1.一种基于图像处理的晶圆检测装置，其特征在于：包括计算机(1)、固定装置(2)、相机(3)、设置于所述相机(3)上的显微筒镜(4)、光源(5)、三维平台(6)、电机控制机箱(7)以及设置到所述显微筒镜(4)底部的显微物镜(8)，所述相机(3)位于所述显微筒镜(4)的顶端，且所述相机(3)和显微筒镜(4)连接并固定在所述固定装置(2)上且位于所述固定装置(2)的一侧，所述光源(5)位于所述显微筒镜(4)的一侧且接入所述显微筒镜(4)，且所述光源(5)与所述相机(3)相连接，所述三维平台(6)位于所述显微筒镜(4)的下侧，且所述显微物镜(8)与所述三维平台(6)的载物台正对，所述相机(3)与所述计算机(1)相连接，所述电机控制机箱(7)分别与所述三维平台(6)和计算机(1)相连接。
2.如权利要求1所述的基于图像处理的晶圆检测装置，其特征在于：所述光源(5)为闪烁氙灯，该闪烁氙灯通过光纤接入到所述显微筒镜(4)内。
3.如权利要求2所述的基于图像处理的晶圆检测装置，其特征在于：所述光源(5)通过触发线和所述相机(3)连接。
4.如权利要求1所述的基于图像处理的晶圆检测装置，其特征在于：所述显微筒镜(4)有三个接口，分别为所述相机(3)的接口、用于所述光源(5)导入的导光接口以及所述显微物镜(8)的接口。
5.如权利要求1所述的基于图像处理的晶圆检测装置，其特征在于：所述显微筒镜(4)的调焦距离为1-7倍。
6.如权利要求1所述的基于图像处理的晶圆检测装置，其特征在于：所述固定装置(2)为龙门架。
7.如权利要求1所述的基于图像处理的晶圆检测装置，其特征在于：所述相机(3)为COMS相机。
8.一种基于权利要求1-7任一项所述的基于图像处理的晶圆检测装置的晶圆检测的显微成像与图像处理的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，将待测的晶圆样品放置在所述三维平台(6)的载物台上，使所述显微物镜(8)可以扫描整个所述晶圆样品；
S2，在所述计算机(1)上得到所述晶圆样品在所述相机(3)上成的像，对图像进行调焦，得到清晰地晶圆图像；
S3，移动所述晶圆样品到坐标(0，0)，打开所述光源(5)，通过所述计算机(1)来控制所述三维平台(6)在X轴方向移动，同时所述计算机(1)接受所述相机(3)拍摄到的图像；
S4，X轴扫面完成，通过所述计算机(1)控制所述三维平台(6)在Y轴方向移动一个视域，然后继续在X轴方向移动同时所述计算机(1)接受所述相机(3)拍摄到的图像，以此类推，直到晶圆扫描完成；
S5，利用步骤3和步骤4得到的晶圆图像，利用相邻两幅晶圆图像的互功率谱得到脉冲函数，进一步得到平移参数。