用于对气体样品中的气体的浓度进行测量的设备的制作方法

技术特征：

1.一种用于对气体样品中的气体的浓度进行测量的设备，包括：

用于所述气体样品的至少一个流通腔室(12)；

光源(14)，其将光发射至所述流通腔室中，所述光为波长在气体吸收频谱内的光；

用于对所述流通腔室的入口处的光能量进行检测的第一检测装置(16)；

用于对所述流通腔室的出口处的光能量进行检测的第二检测装置(17)；以及

计算装置，其接收来自所述第一检测装置的输出信号和来自所述第二检测装置的输出信号，并且输出所述气体的浓度，

其特征在于，所述设备还包括调节装置(60)，所述调节装置(60)接收来自所述第一检测装置的输出信号；并且

所述调节装置(60)根据来自所述第一检测装置的输出信号对所述光源的至少一个操作参数进行调节以使得所述流通腔室的入口处的光能量在操作期间基本上恒定。

2.根据权利要求1所述设备(10)，其特征在于，所述调节装置(60)调节：

所述光源(14)的供电电压和/或供电电流，和/或

所述光源(14)的温度。

3.根据权利要求1或2所述的设备(10)，其特征在于，所述光源包括LED(14)，所述LED(14)发射波长在220nm与290nm之间的辐射。

4.根据权利要求1或2所述的设备(10)，其特征在于，所述第一检测装置(16)被安装在所述流通腔室(12)的入口附近。

5.根据权利要求1或2所述的设备(10)，其特征在于：

所述第一检测装置(16)被定向成使得能够在不修改所述光源(14)所发射的光的光路径的情况下检测所述流通腔室(12)入口处的光能量，或者

至少一个光学元件被安装在所述光源(14)的下游以将所述光源所发射的一部分光能量转向所述第一检测装置(16)。

6.根据权利要求1或2所述的设备(10)，其特征在于，所述第二检测装置(17)被安装在所述流通腔室(12)的出口附近。

7.根据权利要求6所述的设备(10)，其特征在于，所述设备包括第二腔室(12')和用于所述气体样品的第一腔室，每个腔室包括入口和出口，所述第一腔室是所述流通腔室(12)，其中，所述光源(14)位于所述第一腔室和所述第二腔室的入口附近，其中，所述第一检测装置(16)处于所述第二腔室的出口处，并且所述第二检测装置(17)处于所述第一腔室的出口处。

8.根据权利要求1或2所述的设备(10)，其特征在于，所述第一检测装置和所述第二检测装置包括光电二极管(16，17)。

9.根据权利要求1或2所述的设备(10)，其特征在于，所述设备包括使用直流电流或脉冲电流为所述光源(14)供电的装置(56)。

10.根据权利要求1所述的设备(10)，其特征在于，所述气体样品中的气体为臭氧。

11.根据权利要求5所述的设备(10)，其特征在于，所述至少一个光学元件为倾斜分隔叶状件(38)。