本发明涉及一种用于测量清洗液中的油分的浓度的装置和方法。该油分浓度测量装置和油分浓度测量方法优选用于在工业用清洗机中测量使用中的清洗液等所含有的油分的浓度，该工业用清洗机用于去除附着于工件上的切削油、加压/冲压油、机油、油脂、焊剂等油分。
背景技术：
在工业用清洗机中使用的清洗液以碳氢清洗液为主流。碳氢清洗液不含有臭氧层破坏物质或氯，因此具有带给环境或人体的影响少这样的优点。另外，通过利用烃的沸点低于上述油分的成分的沸点这点，碳氢清洗液还具有如下优点：能够通过在将含有使用后的油分的碳氢清洗液存积于蒸馏槽内后加热到高于烃的沸点且低于油分的沸点的温度来蒸馏再生。碳氢清洗液还具有如下优点：能够将该蒸馏再生处理时产生的清洁的蒸汽用于工件的清洗和干燥(以下设为“蒸汽清洗/干燥”)。在蒸汽清洗/干燥中，将工件收容于蒸汽清洗/干燥用清洗槽中，通过向该槽导入该蒸汽来以该蒸汽清洗工件的表面，然后使该槽内急速地减压从而使清洗剂的沸点急剧地下降，由此附着于工件表面的清洗剂发生暴沸/汽化来使该工件干燥。在实际的工业用清洗机中，将工件收容于存积有碳氢清洗液的液体清洗槽中进行液体清洗后，精细地进行蒸汽清洗/干燥。
当使工业用清洗机连续地运转时，通过蒸馏去除的油分逐渐地蓄积在蒸馏槽内，导致蒸馏再生而得到的碳氢清洗液(再生后清洗液)的蒸汽中混入油分。如果这样，导致在蒸汽清洗/干燥时蒸汽中的油分附着于工件的表面，导致清洗的能力下降。为了防止这种清洗能力的下降，需要将再生后清洗液的油分浓度抑制到规定浓度以下。该规定浓度根据油分的成分而不同，但是为了不管成分如何都防止清洗能力的下降，希望设为50ppm～100ppm以下。以往是在工件的清洗次数达到根据经验公式确定的规定数时去除含有油分的蒸馏槽内的残液，但是如果测定再生后清洗液中的油分的浓度，则期待能够以更恰当的定时进行该残液的去除。
为了测量清洗液的油分浓度，考虑使用例如专利文献1所记载的方法。专利文献1记载了如下技术：使用按清洗液所含有的每种油分的成分所确定的规定的一个测定波长的紫外线来测定吸光度，根据预先制作的每种油分的油分浓度与吸光度的校准曲线来求出溶解于该清洗液中的油分的浓度。关于每种油分的测定波长，例如市售加压油设为259nm，市售切削油设为234nm，市售焊剂设为250nm。
专利文献1：日本特开平09-061349号公报
技术实现要素：
发明要解决的问题
在专利文献1所记载的油分浓度测量装置和方法中，由于每种油分的测定波长不同，因此必须与这些测定波长对应地检测多个波长的光。因此，例如使用将包含这些多个波长的光照射到试样(碳氢清洗液)的光源、将通过了试样的光按每个波长进行分光的分光元件以及将被分光元件分光而得到的光按每个波长进行检测的检测器。在这种结构中，需要使用作为昂贵的光学元件的分光元件，另外对于检测器也需要使用具有按每个波长设置的多个检测元件的昂贵的检测器。另外，按每个波长几乎同时地获取数据，因此需要用于在短时间内处理并保存大量数据的昂贵的控制设备。
本发明要解决的课题在于，提供一种不需要使用昂贵的分光元件、检测元件以及控制设备的清洗液中的油分浓度测量装置和方法。
用于解决问题的方案
为了解决上述课题而完成的本发明所涉及的清洗液中的油分浓度测量装置具备：
a)光照射部，其将具有测定波长的照射光照射到测量对象液，该测定波长是280nm～300nm间的规定的一个波长；
b)透射光检测部，其测定所述照射光透过所述测量对象液而得到的透射光的强度；以及
c)油分浓度决定部，其根据由所述透射光检测部测定出的透射光的强度来计算所述测量对象液的所述测定波长下的吸光度，根据该吸光度的值以及表示所述测定波长下的油分的浓度与吸光度之间的关系的校准曲线来求出所述测量对象液中的油分的浓度。
