技术总结
本发明涉及具有偏侈补偿的Z‑轴加速度计。跷跷板型加速度计包括一个或多个平台，其被配置以随衬底和/或锚的变形按比例移动。平台可以处于相对于衬底的固定位置，例如通过固定地附着到锚上或通过固定地附着到衬底上，或者平台相对于衬底可以是可移动的，例如通过栓接到锚上以使得平台相对于锚枢轴转动。电极被放置于平台下层的衬底上，用于感应平台相对于下层衬底的位置。跷跷板检测质量块被配置为使得其能够相对于平台旋转，例如通过栓接到平台上或者通过栓接到与平台分离的一个或多个锚上。基于来自这些平台‑传感电极的信号对加速度计的输出进行调整，以减少或消除偏移误差。
技术研发人员：张江龙
受保护的技术使用者：美国亚德诺半导体公司
文档号码：201610225944
技术研发日：2016.04.13
技术公布日：2017.01.04