技术总结
本发明提供了一种ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法，包括：第一步骤：按照待测芯片的尺寸大小，制造与待测芯片尺寸相同的铜块；第二步骤：将铜块置于测试夹具内，夹具的各测试探针与铜块接触；第三步骤：针对各个ATE测试资源通道，采用施流测压方式和/或施压测流方式来测试并计算测量线路等效电阻；第四步骤：在测量待测信号时，将ATE测试资源通道的相应的测量线路等效电阻作为误差，从在最终测量值中去除所述误差的相关数值以得到校准后的测量结果。
技术研发人员：钭晓鸥;余琨;王华;邓维维;郝丹丹;叶建明
受保护的技术使用者：上海华岭集成电路技术股份有限公司
文档号码：201610470115
技术研发日：2016.06.23
技术公布日：2016.11.23