如前所述，作为工业用清洗机用的清洗液而成为当前主流的碳氢清洗液和除此以外的乙二醇醚系清洗液等很多清洗液由不具有碳原子的多重(2重、3重)键的分子组成。这种不具有碳原子的多重键的分子在小于280nm的波长下产生吸光，另一方面在280nm以上的波长下几乎不产生吸光。与此相对，附着于作为清洗对象的工件、通过清洗混入清洗液的切削油、加压/冲压油、机油、油脂、焊剂等油分大部分含有具有碳原子的多重键的分子。这种具有碳原子的多重键的分子根据其种类，使吸光度为峰值的波长分布于广的范围内，但是不管油分的种类如何，在280nm～300nm的波长范围内吸光度不会为0，具有固定值。并且，当波长超过300nm时，难以检测50ppm左右的低浓度的油分。
因此在本发明中，以作为280nm～300nm间的规定的一个波长的测定波长来测定透射光的强度，根据该强度来计算该测定波长下的吸光度，由此能够抑制测量对象液(清洗液、测量对象清洗液)对吸光的影响，并且根据表示该测定波长下的测量对象的油分与吸光度之间的关系的校准曲线来求出该油分的浓度。
根据本发明所涉及的油分浓度测量装置，只使用规定的一个波长作为测定波长，因此不需要使用分光元件和每个波长的检测元件。另外，与使用多个波长的情况相比应同时处理的数据量少，因此不需要使用昂贵的控制设备。例如，不设置本发明所涉及的油分浓度测量装置的专用的控制设备，而能够使用工业用清洗机所具有的控制设备(可编程逻辑控制器)进行该油分浓度测量装置的控制。基于这些理由，本发明所涉及的油分浓度测量装置能够抑制成本。
本发明所涉及的油分浓度测量装置能够优选用于50ppm～2000ppm这样的低浓度的油分的测量。另外，由于适合这种低浓度的油分的测量，因此本发明所涉及的油分浓度测量装置能够优选用于需要检测50ppm这样的低浓度的油分的能力的所述蒸汽清洗/干燥中使用的再生后清洗液中的油分浓度的测量。此外，本发明所涉及的油分浓度测量装置所进行的油分的测量的对象不限于所述再生后清洗液，例如也能够用于通过在工件的清洗中的清洗槽中测量油分浓度的变化来求出清洗结束的定时(将油分浓度的时间变化变成规定值以下时设为结束的定时)。
本发明所涉及的油分浓度测量装置也可以还具备：
第二光照射部，其将具有第二测定波长的第二照射光照射到所述测量对象液，该第二测定波长是320nm～340nm间的规定的一个波长；
第二透射光检测部，其测定所述第二照射光透过所述测量对象液而得到的第二透射光的强度；以及
第二油分浓度决定部，其根据由所述第二透射光检测部测定出的第二透射光的强度来计算所述测量对象液的所述第二测定波长下的吸光度，根据该吸光度的值以及表示所述第二测定波长下的油分的浓度与吸光度之间的关系的校准曲线来求出所述测量对象液中的油分的浓度。
这样，除了使用具有作为280nm～300nm间的规定的一个波长的测定波长的照射光进行测量以外，还使用具有作为320nm～340nm间的规定的一个波长的第二测定波长的第二照射光来求出测量对象液(清洗液、测量对象清洗液)中的油分的浓度，由此能够提高使吸光度为峰值的波长较大的油分的吸光度的测定精度。在这种情况下，也不需要按油分的每个种类使用不同波长的光，只使用所述测定波长和所述第二测定波长这两种波长的光即可。另外，不需要使用分光元件，也不需要设置多个透射光的检测元件(透射光检测部和第二透射光检测部)。并且，如果将所述照射光和所述第二照射光在互不相同的时间照射到测量对象液，则检测透射光的检测器不需要识别波长，因此使用两个波长通用的一个检测器即可。对于这种检测器，能够优选使用光电二极管。
在本发明所涉及的清洗液中的油分浓度测量方法中，
将具有测定波长的照射光照射到测量对象液，该测定波长是280nm～300nm间的规定的一个波长，
测定所述照射光透过所述测量对象液而得到的透射光的强度，
根据所述透射光的强度来计算所述测量对象液的所述测定波长下的吸光度，根据该吸光度的值以及表示所述测定波长下的油分与吸光度之间的关系的校准曲线来求出所述测量对象液中的油分的浓度。
发明的效果
