一种双探针扫描电镜的制作方法

文档序号:13172056阅读:421来源:国知局
一种双探针扫描电镜的制作方法

本实用新型属于扫描电镜技术领域,具体涉及一种双探针扫描电镜。



背景技术:

扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。然而现有的扫描电镜通常为一个探针,而且不具有相应的缓冲装置和除尘装置,容易影响扫描效果,因此我们需要一款新型的双探针扫描电镜,来满足人们的需求。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种双探针扫描电镜,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种双探针扫描电镜,包括扫描电镜主体、罩体、空气净化器、缓冲底座、照明装置、提手、探针、载物台,所述提手设置在扫描电镜主体的顶部,所述罩体设置在扫描电镜主体的表面,2个所述空气净化器分别设置在罩体的左侧和右侧,所述照明装置设置在提手的下方,2个所述探针分别设置在照明装置的左侧和右侧,所述载物台设置在探针的下方,所述缓冲底座设置在扫描电镜主体的底部。

优选的,所述缓冲底座包括缓冲体和缓冲保护外壳,所述缓冲保护外壳设置在缓冲底座的表面,所述缓冲体设置在缓冲保护外壳的内部。

优选的,所述照明装置包括照明装置外壳和照明灯,所述照明灯设置在照明装置的内部,所述照明装置外壳设置在照明装置的表面。

优选的,所述提手的表面设有防滑层。

优选的,所述载物台的底部设有升降台。

优选的,所述探针通过滑槽与罩体滑动连接。

本实用新型的技术效果和优点:该双探针扫描电镜结构简单,使用方便,安全高效,扫描效果好;空气净化器的设置能够去除空气中的灰尘颗粒等,有利于提高扫描的效果;照明装置能够提高亮度,能够在一定的条件下提高其扫描效果;缓冲底座能够起到一定的缓冲效果,有利于保护扫描电镜不受损坏;提手的设置方便扫描电镜的移动;升降台的设置便于进行扫描。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的照明装置结构示意图;

图3为本实用新型的俯视图。

图中:1、扫描电镜主体;2、罩体;3、空气净化器;4、缓冲底座;41、缓冲体;42、缓冲保护外壳;5、照明装置;51、照明装置外壳;52、照明灯;6、提手;7、探针;8、载物台;9、升降台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1、图2和图3所示的一种双探针扫描电镜,包括扫描电镜主体1、罩体2、空气净化器3、缓冲底座4、照明装置5、提手6、探针7、载物台8,所述提手6设置在扫描电镜主体1的顶部,所述罩体2设置在扫描电镜主体1的表面,2个所述空气净化器3分别设置在罩体2的左侧和右侧,所述照明装置5设置在提手6的下方,2个所述探针7分别设置在照明装置5的左侧和右侧,所述载物台8设置在探针7的下方,所述缓冲底座4设置在扫描电镜主体1的底部。

进一步地,所述缓冲底座4包括缓冲体41和缓冲保护外壳42,所述缓冲保护外壳42设置在缓冲底座4的表面,所述缓冲体41设置在缓冲保护外壳42的内部。

进一步地,所述照明装置5包括照明装置外壳51和照明灯52,所述照明灯52设置在照明装置5的内部,所述照明装置外壳51设置在照明装置5的表面。

进一步地,所述提手6的表面设有防滑层。

进一步地,所述载物台8的底部设有升降台9。

进一步地,所述探针7通过滑槽与罩体2滑动连接。

工作原理:该双探针扫描电镜在使用时,先打开空气净化器3进行净化,将待测的样品放在载物台8上,可以根据扫描需要进行调整升降台9,探针7会对待测样品进行扫描。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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