内置平衡腔室的薄膜隔离型表压传感器的制作方法与工艺

文档序号:12013754阅读:来源:国知局
技术总结
一种内置平衡腔室的薄膜隔离型表压传感器,解决了现有大气参考压端开放的传感器存在的一直无法克服的对传感器造成侵害、影响其正常使用的老大难问题,其技术要点是:力敏元件壳体的上部与外连电路板连接座之间连通大气参考压端的空腔中,内置带有薄膜型隔离膜的大气压自动补偿平衡腔室,被薄膜型隔离膜分隔的腔体下部,与力敏元件壳体的下部导压腔体相互连通,形成封闭的导压腔,腔体上部与大气参考压端连通。其结构紧凑,设计合理,制造容易,操作安全可靠,既可以隔离传感器与外界环境,又能自动平衡大气压力,有效地防止结露和腐蚀等对传感器造成的侵害,提高传感器的稳定性、防护等级和防爆等级,确保传感器正常使用,延长其使用寿命。

技术研发人员:段祥照;贾文娟;刘爽
受保护的技术使用者:沈阳市传感技术研究所
文档号码:201410450247
技术研发日:2014.09.05
技术公布日:2017.01.25

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1