1.一种电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,包括输入共模反馈模块、第一放大模块和第二放大模块;
所述输入共模反馈模块的反相输入端与电容型MEMS惯性传感器的输出端和所述第一放大模块的输入端电连接;所述输入共模反馈模块的反馈输出端与所述电容型MEMS惯性传感器的输出端和所述第一放大模块的输入端电连接;所述输入共模反馈模块的正相输入端接地;
所述第一放大模块的输出端与所述第二放大模块的输入端电连接;
所述第一放大模块还与第一复位信号输入端连接,所述第二放大模块还与第二复位信号输入端连接。
2.根据权利要求1所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,所述输入共模反馈模块包括第一放大器、第一电容C1和第二电容C2;
所述第一放大器的反相输入端分别与所述电容型MEMS惯性传感器的两个输出端电连接,正相输入端接地;
所述第一电容C1的一端连接所述第一放大器的输出端,另一端电连接所述电容型MEMS惯性传感器的第一输出端和所述第一放大模块的输入端;
所述第二电容C2的一端连接所述第一放大器的输出端,另一端电连接所述电容型MEMS惯性传感器的第二输出端和所述第一放大模块的输入端。
3.根据权利要求1所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,所述第一放大模块包括第二放大器、第三电容C3和第四电容C4;
所述第二放大器的反相输入端和正相输入端与所述电容型MEMS惯性传感器的两个输出端电连接;所述第二放大器的正相输出端通过所述第三电容器C3与所述第二放大器的反相输入端电连接;所述第二放大器的反相输出端通过所述第四电容器C4与所述第二放大器的正相输入端电连接;
所述第三电容C3两端和所述第四电容C4两端均还与第一复位信号输入端连接。
4.根据权利要求3所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,所述第二放大模块包括第三放大器、第五电容C5和第六电容C6;
所述第三放大器的正相输出端通过所述第五电容C5与所述第三放大器的反相输入端电连接;所述第三放大器的反相输出端通过所述第六电容C6与所述第三放大器的正相输入端电连接;
所述第五电容C5两端和所述第六电容C6两端均还与第二复位信号输入端连接。
5.根据权利要求4所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,所述第二放大模块还包括第七电容C7和第八电容C8;所述第三放大器的反相输入端通过所述第七电容C7与所述第二放大器的正相输出端电连接;所述第三放大器的正相输入端通过所述第八电容C8与所述第二放大器的反相输出端电连接。
6.根据权利要求1所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,还包括斩波模块;所述斩波模块的输入端与所述电容型MEMS惯性传感器的输出端电连接;所述斩波模块的输出端与所述输入共模反馈模块的输入端和所述第一放大模块的输入端电连接。
7.根据权利要求6所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,所述斩波模块包括多个自举开关;每个所述自举开关的控制信号端与外接控制信号电连接;每个所述自举开关的输入/输出端分别与电容型MEMS惯性传感器的输出端和第一放大模块的输入端电连接。
8.根据权利要求7所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,所述自举开关包括第一NMOS管、第二NMOS管、第三NMOS管、第四NMOS管、第五NMOS管MN5、第六NMOS管、第一PMOS管、第二PMOS管、第三PMOS管、第十一电容C11和反相器INV;
所述第一NMOS管的源极与所述第十一电容C11的第一端、所述第四NMOS管的漏极和所述第五NMOS管的源极电连接;所述第一NMOS管的栅极与所述第一PMOS管的栅极、所述第二PMOS管的栅极、所述第二PMOS管的漏极和所述第六NMOS管的栅极连接;所述第一NMOS管的漏极与所述第六NMOS管的漏极连接,并与所述自举开关的输入端电连接;
所述第一PMOS管的源极接外部电源,所述第一PMOS管的漏极与所述第十一电容C11的第二端电连接;
所述第二PMOS管的源极与所述第十一电容C11的第二端电连接;所述第二PMOS管的漏极还与所述第二NMOS管的漏极电连接;所述第二PMOS管的栅极还与所述第三PMOS管的漏极和所述第二NMOS管的漏极电连接;
所述第二NMOS管的栅极与外部电源连接,所述第二NMOS管的源极与所述第三NMOS管的漏极电连接;
所述第三NMOS管的栅极与所述第四NMOS管的栅极和所述反相器INV的输出端电连接,所述第三NMOS管的源极接地;
所述第四NMOS管的栅极还与所述反相器的输出端电连接,所述第四NMOS管的源极接地,所述第四NMOS管的漏极还与所述第五NMOS管的源极电连接;
所述第五NMOS管的栅极与所述反相器INV的输入端和所述第三PMOS管的栅极电连接,并与所述自举开关的输入端电连接;所述第五NMOS管的漏极还与所述第三PMOS管的漏极电连接;
所述第三PMOS管的源极接外部电源;
所述第六NMOS管的源极作为所述自举开关的输出端。
9.根据权利要求1所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,还包括配平电容模块;所述配平电容模块的输出端与所述电容型MEMS惯性传感器的输出端电连接;所述配平电容模块的输入端与外部信号设备连接。
10.根据权利要求9所述的电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路,其特征在于,所述配平电容模块包括相并联的第九电容C9和第十电容C10。