一种光栅平行性检测装置的制作方法

文档序号:12725859阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光栅平行性检测装置,其特征在于,包括平行光源(1)、反射镜组(4)、透镜组(5)、镜座(6)、多路镜筒(7)和相机(8);所述透镜组(5)固定在镜座(6)上,透镜组(5)位于反射镜组(4)下方,多路镜筒(7)位于镜座(6)下方,相机(8)位于多路镜筒(7)下方;

待检测的光栅B(2)为系统基准,待检测的光栅A(3)置于光栅B(2)的上方,平行光管位于光栅A(3)和光栅B(2)整体的下方,平行光源(1)发出的光经光栅A(3)和光栅B(2)反射后再经反射镜组(4)反射,经反射镜组(4)反射的光线分别经透镜组(5)透射后经多路镜筒(7)成像在相机(8)上。

2.根据权利要求1所述的一种光栅平行性检测装置,其特征在于,所述反射镜组(4)包括四块反射镜(401),四块反射镜(401)将光栅A(3)和光栅B(2)反射的光分成四个区域反射到透镜组(5)上。

3.根据权利要求2所述的一种光栅平行性检测装置,其特征在于,所述透镜组(5)包括四块透镜(501),四块透镜(501)分别在四块反射镜(401)的反射光光轴上,四块反射镜(401)的反射光分别经四块透镜(501)透射。

4.根据权利要求3所述的一种光栅平行性检测装置,其特征在于,所述多路镜筒(7)包括镜筒本体(701)、设置在镜筒本体(701)内部将镜筒本体(701)圆周分割成四个区的十字分隔板(702)以及每个区域内轴向的分光孔(703);经四块透镜(501)透射的透射光分别经四个分光孔(703)入射到相机(8)上并成像。

5.根据以上任意一项权利要求所述的一种光栅平行性检测装置,其特征在于,所述平行光源(1)出射光线和光栅B(2)的夹角为45°。

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