一种充装气路分配装置的制作方法

本实用新型属于充装气路技术领域，具体涉及一种充装气路分配装置。

背景技术：

气体分配装置，包括：进气板、嵌入式分配板和下分配板；其中，所述进气板设有进气通路、以及与进气通路连通的容置部，所述嵌入式分配板嵌入容置部内；所述嵌入式分配板具有分配通路并且与容置部之间具有间隙；下分配板位于进气板的下面，将嵌入式分配板封装在所述容置部内。相应的，本发明还公开了一种采用所述气体分配装置的等离子体处理设备。所述的气体分配装置结构简单，对加工精度的要求较低，能够降低制造成本。

现有气路分配装置的密闭性较差，导致经常漏气，以及在分配气路时，不能随时更换多组气路输送。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种充装气路分配装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种充装气路分配装置，包括容纳管体、出气管和分配管，所述容纳管体内部设置有容纳腔，并且容纳腔呈圆柱状结构，所述容纳管体周侧顶端面设置有n组出气管，并且所述出气管贯穿容纳管体内部，n组所述出气管一侧面均设置有压力表，所述压力表一侧并且位于出气管前侧面设置有阀门手柄；

所述容纳管体内部容纳腔的底端面内壁开设有矩形槽，所述矩形槽内竖直向上设置有n组压缩弹簧，n组所述压缩弹簧远离矩形槽的一端设置有承接板，并且所述承接板位于矩形槽内，所述容纳管体的容纳腔顶端面内壁设置有第一阶梯台，所述容纳管体的容纳腔内插接有分配管，所述分配管底端面设置有与矩形槽配合滑动的滑板，并且位于所述分配管周侧顶端面设置有与第一阶梯台配合使用的第二阶梯台，所述容纳管体内壁且位于n组出气管与第一阶梯台之间均设置有通管，所述第二阶梯台顶端面设置有与通管配合使用的通孔，且采用密封连接，所述分配管内部设置有与通孔连接的第一管道，所述分配管一端内壁设置有内螺纹。

优选的，所述分配管内螺纹连接有过滤网，所述过滤网远离第二阶梯台的一侧并且位于分配管内部螺纹连接有连接板，并且所述连接板内横向设置有n组与分配管内部第一管道连接的第二管道。

优选的，所述阀门手柄贴近出气管的一侧面中心位置套接有销轴，所述销轴远离阀门手柄的一侧焊接有圆盘，并且所述圆盘的直径尺寸与出气管内圈的直径尺寸相同。

优选的，所述容纳管体外壁一侧横向开设有凹槽，所述凹槽内滑动连接有第一安装板，所述第一安装板上设置有凹槽配合使用的滑块，所述第一安装板上螺纹贯穿连接有n组紧固螺栓。

优选的，所述容纳管体一侧面螺纹连接有第二安装板，所述第二安装板呈圆盘状结构，并且环形阵列开设有n组内螺纹孔。

本实用新型的技术效果和优点：该充装气路分配装置，通过设置压缩弹簧、矩形槽、承接板和分配管，分配管通过滑板与矩形槽滑动安装，压缩弹簧和承接板能够有效的将分配管支撑起，使得通孔与通管连接，具有密封防漏气的效果；通过设置通管、通孔、连接板、第一管道第二管道，连接板连接分配管，使得气体从第二管道通入第一管道和通孔内，便于气体的分配输送；通过设置第一阶梯台和第二阶梯台，使得分配管在容纳管体内能够有效的配合连接，第一阶梯台和第二阶梯台起到限位的作用；该充装气路分配装置，具有气体分配输送和密封防漏气的效果，便于使用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的阀门手柄连接结构示意图；

图3为本实用新型的第一安装板结构示意图；

图4为本实用新型的分配管结构示意图。

图中：1容纳管体、2出气管、3分配管、4第二安装板、5内螺纹孔、6压力表、7阀门手柄、8凹槽、9矩形槽、10销轴、11圆盘、12第一安装板、13紧固螺栓、14通管、15第一阶梯台、16第二阶梯台、17压缩弹簧、18承接板、19过滤网、20连接板、21第二管道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-4所示的一种充装气路分配装置，包括容纳管体1、出气管2和分配管3，所述容纳管体1内部设置有容纳腔，并且容纳腔呈圆柱状结构，所述容纳管体1周侧顶端面设置有n组出气管2，并且所述出气管2贯穿容纳管体1内部，n组所述出气管2一侧面均设置有压力表6，所述压力表6一侧并且位于出气管2前侧面设置有阀门手柄7；

所述容纳管体1内部容纳腔的底端面内壁开设有矩形槽9，所述矩形槽9内竖直向上设置有n组压缩弹簧17，n组所述压缩弹簧17远离矩形槽9的一端设置有承接板18，并且所述承接板18位于矩形槽9内，所述容纳管体1的容纳腔顶端面内壁设置有第一阶梯台15，所述容纳管体1的容纳腔内插接有分配管3，所述分配管3底端面设置有与矩形槽9配合滑动的滑板，并且位于所述分配管3周侧顶端面设置有与第一阶梯台15配合使用的第二阶梯台16，所述容纳管体1内壁且位于n组出气管2与第一阶梯台15之间均设置有通管14，所述第二阶梯台16顶端面设置有与通管14配合使用的通孔，且采用密封连接，所述分配管3内部设置有与通孔连接的第一管道，所述分配管3一端内壁设置有内螺纹，通过设置压缩弹簧17、矩形槽9、承接板18和分配管3，分配管3通过滑板与矩形槽9滑动安装，压缩弹簧17和承接板18能够有效的将分配管支撑起，使得通孔与通管14连接，具有密封防漏气的效果。

具体的，所述分配管3内螺纹连接有过滤网19，所述过滤网19远离第二阶梯台16的一侧并且位于分配管3内部螺纹连接有连接板20，并且所述连接板20内横向设置有n组与分配管3内部第一管道连接的第二管道21，过滤网19可以防止灰尘进入，连接板20连接分配管3，使得气体从第二管道21通入第一管道和通孔内，便于气体的分配输送。

具体的，所述阀门手柄7贴近出气管2的一侧面中心位置套接有销轴10，所述销轴10远离阀门手柄7的一侧焊接有圆盘11，并且所述圆盘11的直径尺寸与出气管2内圈的直径尺寸相同，阀门手柄7通过销轴10的进行转动，带动圆盘11进行空气气体流量。

具体的，所述容纳管体1外壁一侧横向开设有凹槽8，所述凹槽8内滑动连接有第一安装板12，所述第一安装板12上设置有凹槽8配合使用的滑块，所述第一安装板12上螺纹贯穿连接有n组紧固螺栓13，便于容纳管体1贴墙安装。

具体的，所述容纳管体1一侧面螺纹连接有第二安装板4，所述第二安装板4呈圆盘状结构，并且环形阵列开设有n组内螺纹孔5，内螺纹孔5内螺纹连接有螺栓进行安装容纳管体1。

具体的，该充装气路分配装置，分配管3通过滑板与矩形槽9滑动安装，压缩弹簧17和承接板18能够有效的将分配管支撑起，将通孔与通管14连接，过滤网19可以防止灰尘进入，连接板20连接分配管3，气体从第二管道21通入第一管道和通孔内，阀门手柄7通过销轴10的进行转动，带动圆盘11进行空气气体流量，第一安装板12和第二安装板4进行安装容纳管体1。该充装气路分配装置，具有气体分配输送和密封防漏气的效果，便于使用。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。