根据本发明，能够得到一种不需要使用昂贵的分光元件、检测元件以及控制设备的、廉价的清洗液中的油分浓度测量装置和方法。
附图说明
图1是表示具有本发明所涉及的油分浓度测量装置的一个实施方式作为结构要素的工业用清洗机的概要结构图。
图2是表示由不具有碳原子的多重键的分子组成的四种清洗液中的透射光量的谱的测定值的图。
图3是表示本实施方式的油分浓度测量装置中的控制部的功能的功能框图。
图4是表示测定各自含有不同的四种油分中的一种油分的清洗液的透射光量所得到的结果的图表。
图5是表示从图4所示的透射光量求出吸光度所得到的结果的图表。
图6是表示根据图5所示的吸光度制作出的每种油分的校准曲线的图表。
图7是表示通过本实施方式的油分浓度测量装置和方法测定清洗液中的油分的浓度所得到的结果的图表。
具体实施方式
使用图1～图7来说明本发明所涉及的油分浓度测量装置和方法的实施方式。
图1示出具有本实施方式的油分浓度测量装置10作为结构要素的工业用清洗机1的概要结构。工业用清洗机1是用于去除附着于工件上的油分的装置，除了油分浓度测量装置10以外还具有第一清洗槽11、第二清洗槽12、蒸汽清洗/干燥槽13、临时存积槽14、蒸馏槽15、热交换器16、排出器17、再生后清洗液存积槽18以及试样池清洗液槽19。图1中所示的粗的实线表示液体的流路，粗的虚线表示气体的流路，细直的虚线表示电信号的路径。
(1)工业用清洗机1的整体结构和动作
在说明本实施方式的油分浓度测量装置10之前，首先说明工业用清洗机1的整体结构和工件的清洗的动作。在第一清洗槽11和第二清洗槽12中设置有向存积于槽内的清洗液施加超声波振动的超声波振子。另外，为了使利用超声波的空化容易产生，通过真空泵使第一清洗槽11和第二清洗槽12内减压，进行清洗液的脱气。在这些第一清洗槽11和第二清洗槽12中存积清洗液之后，将工件浸渍于清洗液并施加超声波振动，由此工件被清洗。在此，基于后述的理由，与第一清洗槽11内的清洗液相比第二清洗槽12内的清洗液的油分的含有量更少，因此首先在第一清洗槽11内清洗工件，接着将该工件在第二清洗槽12中进行清洗，由此能够将清洗液中的油分再次附着于工件上的情况抑制到最小限度。
蒸汽清洗/干燥槽13是用于对在第二清洗槽12内被清洗后的工件进行蒸汽清洗和干燥的槽。蒸汽清洗/干燥中使用的蒸汽是如后所述地从蒸馏槽15提供的。蒸汽清洗/干燥槽13内的蒸汽以及被去除了残留于工件的表面的物质的清洗液被回送到第二清洗槽12。另外，通过第一清洗槽11和第二清洗槽12的减压、清洗液的蒸发所产生的气体被回收到临时存积槽14。
蒸馏槽15中设置有浮阀151，当蒸馏槽15内的液体通过蒸馏变成规定量以下时，清洗液从临时存积槽14导入到蒸馏槽15内。在蒸馏槽15内，通过加热器(未图示)加热，并通过排出器17减压。由此，关于清洗液，将油分以液体的形式残留来进行蒸发。产生的蒸汽的一部分如前所述被供给到蒸汽清洗/干燥槽13，剩余部分在被热交换器16凝结之后存积到再生后清洗液存积槽18。
从再生后清洗液存积槽18向第二清洗槽12流入通过蒸馏槽15去除了油分的再生后清洗液。第一清洗槽11和第二清洗槽12通过第二溢流管122连接。关于第二溢流管122，相比于与第一清洗槽11的连接位置，与第二清洗槽12的连接位置更高，当通过流入再生后清洗液来使第二清洗槽12内的清洗液的液面高于后者的连接位置时，第二清洗槽12内的清洗液的一部分自然地移动到第一清洗槽11。因而，与第一清洗槽11内的清洗液相比，第二清洗槽12内的清洗液的油分的含有量少。另外，第一清洗槽11和临时存积槽14通过第一溢流管112连接，当通过从第二清洗槽12流入清洗液来使第一清洗槽11内的清洗液的液面高于第一溢流管112的连接位置时，第一清洗槽11中的清洗液的一部分自然地通过第一溢流管112移动到临时存积槽14。
