接头的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种法兰式管接头等的接头。
【背景技术】
[0002]众所周知，作为接头，具备具有相互连通的流体通路的第一接头部件及第二接头部件、介于两接头部件的对接端面间的密封部件，以及连接两接头部件的螺丝装置。
[0003]在这种接头中被称作法兰式管接头的接头，其各接头部件由套管和法兰构成，法兰间由多个螺栓连接，从而使接头部件彼此连接。在这样的法兰式管接头中，具有在任意一个法兰上设置螺孔，仅使用螺栓进行结合的结构(专利文献I)。
[0004]此外，被称作集积化流体控制装置的流体控制装置中，使用与法兰式管接头类似的接头构造。例如，在专利文献2的图3中，公开了一种接头，其使用螺栓来连接标记有附图标记24、31的块状接头(第一接头部件)与标记有附图标记21、26的主体(第二接头部件)。由于这种流体控制装置使用于半导体的制造装置，因此对于不产生形成为颗粒的微粒和不降低密封性的方面，对接头要求有极高水准。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本专利公开2013-68268号公报
[0008]专利文献2:日本专利公开2002-89798号公报
【发明内容】
[0009](一 )要解决的技术问题
[0010]在上述现有的接头中，由于在紧固螺栓时在法兰上产生的弯曲应力，会发生使法兰的一部分变形，并向外侧凸起的现象。凸起的部分成为产生微粒和密封性降低的原因。
[0011]本发明的目的在于提供一种即使产生弯曲应力也不会在法兰上产生凸起部分的接头。
[0012](二)技术方案
[0013]本发明的接头具备具有相互连通的流体通路的第一接头部件及第二接头部件、介于两接头部件的对接端面间的密封部件，以及连接两接头部件的装置，本发明的接头的特征在于，至少其中一个接头部件由内周形成为通路的套管和作为与其分开的另外部件的法兰构成，在设置于法兰中央部的贯通孔中插入套管的一个端部，在法兰上设置有从法兰的侧面通向贯通孔外周的切口。
[0014]根据法兰的形状，在适当的位置设置一个或多个(优选为多个)切口。法兰为长方体状的情况下，切口例如可以在长度较长的两个面上各设置一个。
[0015]作为进行连接的装置，例如使用螺栓。螺栓可以为在轴部几乎整个长度上形成有外螺纹的市售产品，但是也存在具有如下轴部的情况，该轴部在前端部分形成有外螺纹而在剩余部分不形成外螺纹。
[0016]作为第一实施方式，第一接头部件及第二接头部件均由套管和作为与其分开的另外部件的法兰构成，这种情况下，在各接头部件上，形成有对接端面侧的轴插通孔及与其相连并延伸至相反对接端面的螺孔，来作为插入螺栓的孔，螺栓优选设为具有在前端部分形成有外螺纹而剩余部分不形成外螺纹的轴部的结构。由此，能够将现有不同形状的两个接头部件做成同一形状。
[0017]该第一实施方式的接头例如适用于法兰式管接头，但并不限定于此，也可以适用于接合两个部件的各种用途。
[0018]作为第二实施方式，第一接头部件及第二接头部件中的一个由两个部件(套管及法兰)构成，另外一个由一个部件构成。这种情况下，由两个部件构成的接头部件优选与第一实施方式的接头部件为相同形状。在由一个部件构成的接头部件上至少形成有螺孔，可以设置切口，也可以不设置切口。
[0019]该第二实施方式的接头例如适用于被称作集积化流体控制装置的半导体制造装置用流体控制装置，但并不限定于此，也可以适用于接合两个部件的各种用途。
[0020](三)有益效果
[0021]根据本发明的接头，向设置于法兰中央部的贯通孔中插入套管的一端部，在法兰上设置至少一个通向贯通孔外周的切口，因此对于紧固螺栓时所产生的弯曲应力，不会在法兰上产生凸起部分。由此，在接头部件间的对接部分上产生微粒的原因消除，此外，通过增加法兰的弹性，能够防止螺栓的松动，从而密封性降低的原因消除。
【附图说明】
[0022]图1为表示本发明的接头的第一实施方式的纵向剖视图。
[0023]图2为表示在本发明的接头中使用的法兰的纵向剖视图。
[0024]图3为表示法兰的变形例的纵向剖视图。
[0025]图4为表示法兰其他变形例的纵向剖视图。
[0026]图5为表示本发明的接头的第二实施方式的纵向剖视图。
[0027]图6为说明作用于根据本发明的接头的力的纵向剖视图。
[0028]附图标记说明
[0029]1、10—接头；2、3—接头部件；4一衬垫；5—螺栓；11 一套管；12—法兰；12a—贯通孔；14一轴部；14a—螺丝；14b—剩余部分；15—轴插通孔；16一螺孔；17、19一切口 ；19a—挖空部；21—接头部件。
【具体实施方式】
[0030]参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0031]图1及图2表示本发明的接头的第一实施方式，接头(I)具备具有相互连通的流体通路的第一接头部件(2)及第二接头部件(3)、介于两接头部件(2、3)之间的圆环状衬垫
(4)，以及连接两接头部件(2、3)的多个(一个或多个)螺栓(5)。
[0032]各接头部件(2、3)由内周形成为流体通路的圆筒状套管(11)及作为与其分开的另外部件的长方体块状法兰(12)构成，对接的套管(11)及法兰(12)均为同一形状。
[0033]衬垫(4)保持在紧固器(6)中，紧固器(6)通过由圆形截面的金属制线材形成为C字状的止动环(7)保持在第二(图中表示为下侧)接头部件(3)中。
[0034]各螺栓(5)由形成有六角孔的头部(13)和轴部(14)构成，轴部(14)在前端部分形成有螺纹(14a)，剩余部分(14b)上不形成螺纹。
[0035]各接头部件(2、3)的套管(11)相互对接，在其对接端部的外周设置有法兰部(11a)，在对接端面上形成用于容纳衬垫(4)以及紧固器(6)的凹槽(11b)。
[0036]各接头部件(2、3)的法兰(12)具有由套管(11)插通的贯通孔(12a)，在与套管
(11)嵌合的状态下相互对接。在法兰(12)的对接端部的内周，以连接贯通孔(12a)的对接端部的方式形成有凹槽(12b)，该凹槽(12b)嵌入有套管(11)的法兰部(11a)。在法兰
(12)的对接端部上，如图2所示，设置有从长度较长的各侧面通向凹槽(12b)外周的切口
(17)。从法兰(12)的长度较长的侧面观察，切口(17)为方形。
[0037]在法兰(12)上，作为插入螺栓(5)的孔，形成为对接端面侧的轴插通孔(15)及与其相连并延伸至相反对接端面的螺孔(16)。轴插通孔(15)的长度与螺孔(16)的长度大致相同。螺栓(5)的长度为轴插通孔(15)的长度加上螺孔(16)的长度的大约2倍，螺栓
(5)的螺纹(14a)的长度