一种毛细检测管及真空度检测装置的制作方法

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，特别是涉及一种毛细检测管及真空度检测装置。

背景技术：

物理气相沉积(PVD：Physical Vapor Deposition)技术是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。

PVD技术出现于二十世纪七十年代末，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。最初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。与CVD工艺相比，PVD工艺处理温度低，在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响；薄膜内部应力状态为压应力，更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层；PVD工艺对环境无不利影响，符合现代绿色制造的发展方向。

但是，利用PVD技术来沉积金属时，对腔室内的真空度要求极高，不仅因为微量带氧污染物即可能形成金属氧化物而影响金属的电阻率，而且腔室内的杂质还可能使晶圆受到污染甚至损坏。故在进行物理气相沉积时，会使用毛细检测管实时收集真空腔室内的气体，并通过残余气体分析仪(RGA：residual gas analyzer)进行残余气体检测，以实现监控真空腔室内的真空度，如图1和图2所示。

然而，使用如图1所示的毛细检测管进行真空腔室的真空度监测，当毛细检测管1’将真空腔室内的残余气体带出时，其中的杂质会堆积在毛细检测管1’的内壁上；当回流发生的时，毛细检测管1’内堆积的杂质就会被气流带回到真空腔室内并喷射到晶圆上，因晶圆表面的杂质引起的晶圆产量损失为3％～5％，不良率约为3‰。

现有技术中通常是采用下面几点措施来解决上述技术问题，1.缩短毛细检测管，2.缩短毛细检测管的维护周期时间来净化毛细检测管的内壁，3.缩短毛细检测管的使用寿命；但采用上述方法存在以下缺点：

1.减小了毛细检测管的容量；

2.维护、采购成本增加，而且占用了设备的工作时间，影响产能；

3.消除杂质的效果并不理想，据统计，通过上述方法消除杂质时，晶圆因表面杂质引起的不良率约为1.5‰。

鉴于此，有必要设计一种新的毛细检测管及真空度检测装置用以解决上述技术问题。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种毛细检测管及真空度检测装置，解决了采用现有技术消除杂质时，存在减小了毛细检测管的容量，维护、采购成本增加，而且占用了设备的工作时间，影响产能，及消除杂质的效果并不理想的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种毛细检测管及真空度检测装置，所述毛细检测管包括：

第一主管路；

与所述第一主管路分别连接的第一分管路和第二分管路；

分别与所述第一分管路和第二分管路连接的第二主管路；

与所述第二主管路连接的缓冲结构，其中，所述第二主管路部分插入所述缓冲结构；

以及与所述缓冲结构连接的第三主管路。

优选地，所述第一分管路和第二分管路形成椭圆形结构。

优选地，所述第二主管路插入所述缓冲结构的部分的长度为1～1.5cm。

优选地，所述缓冲结构为椭圆形结构。

优选地，所述第一、第二、第三主管路的管路直径相同。

优选地，所述第一、第二分管路的管路直径相同。

优选地，所述第一、第二分管路的管路直径为0.1～0.5mm。

优选地，第一分管路、第二分管路、第一主管路、第二主管路、第三主管路的管路直径相同。

本实用新型还提供一种真空度检测装置，所述真空度检测装置包括如上述任一项所述的毛细检测管，及分别与所述毛细检测管两端连接的真空腔室和残余气体分析仪。

如上所述，本实用新型的一种毛细检测管及真空度检测装置，具有以下有益效果：本实用新型通过在毛细检测管上设置分管路结构及缓冲结构，当毛细检测管发生回流时，分管路结构用于减小回流的气压，而缓冲结构则用于阻止杂质回流到真空腔室内；本实用新型在不减小毛细检测管的容量的情况下，通过设置分管路结构及缓冲结构，阻止了毛细检测管发生回流时杂质流回真空腔室造成晶圆损坏的问题，而且本实用新型所述的毛细检测管维护周期时间较长，且无需时常更换。

附图说明

图1显示为现有技术中毛细检测管的结构示意图。

图2显示为现有技术中真空度检测装置的结构示意图。

图3显示为本实用新型毛细检测管的结构示意图。

图4显示为本实用新型真空度检测装置的结构示意图。

图5显示为本实用新型所述真空度检测装置正常工作时气体的流向图。

图6显示为本实用新型所述真空度检测装置发生回流时气体的流向图。

元件标号说明

1’ 现有毛细检测管

1 本实用新型所述毛细检测管

11 第一主管路

12 第一分管路

13 第二分管路

14 第二主管路

15 缓冲结构

16 第三主管路

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图3和图6。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