第一清洗槽11具有第一循环过滤系统111，该第一循环过滤系统111从槽内取出清洗液，使该清洗液通过过滤器回到槽内。第二清洗槽12中也设置有相同的第二循环过滤系统121。这些循环过滤系统去除粒径10μm左右以上的粒子，无法去除油分。
(2)本实施方式的油分浓度测量装置10的结构
接着，详细地说明工业用清洗机1中的油分浓度测量装置10的结构。如后所述，油分浓度测量装置10具有与第一清洗槽11、第二清洗槽12以及再生后清洗液存积槽18连接的流路101、设置于流路101中的进液泵102、设置于比流路101中的进液泵102靠下游侧的试样池103、参考测定用的参考池1031、光照射部104、透射光检测部105以及进行装置整体的控制及后述的数据处理的控制部106。
流路101的流入部1011经由第一中继管113与第一清洗槽11连接，经由第二中继管123与第二清洗槽12连接，经由第三中继管183与再生后清洗液存积槽18连接。另外，在第一中继管113设置有第一中继开闭阀11v，在第二中继管123设置有第二中继开闭阀12v，在第三中继管183设置有第三中继开闭阀18v。
流路101的流出部与临时存积槽14连接。因而，在油分浓度测量装置10中用于测定的清洗液经由临时存积槽14被蒸馏槽15蒸馏，最终以去除了油分的状态被回送到第二清洗槽12。此外，也可以将用于测定的清洗液从流出部直接回送到收容有该清洗液的槽内。
试样池103和参考池1031都是紫外线的吸收少的石英制的池。在通常的测定时流路101连接试样池103，在测定参考数据时流路101连接参考池1031。参考池1031中封入不含油分的清洗液，根据控制部106的控制，在以规定的时间间隔中断油分浓度的测定之后测定参考数据。
在本实施方式中，光照射部104将作为280nm～300nm间的规定的一个波长的测定波长照射到试样池103内的清洗液(测量对象液)，由发出该测定波长的光的led构成。在本实施方式中，测定波长设为290nm。
在此，使用图2来说明将测定波长设为280nm～300nm间的一个波长的理由。图2示出由不具有碳原子的多重键的分子组成的四种清洗液1～4的透射光量的谱的测定值。四种中的清洗液1～3都是饱和型脂肪族烃系的清洗液，清洗液4是乙二醇醚系的清洗液。图2中一并地示出入射光的谱。四种清洗液都在小于波长280nm时透射光量比入射光的光量大幅变小，可看出清洗液对紫外线的吸收。与此相对，波长280nm以上时，透射光量和入射光之差变小，几乎不存在清洗液对紫外线的吸收。因而，如果以280nm的测定波长进行测定，则能够抑制清洗液的吸光的影响且进行油分的浓度的测量。另一方面，当测定波长超过300nm时，如后述的图5所示，低浓度(在图5所示的例子中为100ppm。进一步为50ppm。)的油分的吸光度的值变得过小，因此无法求出。因而，通过将280nm～300nm间的一个波长设为测定波长，能够抑制清洗液的吸光的影响，并且即使是50ppm左右的低浓度，也能够进行油分的浓度的测量。
透射光检测部105用于检测透过试样池103内的清洗液而得到的具有上述测定波长的透射光的强度，由光电二极管和信号转换部构成。光电二极管检测上述测定波长的光并将其强度作为模拟信号来输出。信号转换部将光电二极管输出的模拟信号转换为数字信号。
控制部106具有与图3的功能框图所示的功能。关于控制部106，能够使用可编程逻辑控制器或个人计算机，既可以直接应用工业用清洗机所具有的控制装置，也可以具备油分浓度测量装置10的控制装置。控制部106具有油分浓度决定部1061、参考数据记录部1062、校准曲线记录部1063、条件输入部1064以及测定控制部1065。油分浓度决定部1061由吸光度计算部1061a、校准曲线选择部1061b以及校准曲线应用部1061c构成。油分浓度决定部1061的详情与本实施方式的油分浓度测量装置10的动作一起后文叙述。参考数据记录部1062中记录有针对不含有油分的清洗剂预先测定出的、上述测定波长下的透射光量的数据(参考数据)。在校准曲线记录部1063中，按工件的加工中能够使用的每种油分，记录有基于使用油分的浓度已知的试样预先测定出的数据制作出的表示上述测定波长下的油分的浓度与吸光度之间的关系的校准曲线。此外，在厂商或型号不同的多个加工油彼此之间成分接近的情况下，也可以使用这些多个加工油通用的校准曲线。条件输入部1064用于由测量人员使用触摸板等输入设备来输入后述的测定条件。测定控制部1065进行来自光照射部104中的光源的光的照射的开始和结束、上述各部的处理的开始和结束等控制。
