯穿设置于座体内,所述旋转轴位于座体左端内部的一段从左至右依次套装有第一油封、轴环、第二油封及第一轴承。该旋转密封装置,在使用时,通过真空吸盘吸住晶圆,利用外部电机带动旋转轴转动,使真空吸住的晶圆随之一起旋转,在旋转轴转动的过程中,第一油封、第二油封用于真空密封,第三油封用于隔离外界水及水汽,起到保护第一轴承和第二轴承的目的,能够大大提高密封性,达到良好密封性能的效果,避免了晶圆清洗时,旋转轴与座体的连接部容易进水,从而导致旋转轴与座体配合不佳、影响旋转速度进而导致使用寿命短的问题。

技术研发人员:丁云鑫
受保护的技术使用者:杭州芯研科技有限公司
技术研发日:2020.03.25
技术公布日:2020.11.03
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