一种绝缘密封结构的MEMS电场传感器的制作方法

技术特征：

技术总结
一种绝缘密封结构的MEMS电场传感器，包括：绝缘密封外壳，其内部为空腔结构；以及MEMS电场测量模块，设置在所述空腔结构内，用于探测外界电场。

技术研发人员：杨鹏飞;彭春荣;夏善红;刘宇涛;吴双
受保护的技术使用者：北京中科飞龙传感技术有限责任公司
技术研发日：2017.07.10
技术公布日：2017.10.03