试样池清洗液槽19是存积用于清洗试样池103的清洗液(与作为油分浓度测量的对象的清洗液相同)的槽。
(3)本实施方式的油分浓度测量装置10的动作
说明本实施例的油分浓度测量装置10的动作。在此主要叙述将与在蒸汽清洗/干燥槽13中使用的蒸汽中的油分浓度接近的、存积于再生后清洗液存积槽18内的再生后清洗液设为油分浓度的测定对象的情况。
首先，通过在测量人员利用条件输入部1064输入规定的测定条件之后输入测定开始的指示来开始测定。在此输入的测定条件是用于确定使用测定对象的清洗液来清洗的附着于工件上的加工油的信息(例如加工油的厂商和型号)。
当测定开始时，首先开放与存积有测定对象的清洗液的清洗槽或者存积槽对应的中继阀。在此，开放设置于与再生后清洗液存积槽18连接的第三中继管183的第三中继开闭阀18v。由此，测定对象的再生后清洗液通过流路101导入到试样池103。此外，如果测定对象的清洗液是第一清洗槽11内的清洗液则开放第一中继开闭阀11v，如果是第二清洗槽12内的清洗液则开放第二中继开闭阀12v。
光照射部104对试样池103内的清洗液照射上述测定波长(290nm)的光。透射光检测部105测定透过了清洗液的透射光量的强度i，将该强度i转换为数字信号来输出。
接着，控制部106被输入从透射光检测部105输出的表示透射光量的强度i的数字信号，并且从参考数据记录部1062获取参考数据i0，该参考数据i0是不含有油分的清洗液的上述测定波长下的透射光量。控制部106的吸光度计算部1061a根据这些测定对象的清洗液的透射光量的强度i和参考数据i0来求出测定对象的清洗液的吸光度a＝log10(i0/i)。
接着，控制部106的校准曲线选择部1061b根据用于确定由条件输入部1064输入的加工油的信息，从校准曲线记录部1063获取与确定出的加工油对应的校准曲线。而且，校准曲线应用部1061c将由吸光度计算部1061a得到的测定对象的清洗液的吸光度a应用于由校准曲线选择部1061b选择的校准曲线，求出加工油的浓度。
以后，通过将测定对象的再生后清洗液连续地导入到试样池103并且反复进行由光照射部104进行的光的照射和透射光量的强度i的测定，由此反复求出加工油的浓度。而且，当加工油的浓度超过规定值时，进行残留于蒸馏槽15内的残留液的处理。残留液的处理通过如下方式进行：通过煮沸残留液来分离残留液中的清洗液和加工油，由此废弃残留于蒸馏槽15内的加工油。
此外，在测定对象的清洗液设为第一清洗槽11内或者第二清洗槽12内的清洗液的情况下，在工件的清洗中通过与上述相同的方法来反复求出清洗液中的加工油的浓度，能够使用测定结果以求出在该浓度的时间变化变成规定值以下时结束工件的清洗这样的清洗结束的定时。
(4)吸光度和校准曲线的例子
制作将选择为代表性的加工油的四种油分(表1)分别以不同的浓度混合到相同的清洗液中所得到的多个试样，测定每种油分和每种浓度的透射光量来求出吸光度。在此，为了验证将测定波长设为290nm的妥当性，不将波长限定在290nm而是在260nm～400nm的范围内进行了透射光量的测定。在此，使用了作为不具有碳原子的多重键的饱和型脂肪族烃系的清洗液的“ns100”(jx能源(株)产、图2的清洗液1)。另外，各油分的浓度都设为100ppm、500ppm、2000ppm以及10000ppm。
[表1]
