一种双质量块音叉式角速率陀螺仪的制作方法

文档序号:12591355阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片,中层单晶硅片上设有陀螺机械结构,所述陀螺机械结构包括质量块连接机构(2)、两个子结构(1)、两个桁架与水平直梁的组合机构(3)、两个U型梁组合梁(4)、八个第一U型梁(6)和四个直梁(12),所述两个子结构(1)对称分布在质量块连接机构(2)和两个桁架与水平直梁的组合机构(3)的两侧,质量块连接机构(2)和两个桁架与水平直梁的组合机构(3)呈直线分布,且质量块连接机构(2)位于两个桁架与水平直梁的组合机构(3)之间,第一U型梁(6)沿子结构(1)的长边设置,且位于长边的两端,桁架与水平直梁的组合机构(3)通过第一U型梁(6)与子结构(1)连接,U型梁组合梁(4)沿子结构(1)的长边设置,且位于远离质量块连接机构(2)一侧的两个第一U型梁(6)的中间;直梁(12)沿子结构(1)宽度方向设置,用于连接子结构(1)两侧的第一U型梁(6)。

2.根据权利要求1所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:位于子结构(1)同一侧的两个U型梁(6)开口方向相对。

3.根据权利要求1所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:所述质量块连接机构(2)包括十字梁(201)和4个第二U型梁(202),十字梁(201)宽度方向的两端分别通过两个开口相对设置的第二U型梁(202)与子结构(1)连接,十字梁(201)长度方向的两端均与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固。

4.根据权利要求3所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:所述两个开口相对设置的第二U型梁(202)的开口端相连。

5.根据权利要求1所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:所述桁架与水平直梁的组合机构(3)包括V型桁架(301)和水平直梁(302),V型桁架(301)的顶点与水平直梁(302)中心连接,水平直梁(302)与质量块连接机构(2)同侧,V型桁架(301)的两个自由端与第一U型梁(6)封闭端侧壁连接,水平直梁(302)两端均与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固。

6.根据权利要求1所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:所述U型梁组合梁(4)包括两个第三U型梁(401),两个第三U型梁(401)开口端相连,连接处外壁与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固。

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