一种冷却式不锈钢进气管的制作方法

1.本实用新型涉及一种冷却式不锈钢进气管，属于化学气相沉积技术领域。


背景技术：

2.化学气相沉积法是一种被广泛应用于材料制备的工艺方法，一般其生产温度高，大多数工艺的生产温度都在1000℃以上，这就对沉积炉各部位的耐高温性及冷却系统有较高的要求。沉积炉的生产气体通过不锈钢进气管进入炉内，因此不锈钢进气管有一部分也会处在高温环境中，这样的高温容易导致不锈钢进气管损坏，如何将不锈钢进气管上的热量及时传递出去是急需解决的问题。有鉴于此，设计一种冷却式不锈钢进气管，通过冷却水循环，带走进气管上的热量，降低高温环境对进气管的损伤。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本实用新型提供一种冷却式不锈钢进气管，通过冷却水循环，带走进气管上的热量，降低高温环境对进气管的损伤。
4.本实用新型的技术方案如下：
5.一种冷却式不锈钢进气管，包括进气管、进水管和出水管，进气管、进水管和出水管均为中空圆柱体，进水管套装于进气管外侧，进水管两端密封，进水管下端设置进水口，进水管上端设置贯穿水孔，保证冷却水可以从水孔流入出水管，出水管套装于进水管外侧，出水管两端密封，出水管下端设置出水口，出水管上端端面与进水管上端端面平齐。
6.优选的，进水管长度小于进气管长度，出水管长度小于进水管长度。
7.进一步优选的，进气管长度为500mm，进水管长度为450mm，出水管长度为400mm。
8.优选的，进水管内壁到进气管外壁的距离大于出水管内壁到进水管外壁的距离，保证冷却水能到达进水管顶端，漫过水孔高度，完全充满管腔，将进气管上端的热量及时带走。
9.优选的，进水管内上端和下端均设置固定环a，固定环a为圆环，固定环a的环宽与进水管内壁到进气管外壁的距离相同，出水管内上端和下端均设置固定环b，固定环b的环宽与出水管内壁到进水管外壁的距离相同，保证进气管、进水管和出水管同轴，防止因加工过程中出现中心轴偏移而造成同一圆周上水流不均的现象。
10.优选的，进水口和出水口均为中空圆柱体，进水口一端连接进水管下端，另一端连接自来水管，出水口一端连接出水管下端，另一端通过管道连接至冷却水池。
11.优选的，进水管上端设置4个环绕的贯穿水孔。
12.本实用新型的有益效果在于：
13.1、本实用新型通过冷却水循环，带走进气管上的热量，降低高温环境对进气管的损伤，提高使用寿命。
14.2、本实用新型的进水管内壁到进气管外壁的距离大于出水管内壁到进水管外壁的距离，保证冷却水能到达进水管顶端，漫过水孔高度，完全充满管腔，将进气管上端的热
量及时带走。
15.3、本实用新型通过固定环a和固定环b保证进气管、进水管和出水管同轴，防止因加工过程中出现中心轴偏移而造成同一圆周上水流不均的现象。
附图说明
16.图1为本实用新型的剖面示意图；
17.图2为本实用新型的水孔处剖面示意图；
18.图3为本实用新型的进水管上端放大图；
19.其中：1、进气管；2、进水管；3、出水管；4、进水口；5、出水口；6、固定环a；7、固定环b；8、水孔。
具体实施方式
20.下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。
21.实施例1：
22.如图1
‑
3所示，本实施例提供一种冷却式不锈钢进气管，包括进气管1、进水管2和出水管3，进气管1、进水管2和出水管3均为中空圆柱体，进水管2套装于进气管1外侧，进水管2两端密封，进水管2下端设置进水口4，进水管2上端设置贯穿水孔8，保证冷却水可以从水孔流入出水管3，出水管3套装于进水管2外侧，出水管3两端密封，出水管3下端设置出水口5，出水管3上端端面与进水管2上端端面平齐。
23.进水管2长度小于进气管1长度，出水管3长度小于进水管2长度，进气管1长度为500mm，进水管2长度为450mm，出水管3长度为400mm，进水管2内壁到进气管1外壁的距离大于出水管3内壁到进水管2外壁的距离，保证冷却水能到达进水管顶端，漫过水孔高度，完全充满管腔，将进气管上端的热量及时带走。
24.实施例2：
25.一种冷却式不锈钢进气管，结构如实施例1所述，不同之处在于，进水管2内上端和下端均设置固定环a6，固定环a6为圆环，固定环a6的环宽与进水管2内壁到进气管1外壁的距离相同，出水管3内上端和下端均设置固定环b7，固定环b7的环宽与出水管3内壁到进水管2外壁的距离相同，保证进气管、进水管和出水管同轴，防止因加工过程中出现中心轴偏移而造成同一圆周上水流不均的现象。
26.实施例3：
27.一种冷却式不锈钢进气管，结构如实施例1所述，不同之处在于，进水口4和出水口5均为中空圆柱体，进水口4一端连接进水管2下端，另一端连接自来水管，出水口5一端连接出水管3下端，另一端通过管道连接至冷却水池。
28.实施例4：
29.一种冷却式不锈钢进气管，结构如实施例1所述，不同之处在于，进水管2上端设置4个环绕的贯穿水孔8。