技术总结
本发明公开了一种调整光束倾斜角的方法，包括如下步骤：步骤一：采用准直镜头将光束进行准直，准直后的光束，光束中光线的发散角较小；步骤二：采用角度调节器将准直后的光束调整光束的倾斜角。提高了光束角度的一致性，提高照明视场的均匀性，并且操作简单，提高了生产效率。本发明还公开了一种调整光束倾斜角的照明装置，包括至少一组照明机构，所述照明机构包括沿光线传播方向设置的光源、准直镜头和角度调节器，所述光源发出光束经所述准直镜头调整成为平行光束，然后，光束经过所述角度调节器调节实现光束的角度偏转，入射至待测平板表面，从而实现大角度斜入射照明效果。
技术研发人员：王赛;申永强
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2016.11.25
技术公布日：2018.06.01