一种反射镜装夹装置的制作方法

本发明涉及光学精密检测技术领域，具体涉及一种能低应力装夹高精度反射镜的反射镜装夹装置。

背景技术：

高精度反射镜是高精度光学仪器与精密激光器中的重要光学元件。随着高精度光学仪器与精密激光器的快速发展和应用，高精度光学仪器与精密激光器对高精度反射镜的面形要求也越来越高。目前高精度反射镜面形的测试方法是：先通过反射镜装夹装置对反射镜进行装夹固定，再将反射镜装夹装置竖直放置而使反射镜也呈竖直放置，接着再使用干涉仪对呈竖直放置的反射镜的面形进行检测。目前所使用的反射镜装夹装置的结构为：包括由侧框条、顶框条及底框条围成的用以放置反射镜的框架。上述反射镜装夹装置存在的缺点是：框架对反射镜的装夹应力大，导致反射镜的面形变形严重。因而亟需发明一种能低装夹应力装夹反射镜的反射镜装夹装置。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种能低装夹应力装夹反射镜的反射镜装夹装置。

为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：所述的一种反射镜装夹装置，包括由侧框条、顶框条及底框条共同围成用以放置反射镜的框架，在框架的底框条的内侧设置有第一柔性垫片，在底框条中沿其长度方向间隔设置有若干内外贯通底框条的安装孔，在每个安装孔中均设置有用以支撑第一柔性垫片并使第一柔性垫片始终具有向内运动趋势的柔性支撑单元，所述柔性支撑单元的结构为：在安装孔中由框架外向框架内依次设置有外压环、以及用以支撑第一柔性垫片的支杆，在支杆与外压环之间设置有弹簧，弹簧使支杆始终具有向内顶起第一柔性垫片的趋势；当第一柔性垫片上放置有反射镜时，各柔性支撑单元中的支杆在对应弹簧的向内弹力作用下会将反射镜向内顶在顶框条上，使第一柔性垫片与顶框条呈相对夹持状夹住反射镜，从而将反射镜装夹固定在框架中。

进一步地，前述的一种反射镜装夹装置，其中：在安装孔的内壁上设置有内螺纹，在外压环的外壁上设置有外螺纹，外压环通过螺纹配合设置在安装孔中，在外压环的外侧面上设置有用以调节外压环在安装孔中相对位置的调节孔。

进一步地，前述的一种反射镜装夹装置，其中：在外压环内侧的安装孔中设置有限位内压环，在支杆的侧壁上设置有能容纳限位内压环的安装槽，限位内压环的大小及位置即能避免支杆从安装孔中脱落、又不妨碍支杆对第一柔性垫片及反射镜进行弹性支撑。

进一步地，前述的一种反射镜装夹装置，其中：第一柔性垫片由从框架外向框架内依次层叠的铝条及硅胶垫片组成。

进一步地，前述的一种反射镜装夹装置，其中：在顶框条的内侧设置有第二柔性垫片，当第一柔性垫片上放置有反射镜时，各柔性支撑单元中的支杆在对应弹簧的向内弹力作用下会将反射镜向内顶在顶框条内侧的第二柔性垫片上，使第一柔性垫片与第二柔性垫片呈相对夹持状夹住反射镜，从而将反射镜装夹固定在框架中。

进一步地，前述的一种反射镜装夹装置，其中：第二柔性垫片由从框架外向框架内依次层叠的铝条及硅胶垫片组成。

通过上述技术方案的实施，本发明的优点是：通过第一柔性垫片与第二柔性垫片对反射镜进行柔性夹持，并且通过柔性支撑单元对反射镜进行弹性支撑，大大降低了作用于反射镜的装夹应力，进而有效降低了反射镜在被装夹过程中因装夹应力造成面形变形量，使反射镜在装夹过程中的面形变形量得到了有效控制。

