技术总结
本发明公开了一种应变式传感器,该应变式传感器包括弹性基体、绝缘介质层和导电膜层,电阻桥路设置在所述导电膜层上,所述导电膜层和所述绝缘介质层上设置有绝缘保护层。本发明还公开了一种制作该应变式传感器的方法,包括以下步骤:一、弹性基体的预处理;二、导电膜层的预处理;三、制作层压板;四、刻蚀电阻桥路;五、形成绝缘保护层;六、分割,能够一次完成多个应变式传感器的制作。本发明结构简单、设计合理、制作方法简便、制作效率高且使用效果好,能够一次完成多个应变式传感器的制作,提高应变式传感器的稳定性和精度,生产效率得到显著提高,具有广泛的应用和推广价值。
技术研发人员:迈克尔·奥特文;谷荣祥;郭和平;万桦坪
受保护的技术使用者:西安中星测控有限公司
文档号码:201610795526
技术研发日:2016.08.31
技术公布日:2016.12.21