技术特征：
技术总结
本发明公开了一种高精度短相干光三维形貌快速测量算法，首先驱动压电陶瓷按照π/2的相位步进量在一定扫描长度内进行时序垂直扫描，对应每个步进量存储1幅干涉图；将干涉图计算处理融入到时序垂直扫描存储干涉图的过程中，实现快速测量；在时序垂直扫描并记录干涉图完成的同时，完成空域上各像素点移相扫描精相位以及多幅干涉图的对比度求解。对多幅干涉图的对比度进行处理，得到垂直扫描粗相位；再将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合得到三维形貌测量结果；最后，采用二维离散差分算法判断及消除待测样品中在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差，得到高精度三维形貌测量结果。本发明算法简单，速度快，精度及可信度高，抗环境噪声能力强。
技术研发人员：袁群;孙一峰;高志山;于颢彪;黄旭;胡乔伟;徐伟;施帅飞
受保护的技术使用者：南京理工大学
技术研发日：2019.01.23
技术公布日：2019.05.14