图4中按清洗液含有的每种油分示出通过测定得到的透射光量。另外，图5中示出根据图4所示的透射光量求出吸光度所得到的结果。它们都在波长280nm～300nm的范围内吸光度取决于油分的浓度而具有不同的值。
根据这样得到的在波长290nm下的每种油分和每种浓度的吸光度，按每种油分制作表示吸光度与浓度之间的关系的校准曲线。图6中示出制作出的校准曲线。此外，在各油分中，浓度为10000ppm的数据由于校准曲线脱离直线，因此没有使用。如图6所示，在浓度为2000ppm以下时能够以直线来表示校准曲线。因而，在至少2000ppm以下的浓度下，能够通过本实施方式的油分浓度测量装置和方法来进行油分浓度的测量。
在图1所示的工业用清洗机中，为了维持工件的清洗的品质，重要的是对在蒸馏槽15中蒸馏再生的再生后清洗液的油分的浓度进行测量/管理。特别是，再生后清洗液用于蒸汽清洗，该蒸汽清洗是蒸馏槽15中产生的蒸汽直接在蒸汽清洗/干燥槽13中对工件进行精细的清洗，因此最为重要的是在工业用清洗机的连续运转过程中进行油分浓度的测量/管理。根据本发明，能够在这种工业用清洗机连续运转过程中进行油分浓度的测量/管理。
进行了使用所得到的校准曲线来测量再生后清洗液中的油分的浓度的实验。在该实验中，清洗液也使用上述ns100或者ns200(jx能源(株)产、图2的清洗液2)，使用添加的油分中包含上述表1所示的添加物的、五种切削油和五种加压/冲压油。在该实验中，通过在称量清洗液和油分之后将两者混合，来制作浓度已知(将该浓度称为“原本的浓度”)的试样，进行原本的浓度和测定值的比较。
图7的图表中示出实验结果。在该图表中，将原本的浓度设为横轴、测定值设为纵轴。如果测定值收敛于原本的浓度的±10％以内，则数据点收敛于图表中的两根虚线之间。另外，在图7中，将全部试样的数据描绘在一个图表中。如该图表所示，本次得到的全部的测定值大概收敛于原本的浓度的±10％以内。如果有±10％左右的精度，则足够用于工业用清洗机中。
(5)变形例
在本实施方式的油分浓度测量装置10中，光照射部104也可以除了将波长280nm～300nm间的测定波长(在上述例子中为290nm)的光照射到清洗液以外，还将作为320nm～340nm间的规定的一个波长的第二测定波长照射到清洗液。这种不同的两个波长的光希望是使用发出单色光且该单色光的波长不同的两个光源来生成的。在这种情况下，如果能够测定上述测定波长的光和第二测定波长的光这两者的强度，则作为通用地检测这两个波长的光的检测器，只要一个透射光检测部105即可。或者也可以按每个波长使用不同的透射光检测部。在该第二测定波长下，也与上述测定波长(290nm)的情况同样地，能够根据图5的吸光度的数据，按每种油分制作表示吸光度与浓度之间的关系的校准曲线。
例如，图6的(d)所示的校准曲线与(a)～(c)的校准曲线相比，求得吸光度的点与校准曲线之差稍大，因此能够通过以两个测定波长分别求出油分的浓度来提高精度。
附图标记说明
1：工业用清洗机；10：油分浓度测量装置；101：流路；1011：流入部；102：进液泵；103：试样池；1031：参考池；104：光照射部；105：透射光检测部；106：控制部；1061：油分浓度决定部；1061a：吸光度计算部；1061b：校准曲线选择部；1061c：校准曲线应用部；1062：参考数据记录部；1063：校准曲线记录部；1064：条件输入部；1065：测定控制部；11：第一清洗槽；111：第一循环过滤系统；112：第一溢流管；113：第一中继管；11v：第一中继开闭阀；12：第二清洗槽；121：第二循环过滤系统；122：第二溢流管；123：第二中继管；12v：第二中继开闭阀；13：蒸汽清洗/干燥槽；14：临时存积槽；15：蒸馏槽；151：浮阀；16：热交换器；17：排出器；18：再生后清洗液存积槽；183：第三中继管；18v：第三中继开闭阀；19：试样池清洗液槽。