技术特征：
技术总结
摘要：本发明涉及一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置，技术特征在于：水平放置的激光器1产生的激光束后经过第一反射镜2进行反射改变光路为竖直方向，然后进入扩束准直单元3，经过第二反射镜4再次反射改变光路为水平，经过电控变焦透镜5和显微物镜6后射入分光镜7，进而产生两束光波；其中一束光波经平面镜8反射后作为参考光进入成像设备10；另一束光波经被测物体9表面反射后作为物光进入成像设备10；调节平面镜8可控制参考光与物光的夹角，使物光与参考光干涉产生离轴数字全息图并由成像设备10记录；最后采用数值重构算法计算得到被测物体的信息。该装置所采用电控变焦透镜5，具有柔性变焦功能，避免了机械移动，在系统放大倍率的调节过程中，极大地提升了调节的速度和准确度，且结构紧凑、稳定，可用于微光学元件、微电子机械系统和微光机电系统等组件的三维形貌测量。
技术研发人员：文永富;程灏波
受保护的技术使用者：北京理工大学深圳研究院
技术研发日：2017.05.04
技术公布日：2017.07.21