振动模组以及陀螺仪的制作方法

文档序号:12711051阅读:来源:国知局
技术总结
一种振动模组,设置在XY平面内,包括一谐振部件,所述谐振部件设置在一悬臂梁的末端,所述振动模组还包括一弹性限位部件,所述谐振部件通过所述弹性限位部件以及悬臂梁与外部的固定部件连接;在所述谐振部件处于沿Z方向的振动状态下,所述悬臂梁为谐振部件提供的第一限制力,所述弹性限位部件为所述谐振部件提供第二限制力,所述第一限制力和第二限制力的合力的作用位置与所述谐振部件的质心重合,所述谐振部件的振动方向一致。

技术研发人员:裘进;郭慧芳
受保护的技术使用者:上海矽睿科技有限公司
文档号码:201510915890
技术研发日:2015.12.10
技术公布日:2017.06.20

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