一种基于氢等离子体的固体样品化学蒸气发生进样装置的制作方法

文档序号:12018924阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于氢等离子体的固体样品化学蒸气发生进样装置,其特征在于:所述装置为下述(A)或(B):

(A)它包括样品室和放电通道;所述样品室包括样品室腔体和与所述样品室腔体相配合的样品室盖体;所述放电通道固设于所述样品室盖体上,所述放电通道的一端为惰性气体进气口Ⅰ,另一端延伸至所述样品室腔体内;所述放电通道设于所述样品室腔体外的部分上贴附有两个电极,所述两个电极之间设有间距,所述两个电极均与交流电源相连接;所述样品室腔体的侧壁上的相对位置处分别设有氢气进气口和化学蒸气出气口;

(B)它包括样品室和放电通道;所述样品室包括样品室腔体和与所述样品室腔体相配合的样品室盖体;所述放电通道固设于所述样品室盖体上,所述放电通道的一端连接一三通部件,所述三通部件的另外两个通道分别为惰性气体进气口Ⅰ和氢气进气口,所述放电通道的另一端延伸至所述样品室腔体内;所述放电通道设于所述样品室腔体外的部分上贴附有两个电极,所述两个电极之间设有间距,所述两个电极均与交流电源相连接;所述样品室腔体的侧壁上的相对位置处分别设有惰性气体进气口Ⅱ和化学蒸气出气口。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:所述放电通道的材质为石英玻璃、硅氧玻璃和塑料中的任一种。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:所述放电通道的内径为100nm~5mm。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:所述两个电极之间的距离为0.5cm~8cm。

5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:所述样品室盖体的材质为石英玻璃、硅氧玻璃或有机玻璃;所述放电通道与所述样品室盖体之间通过真空硅脂、橡皮泥、玻璃胶或密封圈进行密封配合。

6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:所述样品室腔体的材质为硅氧玻璃或塑料。

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