一种扩散炉激光检测装置的制作方法

本实用新型涉及扩散炉检测技术领域，特别地，涉及一种扩散炉激光检测装置。

背景技术：

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。目前，最常用的扩散炉呈筒状，一端开口，另一端封闭成弧状且中部连接一进气管，但是，长时间的高温工作会导致扩散炉管上凸或者下凹变形，然而目前，检测使用过的炉管是否变形以及新炉管的安装调试，主要依靠调试人员的经验来判断，没有一套专业的且精度较高的调试校准工具，炉管调试的好坏直接影响到后续的半导体掺杂水平，影响产品质量，而且造成人力、物力的浪费。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：为了克服上述现有技术中存在的不足，现提供结构简易、成本低的一种扩散炉激光检测装置，使调试、检测扩散炉精度更高。

本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种扩散炉激光检测装置，用于检测扩散炉，所述扩散炉激光检测装置包括连接于扩散炉一端的第一验证组件、连接于扩散炉另一端的第二验证组件和连接于所述第二验证组件上的激光源，所述第二验证组件包括安装在扩散炉一端的连接件、可转动的连接在所述连接件上的调节杆和可沿所述调节杆移动且套设在所述调节杆上的隔套，所述激光源设置在所述隔套上，所述第一验证组件包括第一校验板，所述第一校验板的中心处设有第一校验标记，调节所述激光源，使激光源通过扩散炉的进气管的中心射在所述第一校验板上。

进一步地，所述隔套的截面为多边形。

进一步地，所述隔套上设有卡扣，所述隔套通过所述卡扣与所述调节杆固定连接。

进一步地，所述调节杆的一端铰接于所述连接件上，所述调节杆与所述连接件相贴合。

进一步地，所述连接件呈喇叭状结构，所述连接件的中心处沿所述连接件的轴向设置有安装孔，所述连接件的大口端凹设形成有凹槽，所述安装孔与所述凹槽相连通。

进一步地，所述第一校验标记设置成通孔。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种扩散炉激光检测装置，将激光源固定到第二验证组件上，方便调节激光的投射位置，并且第一验证组件和第二验证组件均有对炉口和进气管的初步检测作用，提高了扩散炉的检测精度，且结构简易，成本低，实用性强，便于推广使用。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的一种扩散炉激光检测装置的结构示意图；

图2为所述第一验证组件的正视图；

图3为所述第二验证组件的正视图。

图中：1、第一验证组件，11、第一校验板，111、第一校验标记，2、第二验证组件，21、连接件，211、安装孔，212、凹槽，22、调节杆，23、隔套，231、卡扣，4、扩散炉，41、进气管。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

请参照图1所示，本实用新型提供了一种扩散炉激光检测装置，该扩散炉激光检测装置包括连接于扩散炉4一端的第一验证组件1、连接于扩散炉另一端的第二验证组件2和连接于第二验证组件2上的激光源3。

结合图3所示，第二验证组件2包括安装在扩散炉一端的连接件21、连接在连接件21上的调节杆22和套设在调节杆22上的隔套23，连接件21呈喇叭状结构，连接件21的中心处沿连接件21的轴向设置有安装孔211，连接件21的大口端凹设形成有凹槽212，安装孔211与凹槽212相连通，安装孔211与进气管41相配合，凹槽212与扩散炉4封闭端相贴合。

激光源3固定设置在隔套23上。

本实施方式中，为了使隔套23不沿着调节杆22的径向方向转动，隔套23的截面设置为矩形，可以理解地，在其他未示的实施方式中，隔套23的截面设置成正方形、五边形等其他多边形，隔套23也不会沿着调节杆22的径向方向转动。

隔套23上设有卡扣231，隔套23通过卡扣231与调节杆22固定连接，调节卡扣231，能够实现隔套23位置固定和活动两个状态。本实施方式中，调节杆22的一端铰接于连接件21上，调节杆22与连接件21相贴合，能够增加手感，使调节杆22上下调节的精度更小，并且使调节杆22与连接件21的摩擦力增大，以致调节杆22不会因自身重力而向下转动。

为了实现激光源3能够相对上下移动，调节杆22与连接件21通过销钉铰接(图中未示出)，以使调节杆22能够沿调节杆22与连接件23的连接处转动，可以理解地，在其他未示出的实施方式中，所述连接处还可以使用卡簧、螺母、丝杆等或两种及两种以上的组合铰接。

结合图2所示，第一验证组件1包括第一校验板11，第一校验板11的中心处设有第一校验标记111。

本实施方式中，第一校验标记111设置成通孔，可以理解地，在其他未示出的实施方式中，第一校验标记111还可设置成线、点等其他形状，保证激光能够穿透即可。

下面结合图1、图2和图3说明本实用新型的一种扩散炉管激光检测装置的工作过程：

本实用新型的一种扩散炉管激光检测装置，使用时，首先将第一验证组件1和第二验证组件2分别安装到扩散炉管炉口和炉尾，调节调节杆22和隔套23，使得激光源3发射的激光穿过进气管41的中心，再根据激光是否射在第一校验标记111上判断扩散炉是否变形，若激光穿过第一校验标记111，则说明扩散炉管没有变形，反之，则说明扩散炉管已变形。

本实用新型的一种扩散炉激光检测装置，能够实现初步检测和精检测，大大提高了检测精度，且结构简易，成本低，实用性强，便于推广使用。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关的工作人员完全可以在不偏离本实用新型的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。