传感器结构矩阵、加速度传感器以及传感器单元的制作方法

文档序号:11431409阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及传感器结构矩阵、加速度传感器以及传感器单元。其中,传感器结构矩阵包括具有平面结构的传感器单元,其中所述传感器单元被设置在共同的平面中,以检测所述共同的平面中的加速度分量,一对传感器单元被设置为在平面中第一方向上进行检测;一对传感器单元被设置为在平面中第二方向上进行检测,其中,所述平面中第二方向垂直于所述第一方向;以及上述的传感器单元对被定位为在所述传感器结构矩阵的所述共同的平面中提供补偿对称性。

技术研发人员:维勒-佩卡·吕特克宁;列夫·罗舍尔;安斯·布卢姆奎斯特
受保护的技术使用者:村田电子有限公司
技术研发日:2013.01.11
技术公布日:2017.08.29
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