1.高纯度气体流量测量装置，包括底座（1）和制动机构（9），其特征在于：所述底座（1）上固定连接有圆形的壳体（2），所述壳体（2）通过轴承安装有贯穿的第一转轴（4），所述第一转轴（4）上安装有辊轮（8），所述辊轮（8）上固定连接有径向的扇叶板（10），所述制动机构（9）包括安装架（91），所述安装架（91）的上侧安装有气缸（92），所述气缸（92）的输出端安装有齿条（95），所述安装架（91）上转动连接有第二转轴，所述第二转轴上安装有第一齿轮（96）和第二齿轮（97），所述第二齿轮（97）与齿条（95）啮合，所述安装架（91）固定连接有贯穿的光杆（93），所述光杆（93）上滑动连接有制动块（94），所述制动块（94）的上侧设有齿牙并且与第一齿轮（96）啮合，所述第一转轴（4）的前端安装有制动片（5），所述制动片（5）位于两个制动块（94）之间。
2.根据权利要求1所述的高纯度气体流量测量装置，其特征在于：所述辊轮（8）和扇叶板（10）均位于壳体（2）的内腔，所述扇叶板（10）的外端与壳体（2）内壁之间的间距为1～1.5mm。
3.根据权利要求1所述的高纯度气体流量测量装置，其特征在于：所述扇叶板（10）设有六个且按圆周阵列等距分布，两个扇叶板（10）之间形成有空腔（7）。
4.根据权利要求1所述的高纯度气体流量测量装置，其特征在于：所述壳体（2）的左右两侧焊接有接管（3），所述接管（3）上焊接有法兰，所述安装架（91）固定连接在壳体（2）上。
5.根据权利要求1所述的高纯度气体流量测量装置，其特征在于：所述齿条（95）采用双面齿条，两个制动块（94）关于齿条（95）的中心线对称。
6.根据权利要求1所述的高纯度气体流量测量装置，其特征在于：所述壳体（2）的前侧通过支架安装有光电传感器（6），所述光电传感器（6）指向第一转轴（4）。