实施例一

如图3所示，本实用新型提供一种毛细检测管1，所述毛细检测管1包括：

第一主管路11；

与所述第一主管路11分别连接的第一分管路12和第二分管路13；

分别与所述第一分管路12和第二分管路13连接的第二主管路14；

与所述第二主管路14连接的缓冲结构15，其中，所述第二主管路14部分插入所述缓冲结构15；

以及与所述缓冲结构15连接的第三主管路16。

其中，所述第一、第二、第三主管路的管路直径相同，所述第一、第二分管路的管路直径相同。优选地，所述第一、第二分管路的管路直径为0.1～0.5mm。进一步优选地，在本实施例中，第一主管路11、第一分管路12、第二分管路13、第二主管路14、第三主管路16的管路直径相同，所述管路直径为0.3mm；在其它实施例中，所述管路直径还可以为0.1mm，0.2mm，0.4mm，或0.5mm。

具体的，为了使流经第一分管路12、第二分管路13和缓冲结构15的气流具有较好的稳定性，优选地，在本实用新型中，所述第一、第二分管路形成椭圆形结构，所述缓冲结构15为椭圆形结构。

需要说明的是，所述第一、第二分管路形成的椭圆形结构、所述缓冲结构15的椭圆形结构的尺寸大小(椭圆形的尺寸大小即椭圆形长直径和短直径的大小)与测试机台提供的负压功率有关，当测试机台提供的负压功率越大，两个椭圆形结构的尺寸越大，反之亦然。优选地，在本实施例中，考虑到本实施例中测试机台提供的负压功率，所述第一、第二分管路形成的椭圆形的长直径为5cm，短直径为4cm；所述缓冲结构15的长直径为4cm，短直径为3cm。

具体的，所述第二主管路14插入所述缓冲结构15的部分的长度为1～1.5cm。

需要说明的是，第二主管路14部分插入所述缓冲结构15时，使所述缓冲结构15与第二主管路14的插入部分形成一个杂质堆积区域，当所述毛细检测管1发生回流时，杂质会堆积在该区域，而不会向前回流。

进一步需要说明的是，所述第二主管路14插入所述缓冲结构15的部分不能太长，也不能太短，其太长或太短都会影响杂质的回流效果；如果第二主管路14插入所述缓冲结构15的插入部分太长时，导致第三主管路16与缓冲结构15的接口处与第二主管路14插入部分的端口处距离太短，当所述毛细检测管1发生回流时，回流气体在负压的作用下直接流入所述第二主管路14，而无法按原有气体流向在杂质堆积区域将杂质沉积；当第二主管路14的插入部分太短时，导致第二主管路14的插入部分与所述缓冲结构15形成的杂质堆积区域太小，当所述毛细检测管1在负压作用下发生回流时，回流气体中的杂质只有少量会堆积在杂质堆积区域，大部分通过第二主管路14向前回流。

具体的，通过在所述毛细检测管1上设置所述第一分管路12和第二分管路13，当所述毛细检测管1因负压发生回流时，所述毛细检测管1内的回流气体在流经第一、第二分管路时发生分压；通过第一分管路12和第二分管路13的分压，减缓了毛细检测管1内回流气体的流速，有利于回流气体中的杂质在缓冲结构15中发生堆积，而不继续向前回流。

具体的，所述毛细检测管1为聚苯乙烯材质或石英材质。优选地，在本实施例中，所述毛细检测管1为聚苯乙烯材质。

需要说明的是，聚苯乙烯为高分子聚合物，具有透明度高、硬度大、易成型加工、适合大量生产，而且成型品尺寸稳定。

实施例二

如图4所示，本实用新型还提供一种真空度检测装置，所述真空度检测装置包括实施例一所述的毛细检测管1，及分别与所述毛细检测管1两端连接的真空腔室和残余气体分析仪。

如图5和图6所示，当所述毛细检测管1正常工作时，其内气体流向如图5所示，将真空腔室内的气体通过毛细检测管1送入残余气体分析仪，并通过残余气体分析仪对该气体进行分析。当所述毛细检测管1内的气体因负压发生回流时，其内气体流向如图6所示，当回流气体经过第三主管路16进入所述缓冲结构15时，由于所述缓冲结构15为椭圆形结构，回流气体按照弧形线路在所述缓冲结构15内流动，并由于第二主管路14的插入部分与所述缓冲结构15形成杂质堆积区域，使得回流气体中的杂质在流经该区域时直接在该区域堆积，而不会流入第二主管路14；而且由于第一分管路12和第二分管路13的分压作用，避免了所述缓冲结构15因负压作用使其内流经的回流气体流速过快，使得回流气体及杂质直接经第二主管路14流入真空腔室，有利于杂质在缓冲结构15中发生堆积。

综上所述，本实用新型的一种毛细检测管及真空度检测装置，具有以下有益效果：本实用新型通过在毛细检测管上设置分管路结构及缓冲结构，当毛细检测管发生回流时，分管路结构用于减小回流的气压，而缓冲结构则用于阻止杂质回流到真空腔室内；本实用新型在不减小毛细检测管的容量的情况下，通过设置分管路结构及缓冲结构，阻止了毛细检测管发生回流时杂质流回真空腔室造成晶圆损坏的问题，而且本实用新型所述的毛细检测管维护周期时间较长，且无需时常更换。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。