与现有技术相比，本发明的有益效果:
[0019]由于设置了组合体，第一组合件与第二组合件之间的配合面相对于微动平台运动装置的运动方向倾斜设置，直接提高了本申请微位移平台的位移精度。
[0020]【附图说明】:
[0021]图1为本发明结构示意图，
[0022]图中标记:
[0023]1-运动装置，2-组合体，3-第一组合件，4-第二组合件，5-约束装置。
【具体实施方式】
[0024]下面结合试验例及【具体实施方式】对本发明作进一步的详细描述。但不应将此理解为本发明上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本
【发明内容】
所实现的技术均属于本发明的范围。
[0025]实施例1，
[0026]如图所示的新型行程换精度的微位移平台，包括有运动装置1、组合体2和约束装置5，所述组合体2包括有第一组合件3和滑动设置在所述第一组合件3上的第二组合件4，所述第一组合件3与第二组合件4之间紧密贴合，所述第二组合件4与所述运动装置I紧密连接，所述第一组合件3与第二组合件4的配合面相对于所述运动装置I的运动方向倾斜设置，所述约束装置5限制所述第一组合件3沿运动装置I运动方向上的移动，所述第一组合件3第二组合件4之间配合面与运动装置I运动方向的夹角A为5度。
[0027]在本实施例中，由于设置了组合体2，第一组合件3与第二组合件4之间的配合面相对于运动装置I的运动方向倾斜设置，在微动平台工作时，运动装置I提供一定的位移量驱动第二组合件4，第一组合件3沿与第二组合件4的配合面滑动，此时，由于约束装置5限制第一组件3沿运动装置I运动方向上的移动，所以，第一组合件3在垂直于运动装置I运动方向上将产生一定的位移量，该位移量与运动装置I的位移量相关，还与第一组合件3第二组合件4之间配合面与运动装置I运动方向的夹角相关。即，设第一组合件3第二组合件4之间配合面与运动装置I运动方向的夹角为5度，当运动装置I提供的位移量为X时，第一组合件4在垂直于运动装置I运动方向上产生的位移量即为Y=Xtan(5)，如此，得到一个较小的位移量Y，使得在本实施例的方案中，通过以行程换精度的方式，直接提高了本申请微位移平台的精度。
[0028]实施例2，
[0029]如图所示，如实施例的新型行程换精度的微位移平台的结构，所述第一组合件3和第二组合件4为相互吸引的磁性件，所述运动装置为压电陶瓷型微位移平台。
[0030]在本实施例中，将第一组合件3和第二组合件4中的一个或者两个设置为磁性件，第一组合件3和第二组合件4能够相互吸引，使得第二组合件4在被驱动时，能够保持与第一组合件3紧密贴合，保证本申请微位移平台的精度；压电陶瓷能够将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料，其在电场作用下产生的形变量很小，最多不超过本身尺寸的千万分之一的微位移，具有良好的往复形变恢复能力，稳定性好、精度高，进一步的提高了本申请微位移平台的精确性和可靠性。
[0031]实施例3
[0032]一种用于新型行程换精度的微位移平台的使用方法，步骤如下:
[0033]步骤一:通过约束装置5限制所述第一组合件3沿运动装置I运动方向上的运动。
[0034]步骤二:根据第一组合件3的需求位移量，计算第二组合件4的位移量。通过运动装置I驱动第二组合件4运动，通过第一组合件3与第二组合件4的相互作用，使第一组合件3在垂直于第二组合件4的运动方向上运行，位移量为第一组合件的需求位移量。
[0035]以上实施例仅用以说明本发明而并非限制本发明所描述的技术方案，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本发明已进行了详细的说明，但本发明不局限于上述【具体实施方式】，因此任何对本发明进行修改或等同替换；而一切不脱离发明的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
【主权项】
1.一种新型行程换精度的微位移平台，其特征在于，包括有运动装置、组合体和约束装置，所述组合体包括有第一组合件和滑动设置在所述第一组合件上的第二组合件，所述第一组合件与第二组合件之间紧密贴合，所述第二组合件与所述运动装置紧密连接，所述第一组合件与第二组合件的配合面相对于所述运动装置的运动方向倾斜设置，所述约束装置限制所述第一组合件在运动装置运动方向上的移动。2.如权利要求1所述的新型行程换精度的微位移平台，其特征在于，所述第一组合件第二组合件之间配合面与运动装置运动方向的夹角为A度，O < A < 45。3.如权利要求1或2所述的新型行程换精度的微位移平台，其特征在于，所述第一组合件和/或第二组合件为相互吸引的磁性件。4.如权利要求1或2所述的新型行程换精度的微位移平台，其特征在于，所述微位移平台为压电陶瓷型微位移平台。
【专利摘要】本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种新型行程换精度的微位移平台，包括有运动装置和组合体，所述组合体包括有第一组合件和第二组合件，所述第一组合件与第二组合件之间紧密贴合，所述第一组合件为微位移运动部件，所述第二组合件与所述运动装置紧密连接，所述第一组合件与第二组合件的配合面相对于所述运动装置的运动方向倾斜设置。本申请的方案中，通过以行程换精度的方式，直接提高了本申请微位移平台的位移精度。
【IPC分类】G12B5/00
【公开号】CN204706354
【申请号】CN201520423380
【发明人】张白, 康学亮
【申请人】北方民族大学
【公开日】2015年10月14日
【申请日】2015年6月18日