附图说明

图1为本发明所述的一种反射镜装夹装置的结构示意图。

图2为图1中所示的H部位的放大示意图。

图3为图1中所示的柔性支撑单元的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。

弹簧使支杆始终具有向内顶起第一柔性垫片的趋势；当第一柔性垫片上放置有反射镜时，各柔性支撑单元中的支杆在对应弹簧的向内弹力作用下会将反射镜向内顶在顶框条上，使第一柔性垫片与顶框条呈相对夹持状夹住反射镜，从而将反射镜装夹固定在框架中。

如图1、图2、图3所示，所述的一种反射镜装夹装置，包括由侧框条1、顶框条2及底框条3共同围成的用以放置反射镜4的框架，在框架的底框条3的内侧设置有第一柔性垫片5，在底框条3中沿其长度方向间隔设置有若干内外贯通底框条3的安装孔6，在每个安装孔6中均设置有用以支撑第一柔性垫片5并使第一柔性垫片5始终具有向内运动趋势的柔性支撑单元7，所述柔性支撑单元7的结构为：在安装孔6中由框架外向框架内依次设置有外压环8、以及用以支撑第一柔性垫片5的支杆9，在支杆9与外压环8之间设置有弹簧10，弹簧10使支杆9始终具有向内顶起第一柔性垫片5的趋势；当第一柔性垫片5上放置有反射镜4时，各柔性支撑单元7中的支杆9在对应弹簧10的向内弹力作用下会将反射镜4向内顶在顶框条2上，使第一柔性垫片5与顶框条2呈相对夹持状夹住反射镜4，从而将反射镜4装夹固定在框架中；在本实施例中，在安装孔6的内壁上设置有内螺纹，在外压环8的外圆周壁上设置有外螺纹，外压环8通过螺纹配合设置在安装孔6中，在外压环8的外侧面上设置有用以调节外压环8在安装孔6中相对位置的调节孔11，这样可以通过调整外压环8在安装孔6中的相对位置来调节弹簧10作用于支杆9的向内弹力，进而对作用于反射镜4的装夹应力进行调节；在本实施例中，在外压环8内侧的安装孔6中设置有限位内压环12，在支杆9的侧壁上设置有能容纳限位内压环12的安装槽13，限位内压环12的大小及位置即能避免支杆9从安装孔6中脱落、又不妨碍支杆9对第一柔性垫片5及反射镜4进行弹性支撑；在本实施例中，第一柔性垫片5由从框架外向框架内依次层叠的铝条及硅胶垫片组成；在本实施例中，在顶框条2的内侧设置有第二柔性垫片14，当第一柔性垫片5上放置有反射镜4时，各柔性支撑单元7中的支杆9在对应弹簧10的向内弹力作用下会将反射镜4向内顶在顶框条2内侧的第二柔性垫片14上，使第一柔性垫片5与第二柔性垫片14呈相对夹持状夹住反射镜4，从而将反射镜4装夹固定在框架中，这样能进一步降低作用于反射镜4的装夹应力，进一步降小反射镜4因装夹应力而形成的面形变形量；在本实施例中，第二柔性垫片14由从框架外向框架内依次层叠的铝条及硅胶垫片组成，其中铝条硬度适当，具备一定的伸展性，其中硅胶垫有足够的弹性，能进一步降低对反射镜的装夹应力；

安装时，先将反射镜4放置在第一柔性垫片5上，在各柔性支撑单元7中弹簧10的向上弹力作用下，各柔性支撑单元7中的支杆9会向内向上将反射镜4顶在顶框条2的第二柔性垫片14上，使第一柔性垫片5与第二柔性垫片14呈相对夹持状夹住反射镜4，从而将反射镜4装夹固定在框架中；在反射镜4装夹过程中，可以通过调节柔性支撑单元7中的外压环8在对应安装孔6中的相对位置来调节弹簧10的向内弹力，进而对作用于反射镜4的装夹应力进行调节，调节十分方便。本发明的优点是：通过第一柔性垫片与第二柔性垫片对反射镜进行柔性夹持，并且通过柔性支撑单元对反射镜进行弹性支撑，大大降低了作用于反射镜的装夹应力，进而有效降低了反射镜在被装夹过程中因装夹应力造成面形变形量，使反射镜在装夹过程中的面形变形量得到了有效控制。