一种溅射薄膜压力传感器的制作方法

本实用新型涉及压力传感器领域，特别涉及一种溅射薄膜压力传感器。

背景技术：

压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置，按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器；现有的压力传感器在使用时存在一定的弊端，使用时测试精度受温度限制很大，压力敏感元件容易因为温度的变化而性能发生改变，不能在各种恶劣势环境下稳定工作，同时外侧的焊接手法以及抗震性能有待增强，在使用过程中带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种溅射薄膜压力传感器。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种溅射薄膜压力传感器，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种溅射薄膜压力传感器，包括传感器主体与底座，所述传感器主体的两侧外表面均固定安装有橡胶凸起，所述传感器主体的一端外侧靠近橡胶凸起的位置固定安装有集线筒，所述底座位于传感器主体的下端外侧，所述传感器主体的上端外表面设有不锈钢膜片结构，所述不锈钢膜片结构的上端外表面固定安装有管螺纹，所述不锈钢膜片结构的内部设有应变膜片与弹性体，且应变膜片固定安装在弹性体的上端外侧，所述弹性体的内部固定安装有弹性元件，所述弹性体的下端内表面靠近弹性元件的下方设有应变电阻层，所述传感器主体的内部中间位置固定安装有溅射合金薄膜压力敏感元件，所述溅射合金薄膜压力敏感元件的上端外表面靠近不锈钢膜片结构的下方设有溅射合金薄膜，所述溅射合金薄膜压力敏感元件的下端外表面设有压力接口，所述压力接口的内部穿过压力接口的下端外侧设有金丝引线，所述金丝引线的下端外侧固定安装有放大电路板，且放大电路板的一端外侧设有引线转接板，所述引线转接板与集线筒之间活动安装有信号引出线，所述传感器主体的内表面一周固定安装有密封圈。

优选的，所述传感器主体与底座的外表面均涂有防水层，所述传感器主体与底座之间设置有胶体粘连层。

优选的，所述集线筒的内径为十二毫米，所述弹性元件的数量为十组。

优选的，所述溅射合金薄膜压力敏感元件通过金丝引线与放大电路板电性连接，所述橡胶凸起的数量为若干组。

优选的，所述溅射合金薄膜压力敏感元件的耐温范围为-10度至120度，所述集线筒的内部设置有接线插针。

优选的，所述应变电阻层的内部设置有内补偿电阻，所述放大电路板的外表面设置有信号处理单元。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该溅射薄膜压力传感器，通过设置橡胶凸起，橡胶制品耐磨、减震，起到保护传感器外部的作用，防止发生摩擦与碰撞，通过设置不锈钢膜片结构，采用合金薄膜材料制成，接触时的敏感程度高，同时内部电阻能承受两千次以上的疲劳处理，通过设置溅射合金薄膜压力敏感元件，其表面的溅射合金薄膜耐温性能优异，能够在各种恶劣势环境下长时间的稳定工作，整个装置简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。

附图说明

图1为本实用新型一种溅射薄膜压力传感器的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种溅射薄膜压力传感器的局部视图。

图3为本实用新型一种溅射薄膜压力传感器图2中A的内部视图。

图4为本实用新型一种溅射薄膜压力传感器传感器主体的内部视图。

图中：1、传感器主体；2、橡胶凸起；3、集线筒；4、底座；5、不锈钢膜片结构；6、管螺纹；7、应变膜片；8、弹性体；9、弹性元件；10、应变电阻层；11、溅射合金薄膜压力敏感元件；12、溅射合金薄膜；13、压力接口；14、金丝引线；15、放大电路板；16、引线转接板；17、信号引出线；18、密封圈。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-4所示，一种溅射薄膜压力传感器，包括传感器主体1与底座4，传感器主体1的两侧外表面均固定安装有橡胶凸起2，橡胶制品耐磨、减震，起到保护传感器外部的作用，防止发生摩擦与碰撞，传感器主体1的一端外侧靠近橡胶凸起2的位置固定安装有集线筒3，底座4位于传感器主体1的下端外侧，传感器主体1的上端外表面设有不锈钢膜片结构5，采用合金薄膜材料制成，接触时的敏感程度高，同时内部电阻能承受两千次以上的疲劳处理，不锈钢膜片结构5的上端外表面固定安装有管螺纹6，不锈钢膜片结构5的内部设有应变膜片7与弹性体8，且应变膜片7固定安装在弹性体8的上端外侧，弹性体8的内部固定安装有弹性元件9，弹性体8的下端内表面靠近弹性元件9的下方设有应变电阻层10，传感器主体1的内部中间位置固定安装有溅射合金薄膜压力敏感元件11，溅射合金薄膜压力敏感元件11的上端外表面靠近不锈钢膜片结构5的下方设有溅射合金薄膜12，溅射合金薄膜压力敏感元件11的下端外表面设有压力接口13，压力接口13的内部穿过压力接口13的下端外侧设有金丝引线14，金丝引线14的下端外侧固定安装有放大电路板15，且放大电路板15的一端外侧设有引线转接板16，引线转接板16与集线筒3之间活动安装有信号引出线17，传感器主体1的内表面一周固定安装有密封圈18。

传感器主体1与底座4的外表面均涂有防水层，传感器主体1与底座4之间设置有胶体粘连层；集线筒3的内径为十二毫米，弹性元件9的数量为十组；溅射合金薄膜压力敏感元件11通过金丝引线14与放大电路板15电性连接，橡胶凸起2的数量为若干组；溅射合金薄膜压力敏感元件11的耐温范围为-10度至120度，集线筒3的内部设置有接线插针；应变电阻层10的内部设置有内补偿电阻，放大电路板15的外表面设置有信号处理单元。

需要说明的是，本实用新型为一种溅射薄膜压力传感器，在使用时，主要由传感器主体1与底座4两大部分组成，底座4起到支撑的作用，两侧的橡胶凸起2起到保护传感器外部的作用，防止发生摩擦与碰撞，工作时，将压力介质直接作用于不锈钢膜片结构5上，不锈钢膜片结构5内置应变膜片7与弹性体8，应变膜片7接受一个压力，发生形变，挤压弹性体8的内部的弹性元件9，应变电阻层10内的电阻与弹性体8融为一体，同时溅射合金薄膜压力敏感元件11上的溅射合金薄膜12也受到压力发生形变，两者共同作用，改变了流经其表面电路电阻值的大小，接着通过金丝引线14将该电流导出，经过放大电路板15转换成电信号，并进行信号当放大，通过引线转接板16转接线路，由信号引出线17引出，通过集线筒3与外部的电子仪表相连接，较为实用。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。