一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统的制作方法

文档序号:11302392阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统,其特征在于,包括输送部和检测部,所述输送部包括两根平行的横梁,两根横梁之间具有多个平行设置的传送辊,所述输送部还包括驱动多个传送辊的驱动装置;所述检测部包括液压缸和设置在液压缸自由端的横杆,所述横杆的两端分别设置有第一竖杆和第二竖杆,所述第一竖杆上具有第一激光测距装置,所述第二竖杆上具有第二激光测距装置,所述第二竖杆上还设置有第三激光测距装置,所述检测部还包括顶板和设置在顶板上的第四激光测距装置,所述第一、二激光测距装置位于同一条直线上,所述第三、四激光测距装置位于同一条直线上;相邻的两个传送辊之间具有间隙,当第一竖杆穿过一个间隙时,第二竖杆穿过另一间隙。

2.根据权利要求1所述的基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统,其特征在于,所述第一、三激光测距装置均位于第一竖杆的端部;所述第二激光测距装置位于所述第二竖杆的端部。

3.根据权利要求1所述的基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统,其特征在于,所述检测系统还包括PLC控制器,所述驱动装置、液压缸、第一激光测距装置、第二激光测距装置、第三激光测距装置和第四激光测距装置均与所述控制器相连。

4.根据权利要求1所述的基于输送部的石英坩埚壁厚检测系统,其特征在于,所述检测部还包括基板,所述液压缸安装在所述基板上,所述顶板通过支架固定在所述基板上。

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