技术总结
本实用新型涉及一种分析电子级混合气组分含量的装置，包括：取样管路、吹扫管路、抽真空管路以及检测机构，取样管路具有连接电子级混合气气源的连接口，吹扫管路、抽真空管路以及检测机构分别与取样管路相连通；抽真空管路包括抽吸机构、气体抽真空管路，气体抽真空管路连接在取样管路连接检测机构的上游。本实用新型使样品气彻底隔绝空气，不会与空气接触自燃，避免事故发生；样品气不会与空气接触，不会反应产生固体颗粒损坏系统部件；有效排除了空气稀释的干扰，组分含量分析不受影响；样品气不与空气接触，不会发生反应，组分含量完全保留；分析系统有真空装置，分析速度快，减少了样品气用量。
技术研发人员：李平;沈栋;韩琼
受保护的技术使用者：梅塞尔特种气体（苏州）有限公司
文档号码：201621037024
技术研发日：2016.09.05
技术公布日：2017.02.22