基板检测装置的制作方法

文档序号:12445831阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板检测装置,其特征在于:包括:

一机台,定义有一X方向及一Y方向,设有沿该Y方向配置的至少一第一载台及一检测区,该第一载台可沿该Y方向移动地移入该检测区;

至少一取料手臂,可沿该X方向移动地设于该机台;

一取像机构,可沿该X方向移动地设于该机台,包括一取像头;

一检测模组,设于该机台且相对于该检测区;

其中,该至少一取料手臂供各取一基板至该第一载台,该取像头沿该X方向移动且该第一载台沿该Y方向移动而相配合地对该基板取像,该第一载台并将取像后的该基板移至该检测区而由该检测模组进行检测。

2.如权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于:该机台在该Y方向上另设有至少一供对位该基板的XYθ对位机构。

3.如权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于:该基板检测装置包括两个该取料手臂,该两个取料手臂沿该X方向配置。

4.如权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于:该机台另设有至少一第一X方向轨道,该至少一取料手臂可移动地设于该至少一第一X方向轨道。

5.如权利要求4所述的基板检测装置,其特征在于:该机台另设有至少一第一Y方向轨道,该第一载台可移动地设于该至少一第一Y方向轨道,该至少一第一X方向轨道设于该至少一第一Y方向轨道的相对上方。

6.如权利要求5所述的基板检测装置,其特征在于:该机台另设有至少一第二X方向轨道,该取像机构可移动地设于该至少一第二X方向轨道,该至少一第二X方向轨道设于该至少一第一Y方向轨道的相对上方且位于该至少一第一X方向轨道与该检测区之间。

7.如权利要求5所述的基板检测装置,其特征在于:该机台另设有至少一第三X方向轨道,在该至少一第三X方向轨道上可移动地设有一打印装置,在该Y方向上另设有至少一第二Y方向轨道,该至少一第二Y方向轨道及该第一载台位于该至少一第一Y方向轨道的相对两侧,在该至少一第二Y方向轨道可移动地设有一第二载台,该至少一第一X方向轨道延伸至该第二载台的相对上方,该打印装置的移动路径可通过该第二载台,该打印装置沿该至少一第三 X方向轨道移动且该第二载台沿该至少一第二Y方向轨道移动而相配合地对该基板打印。

8.如权利要求7所述的基板检测装置,其特征在于:该机台另设有一收料机构,该收料机构与该第二载台位于该至少一第一Y方向轨道的同一侧,该收料机构包括一置料架、至少一第四X方向轨道及一可移动地设于该至少一第四X方向轨道的置料手臂,该置料手臂供自该第一载台上取经检测后的该基板并置放至该第二载台、并供自该第二载台上取经打印后的该基板并置放至该置料架。

9.如权利要求7所述的基板检测装置,其特征在于:该打印装置呈c形并延设至该第二载台的Z方向上的相对两侧。

10.如权利要求8所述的基板检测装置,其特征在于:该机台在该Y方向上另设有至少一供对位该基板的XYθ对位机构;该基板检测装置包括两个该取料手臂,该两个取料手臂与该XYθ对位机构的移动方向垂直;该机台另设有至少一第二X方向轨道,该取像机构可移动地设于该至少一第二X方向轨道,该至少一第二X方向轨道设于该至少一第一Y方向轨道的相对上方且位于该至少一第一X方向轨道与该检测区之间,该至少一第二X方向轨道高于该至少一第一X方向轨道;该打印装置呈C形并延设至该第二载台的Z方向上的相对两侧;该打印装置与该置料手臂位于该至少一第四X方向轨道的相对两侧;该至少一第四X方向轨道高于该至少一第三X方向轨道。

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