技术总结
本发明涉及一种高灵敏度快速响应热流传感器采用康铜箔片制作曲折的线条，通过电镀工艺在线条上根据一定的规则进行镀铜。当出现沿传感器热阻材料法向的入射热流时，热阻材料上下平面产生温度差，此时差分热电偶会输出信号，由于传感器内的热电堆等效于将所有包含的差分热电偶输出进行累加，可以提高传感器的灵敏度，并且由于热阻材料的厚度较薄，当入射热流很小时，传感器也能够快速做出响应。本发明与传统的圆箔热流传感器相比具有如下优点：传感器体积小，重量轻；传感器为薄片形状，响应快速，并且安装方便，可直接贴于被测表面；传感器灵敏度高，可以覆盖圆箔式热流传感器无法测量的小量程热流；传感器的工艺简单，方便批量化生产。
技术研发人员：李俊;王丰;方静;刘建华;彭泳卿;宋晓慧
受保护的技术使用者：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
文档号码：201611246761
技术研发日：2016.12.29
技术公布日：2017.05.24